具有可调高尺寸稳定性的柔性印模的制作方法

本发明涉及通过用尺寸稳定的柔性印模(stamp)将印花漆(imprintinglacquer)印到独立的(discrete)基底上，然后固化印花漆，导致该独立基底上的附加功能纹理化层而使独立的基底如显示器、照明或太阳能面板纹理化的方法和材料。该附加层的功能尤其可以从光控制层到疏水层、装饰用途、在生物传感器中使用或用作抗蚀剂而变化。

在基底上使用功能纹理化层是一个重要的专题。此类层的智能使用可以提高性能、降低成本或改善包含所述印花基底的产品的视觉外观。例如，在显示器中使用扩散层，从而可以使用更薄的led背光概念，并从侧面照亮显示器。其他新的高科技可能性是将功能纹理化层集成到太阳能面板中以提高其效率，或者集成到有机发光二极管(oled)照明面板中以提取更多的光。

可以通过使用印花石印术(imprintlithography)来制造功能纹理化层。在这种情况下，基底或模具或两者都涂有漆料(树脂或抗蚀剂)。在将模具压在基底上(其间具有漆料)之后，将纹理化漆料固化成固相。固化方法可以是热或uv光照射。早在1978年，美国专利4,128,369中就提到了该技术。chou在1995年进行了进一步的开创性工作。他证明，通过使用刚性印模，小于25nm的纹理可以在高通量批量生产中得到复制(美国专利5,772,905)，或文章stepheny.chou,peterr.krauss,prestonj.renstrom(appl.phys.lett.67(1995)3114–3116)。后来，证明了使用辊在刚性模具或弯曲的薄金属板上施加压力以复制纹理(文章huatan,andrewgilbertson,stepheny.chou,j.vac.sci.technol.,b16(1998)3926–3928)。

许多机构和公司继续进行这项工作，从而产生了不同的技术。

在半导体工业中，如美国专利6,334,960，美国专利申请2004/0065976和美国专利8,432,548中所述，通过使用刚性印模结合转移工艺、材料和精确定位来进行板对板印花。

辊对辊印花技术使用纹理化辊与柔性基底相结合，以连续的方法对箔或膜进行纹理化，例如美国专利8,027,086中所述。

首先提到的板对板技术设计用于在均匀的平的晶片上具有高位置精度的小纹理(分辨率小于100nm)的精确、晶片级印花。但是，如中国专利申请cn103235483中所述，该技术很难扩展到更大的区域。

通过使用辊对辊技术，可以以高生产速度连续制造纹理化箔。这些箔可用作柔性应用的基底，或可以层压到刚性基底上。然而，后者要付出额外的中间粘合层成本，以将纹理化箔粘合到刚性基底或产品上。因此，正在开发第三项新技术：直接辊对板印花。因此，将功能纹理化层直接施加在独立的基底上，而没有厚度为数十至数百微米的中间厚粘合层。在这样的工艺中，或者使用纹理化辊，如法国专利2,893,610中示例的，或者使用可移除的柔性印模，如美国专利7,824,516中所公开的。

在辊对板复制工艺中使用柔性印模具有多个优点。材料和制造工艺具有成本效益。此外，可以容易地更换柔性印模。使用柔性印模也有缺点。最重要的缺点是基于聚合物的柔性印模的横向尺寸稳定性有限。如果设备内部或加工过程中的温度、湿度或张力发生变化，则柔性印模会膨胀或收缩。对于大多数应用，柔性印模的膨胀系数与所用的基底不同。在大多数情况下，基底是独立且刚性的金属、聚合物、硅或玻璃板。因此，在印花工艺之后，变化的温度或湿度水平会导致在基底上印花纹理的横向尺寸不同。在这种情况下，光学特性会发生变化，或者纹理会相对于后处理步骤中应用的在下面的结构或图案放置在错误的位置。对于许多应用，仅允许非常有限的横向尺寸变化，例如在1米上只有几微米。

由于随着温度的变化，横向尺寸的变化效果显著，因此本发明着重于热膨胀。变化的湿度具有相似的效果。应变或张力也会使柔性印模变形。在本说明书的上下文中，提及热膨胀，也可以读取湿度膨胀或通过张力的膨胀。在提及膨胀的地方，收缩也可以理解为负膨胀的一种形式。

在专利申请wo2016/128494中，描述了柔性印模的设计。因此，柔性印模包含印模基质或基质层以及在顶部的纹理化层。柔性印模可以是一层或多层，具有基质层和纹理化顶层。对于基质层，提及了几种材料，包括塑料箔和薄金属板。

