1.一种感光层,其包含于具有水溶性树脂层和感光层的层叠体中,
所述感光层由感光性树脂组合物形成,该感光性树脂组合物包含通过活化光线或辐射线的照射而产生酸的化合物、以及通过酸的作用而产生对乙酸丁酯的溶解速度的变化的树脂,所述通过酸的作用而产生对乙酸丁酯的溶解速度的变化的树脂为可溶于23℃的乙酸丁酯的疏水性树脂,该树脂的重均分子量为10,000~50,000,且该树脂通过疏水性保护基保护所有结构单元中50摩尔%至100摩尔%可溶于碱水溶液的基团,
将未照射的所述感光层浸渍于23℃的乙酸丁酯时的溶解速度为20nm/s以上且200nm/s以下,
所述水溶性树脂层上的所述感光性树脂组合物的静态接触角为60°以下。
2.根据权利要求1所述的感光层,其中,
所述感光层对于i射线照射具有感光能力。
3.根据权利要求1或2所述的感光层,其中,
所述感光性树脂组合物中的水的含量为0.01质量%以上且1质量%以下。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光层,其中,
所述溶解速度的变化为溶解速度的下降。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光层,其中,
所述感光层所包含的树脂具有由下述式(1)表示的结构单元,
式中,r8表示氢原子或烷基,l1表示羰基或亚苯基,r1~r7分别独立地表示氢原子或烷基。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光层,其中,
所述感光性树脂组合物的钠离子、钾离子以及钙离子的总含量为1质量ppt~1000质量ppb。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光层,其用于有机半导体层加工。
8.一种层叠体,其具有权利要求1至7中任一项所述的感光层和水溶性树脂层。
9.根据权利要求8所述的层叠体,其还具有有机半导体层,所述层叠体依次层叠有所述有机半导体层、所述水溶性树脂层以及所述感光层。
10.根据权利要求8或9所述的层叠体,其中,
所述通过酸的作用而产生对乙酸丁酯的溶解速度的变化的树脂为对所述乙酸丁酯的溶解速度大的树脂与对所述乙酸丁酯的溶解速度小的树脂的混合物。
11.一种感光性树脂组合物,其用于形成感光层,其中,
所述感光层为与水溶性树脂层组合而形成层叠体的层,将未曝光的所述感光层浸渍于乙酸丁酯时的溶解速度为20nm/s以上且200nm/秒以下,
所述感光性树脂组合物含有通过活化光线或辐射线的照射而产生酸的化合物、以及通过酸的作用而产生对乙酸丁酯的溶解速度的变化的树脂,
所述通过酸的作用而产生对乙酸丁酯的溶解速度的变化的树脂为可溶于乙酸丁酯的疏水性树脂,该树脂的重均分子量为10,000~50,000,该树脂通过疏水性保护基保护所有结构单元的50摩尔%至100摩尔%可溶于碱水溶液的基团,且该树脂为所述水溶性树脂层上的静态接触角为60°以下的树脂。
12.根据权利要求11所述的感光性树脂组合物,其用于有机半导体层加工。
13.一种试剂盒,其用于依次形成水溶性树脂层和感光层,该试剂盒具有权利要求11或12所述的感光性树脂组合物和水溶性树脂组合物。
14.根据权利要求13所述的试剂盒,其用于有机半导体层加工。