文献us2005/0238967a1公开了一种用于软石印术的复合图案化装置，其中该复合图案化装置包括多个聚合物层。

改善柔性印模尺寸稳定性的直接解决方案是使用热膨胀非常低的材料作为基质层。这可以使用柔性增强的聚碳酸酯作为基质层。这些增强材料的热膨胀系数仍然是高的，10ppm/℃以上。

在专利申请wo2016/128494中，提及了使用金属板。在专利申请kr2008/0044052中，讨论了将玻璃板用作模具以用于板对板应用。然而，厚的玻璃板和金属板是刚性的，其具有两个主要缺点：首先，玻璃板不能在辊上引导，所以辊对辊或辊对板印花工艺中要求使用柔性印模。第二，刚性印模的分层需要更大的力。

对于辊对板印花，由于印模是在辊上传输的，因此需要高度的柔韧性。薄金属柔韧性足够，但不是透明的，这使得无法穿过金属柔性印模进行uv固化。

厚度在300μm以上的玻璃柔韧性不够，以所需的半径弯曲时会破裂。厚度在300μm以下的玻璃可能具有足够的柔韧性，但很容易裂纹。即使很小的力，特别是在玻璃边缘上的力，也会导致破裂。施加到玻璃上的附加层会损害玻璃板的尺寸稳定性，因此不是优选的。因此，直接解决方案不能用于辊对板印花。

在申请wo2016/12849中，提到可以添加更多层以增强坚固性。没有公开应该如何做到的方法。

在ep-a-3028771中，提到要获得印模和基底之间的精确的叠层对准，印模应具有与在其上复制纹理的基底相同的膨胀系数。作为示例，所述专利申请讨论了通过使用具有钢保护层的柔性板对板印模而在钢基底上复制微米或纳米纹理。该印模称为柔性印模，因为纹理层是柔性的。目的是用于板对板复制工艺。钢印模不能在辊上传输，因此建议的解决方案不能用于辊对板工艺中。该专利申请确实显示出对于不同的应用具有不同膨胀系数的印模的重要性。

ep-a-3370250公开了一种膜模具，其可以具有包括第一树脂层、第一玻璃基底层和第二树脂层的三层结构。第二树脂层可以是树脂或箔，或者是通过粘合层添加至玻璃的箔。但是，实际上，玻璃基底层在多次使用后容易破裂或出现裂纹。

本发明所要解决的问题是提供尺寸稳定的柔性印模，特别是能够对具有20ppm/℃以下的低且可调的热膨胀系数的独立基底进行辊对板印花，可以多次使用，其中玻璃层不提供裂纹或破裂。柔性印模的破裂限制了柔性印模的重复使用。因此，具有低且可调的膨胀系数的更坚固的柔性印模的设计对于使柔性印模能够重复使用并降低制造成本很重要。

该问题通过一种柔性印模来解决，该柔性印模至少包括作为纹理层(203)的上层并包括浮凸区域(203b)、增强层(202)、保护层(201)，其中增强层(202)具有10ppm/℃或更低的热膨胀系数，10gpa-200gpa的杨氏模量，300μm以下的层厚度和至少覆盖浮凸区域(203b)的区域，其特征在于，增强层被选自纹理层(203)、保护层(201)和一个或多个其他层中的至少一层掩蔽。

所述至少三层或多层增强的柔性印模能够以最小的横向尺寸变化印花独立基底，该横向尺寸变化通常是由热和湿度的变化以及张力的变化引起的。与具有300mm直径的标准晶片尺寸相比，所述多层印模可以被制造为具有大的面积。多层增强的柔性印模的所述热膨胀显著低于当前的标准柔性印模的膨胀系数。标准聚碳酸酯的热膨胀系数为65-70ppm/℃。增强的柔性箔，例如增强的聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)，确实具有20ppm/℃的最小热膨胀。可以根据astme228测量热膨胀系数。

此外，根据astme111测量，增强的柔性印模层的杨氏模量为10-200gpa。

本发明中提供的多层增强的柔性印模包括彼此粘合的三层或更多层。因此，多层增强的柔性印模可具有具有浮凸区域的纹理层、一个或多个具有较低热膨胀系数的增强层作为纹理层以及一个或多个具有比增强层高的热膨胀系数的保护层。由此，增强层具有至少覆盖浮凸区域的区域。

在本发明的范围内，术语“掩蔽”必须被理解为增强层被保护，例如免受可能损害增强层的物体或力量的伤害。在柔性印模中，增强层被至少一层掩蔽，该至少一层至少部分地在增强层的边缘和/或拐角部分周围或上方延伸。如果选自纹理层(203)、保护层(201)和一个或多个其他层中的一层或多层至少部分地在增强层的边缘和/或拐角部分上方或周围延伸，则该层或这些层是“掩蔽层”。

增强层可以是三维层，其包括第一主表面、第二主表面和至少一个侧面，该至少一个侧面垂直于第一主表面和第二主表面并且是增强层的第一主表面和第二主表面的延伸的限制。因此，增强层可以具有任何合适的形式，例如矩形，梯形，圆形或椭圆形。优选地，增强层具有矩形形式，使得增强层包括第一主表面，第二主表面以及与第一主表面和第二主表面垂直的四个侧面。

第一主表面和第二主表面可以彼此平行并且面向相反的方向。优选地，第一主表面面对浮凸区域并且所述第二主表面不面对浮凸区域。

在优选的实施方案中，为了通过选自由纹理层、保护层或一个或多个其他层组成的组中的至少一层来至少部分地掩蔽增强层的拐角和/或边缘部分，该至少一层至少部分地围绕增强层的边缘和/或拐角部分延伸。

在另一个优选的实施方案中，该至少一层掩蔽增强层的至少一个侧面和第一主表面和/或第二主表面。优选地，该至少一层掩蔽至少一个侧面以及第一主表面和第二主表面。

在一个优选的实施方案中，增强层的至少一个拐角部分，优选至少两个拐角部分，更优选至少三个拐角部分，甚至更优选至少四个拐角部分，最优选至少所有拐角部分被该至少一层至少部分地掩蔽。

在另一个优选的实施方案中，增强层的至少一个边缘部分，优选至少两个边缘部分，更优选至少三个边缘部分，甚至更优选至少四个边缘部分，最优选所有边缘部分被该至少一层至少部分地掩蔽。

掩蔽的拐角部分和边缘部分的数量也可以相同或不同。优选地，增强层的所有拐角部分和边缘部分至少部分地被掩蔽。

通过至少部分地掩蔽增强层的拐角和/或边缘部分，认为消除或至少减小了增强层的破裂倾向，从而使得可以多次使用增强的柔性印模。

在一个优选的实施方案中，掩蔽增强层的拐角和/或边缘部分的该至少一层至少部分地掩蔽了第一主表面和第二主表面。优选地，至少部分地掩蔽第一主表面的该至少一层和至少部分地掩蔽第二主表面的该至少一层是分开的层。

在另一个优选的实施方案中，掩蔽增强层的拐角和/或边缘部分的该至少一层包围了增强层的拐角和/或边缘部分。

在一个优选的实施方案中，掩蔽增强层的拐角和/或边缘部分的该至少一层在第一主表面的面积上延伸至少10％，优选至少30％，甚至更优选至少50％，甚至更优选至少75％，最优选至少95％。

在另一个优选的实施方案中，至少部分地掩蔽增强层的拐角和/或边缘部分的该至少一层在第二主表面的面积上延伸至少10％，优选至少30％，甚至更优选至少50％，甚至更优选至少75％，最优选至少95％。

优选地，至少部分地掩蔽增强层的拐角和/或边缘部分的该至少一层包围增强层。

该至少一层可以由任何合适的材料制成，优选地，该一个或多个其他层是粘合层，该粘合层包括选自由胶、压敏粘合剂、固化的有机层(例如但不限于丙烯酸酯材料)、溶胶-凝胶材料、环氧或其组合组成的组的材料。

优选地，该至少一层是纹理层、保护层、胶层或其组合。

在另一个优选的实施方案中，柔性印模在增强层的与面对纹理层浮凸区域的一侧相对的一侧上包括另一保护层，其中该另一保护层的延伸小于增强层的延伸。还优选的是，该另一保护层的延伸大于纹理层的延伸。该另一保护层可以用作尺寸稳定性调整层，其可以调整浮凸区域所位于的区域的尺寸稳定性。

在另一实施方案中，柔性印模包括一个或多个另外的增强层。

现在参考以下附图更详细地解释本发明：

图1示意性地描绘了根据本发明的说明性印花工艺。

图2以侧视图示意性地示出了具有增强层和保护层的多层增强的柔性印模的不同布局。

图3显示了不同柔性印模布局的热膨胀测量结果，包括两个多层增强的柔性印模设计

图4以俯视图和侧视图示意性地示出了多层增强的柔性印模，其在增强层的4个外部区域具有保护层。

图5以俯视图示意性地示出了多层增强的柔性印模，其在增强层的两个外部区域具有保护层。

现在参考图1，示出了根据本发明的示意性印花设备和方法，使用多层增强的柔性印模。图1是在示例性的辊对板印花工艺中可能使用多层增强的柔性印模的示例。注意，多层增强的柔性印模可用于不同的辊对板复制和辊对辊复制工艺，或甚至可用于板对板复制工艺。

在图1所示的印花装置中，功能印花层103b施加在基底102的顶部。基底102可以是任何材料；优选地，基底102包括玻璃、金属板、聚碳酸酯(pc)、聚萘二甲酸乙二醇酯(pen)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet或petp)、双轴取向聚对苯二甲酸乙二醇酯(bopet)或聚甲基丙烯酸甲酯(pmma)，或由其制成。基底102可以带有一个或多个附加层，该附加层涂覆在表面的顶部，例如粘合促进层和/或透明导体层(例如，铟锡氧化物、铝掺杂的氧化锌或面粉掺杂的氧化锡)和/或金属层(例如银、金、铝)。在图1中，基底102涂覆有可成形的印花漆103a并用柔性印模104印花，其在固化后产生复制的印花纹理103b，其被添加在基底102的顶部。将基底放置在平台101上以进行引导和支撑。该平台101可以是一个或多个辊，固定台，移动台或任何其他提供足够支撑的平台。在图1中，模具是柔性印模104。为了将柔性印模104的外表面上的纹理105b转移到基底102上，将印花纹理105b(具有与基底102上所需的固化的印花纹理103b相反的纹理)压在独立基底102(其间具有可成形的印花漆103a)上。注意，可成形漆103a可如图1所示沉积在独立基底上，或者可成形印花漆可沉积在柔性印模104上。或者可成形印花漆103a可以既沉积在柔性印模104上又沉积在独立基底102上。沉积方法尤其可以是分配(dispensing)、喷墨印刷、狭缝染料涂布(slot-dyecoating)、凹版印刷或丝网印刷。在使用柔性印模104将可成形印花漆103a印花之后，将可成形印花漆103a热固化或通过使用uv固化。在图1中，通过使用来自uv光源107a的uv光107b使可成形漆固化。uv光源107a可以放置在透明柔性印模104上方。或者，如果独立基底102是透明的，则uv光源107a可以放置在透明独立基底102的下方，或者集成在平台101中或者放置在透明平台101的下方。固化印花纹理103b之后，将柔性印模104与独立基底102上的固化印花纹理103b分离，使得其上具有固化印花纹理103b的独立基底102与模板以柔性印模104的形式间隔开。柔性印模104安装在前夹钳106a和后夹钳106b中。前夹钳106a位于柔性印模104的起始处。后夹钳106b位于柔性印模104的末端。夹钳106a和/或夹钳106b可以是塑料或金属棒，可能带有安装开口。但是，夹钳106a和/或夹钳106b也可以是胶带或将柔性印模104保持在其适当位置的任何其他方式。

柔性印模104具有支撑柔性印模基质105a和图案化外表面105b，也称为“印花纹理”或“印花图案”。该印花纹理包括由开口和隆起形成的功能区域，对于本领域技术人员而言，其被称为浮凸图案。该浮凸图案化外表面105b是基底102上的印花纹理103b的负(或反)纹理。柔性印模基质105a和图案化外表面105b可以通过铣削(milling)、电镀或热压花工艺由一种且相同的材料如但不限于薄金属板或塑料板制成。薄金属板的缺点是不透明、柔韧性差且价格更贵。在大面积辊对板复制的情况下，薄金属板必须很大，这在实际和成本上都是挑战。对于塑料板，热膨胀由塑料板的膨胀系数确定。如针对塑料基材料所讨论的，这对于精确复制应用而言太大了。

提供了根据本发明的多层增强的柔性印模，其包括具有开口和隆起的图案化外表面105b。为了能够弯曲，增强的柔性印模优选地表现出0.1gpa-100gpa，优选5gpa-50gpa的杨氏模量。优选地，本发明多层增强的柔性印模具有10μm-2000μm的厚度，更优选50μm-500μm的厚度。关于层厚度和杨氏模量的规格确实一起导致在50cm的宽度上在优选1000n以下的施加力下，优选小于30cm以下，更优选15cm以下的弯曲半径。因此，力被定义为施加在柔性印模前部106a上以将柔性印模拉到约四分之一辊的力，如图1所示。

如该专利申请中所提出的，通过使用增强层，可以减少柔性印模的热膨胀以及由于湿度或张力的增加而引起的膨胀。这种减少是通过权利要求1的特征实现的。在图2中，示出了多层增强的柔性印模的不同布局。

图2示出了使用增强层202结合纹理层203和保护层201的多层增强的柔性印模的不同布局。大面积的柔性保护层201用于提供柔性特性，以使其易于处理。此外，取决于柔性印模构造，保护层201可以保护增强层的主表面和/或第二表面和/或侧面。该保护层201可以是例如但不限于聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet或petp)箔，聚碳酸酯(pc)箔，聚萘二甲酸乙二醇酯(pen)箔，双轴取向聚对苯二甲酸乙二醇酯(bopet)或由另一种聚合物制成的箔。它也可以是固化的丙烯酸酯材料或固化的环氧材料。提出的用于保护层201的材料具有0.1-10gpa的杨氏模量，并具有500μm以下，优选300μm以下的层厚度。增强层202沉积在保护层201上。其可以是0.5-100μm厚的层，例如但不限于siox层或石墨烯层。增强层202的沉积技术尤其可以是溅射，旋涂或pe-cvd。作为增强层202，也可以使用薄金属板，薄晶片或薄玻璃板。该增强层202应该是柔性的，并且具有典型的10-200gpa的杨氏模量，并具有300μm以下，优选200μm以下的层厚度。在中间薄柔性板的情况下，应该将薄板粘合到保护层201上。这可以通过使用粘合层204来粘合，粘合层204可以是任何安装材料，例如放置在两层过渡处顶部或者保护层201和增强层202或中间粘合层之间的胶带，其可以是胶、压敏粘合剂或固化的有机层(例如但不限于丙烯酸酯材料)、溶胶-凝胶材料、环氧。因此，当粘合层204至少部分地围绕增强层202的拐角和/或边缘部分延伸时，粘合层204可以掩蔽增强层202的拐角和/或边缘部分。纹理层203具有浮凸区域203b，其具有与基底上所需的相反的纹理。反纹理203的材料是有机层，例如但不限于丙烯酸酯材料、溶胶-凝胶材料或环氧。根据构造，纹理层203保护增强层202的第一主表面和/或第二主表面和/或至少一个侧面。

在图2a中，增强层202被嵌入在纹理层203中，使得增强层202的拐角和/或边缘部分被至少部分地掩蔽。为了掩蔽增强层202的拐角和/或边缘部分，也可以将增强层202嵌入保护层201中，如图2b所示。可以将增强层202定位在保护层201和纹理层203之间，其中浮凸区域203b具有与基底上所需的相反的纹理。但是它也可以在保护层201的另一侧，如图2d所示。图2c中所示的粘合层204可以是与纹理层203不同的材料。在图2c和图2d的情况下，粘合层204通过掩蔽增强层202的拐角和/或边缘部分来保护增强层202。如图2e所示，粘合层204也可以是与纹理层203相同的材料。在如图2e中所示的特定情况下，纹理层203的单体或聚合物材料也用作增强层202的保护层，特别地，当纹理层203包围增强层202时，增强层202的拐角和/或边缘部分被纹理层203掩蔽。图2f示出了另一种柔性印模设计，由此在两个保护层201和205之间保护了增强层。两个保护层201和205的材料和/或材料厚度可以相同或不同。而且，保护层201和205两者的面积可以相同或不同，由此最短的保护层应最小地具有与增强层202相同的面积，以覆盖和保护增强层202。注意，还可以在不同的增强层202之间进行组合。例如，在保护层201的一侧形成薄的沉积增强层202，并在保护层201的另一侧粘合第二较厚的增强层。为了粘合，使用粘合层204，其包围增强层202，使得拐角和/或边缘部分被掩蔽。

上述多层和增强的柔性印模已经减少了实践。以不同的构造制成了柔性印模。图3显示了测量数据。

如图3所示，在聚碳酸酯箔顶部的具有浮凸区域(203b)的标准柔性印模的热膨胀太大。70ppm/℃的值远高于20ppm/℃的优选最大膨胀。测量值与理论值非常吻合。至于多层增强的柔性印模1(msfs1)，具有在250μm聚碳酸酯保护层顶部的浮凸区域，和包封在上述250μm聚碳酸酯保护层和第二250μm聚碳酸酯保护层之间的100μm薄玻璃板作为增强层，如图2f所示的设计，其膨胀降至15ppm/℃。如果将100μm薄玻璃板包封在两个125μm聚碳酸酯层之间，则可以进一步降低这种膨胀。在这种情况下，膨胀降至8ppm/℃。图3表明，多层增强的柔性印模的膨胀可在5-20ppm/℃的区间调整。因此，可以调整增强的柔性印模的膨胀以与不同的基底材料匹配。如图3所示，确定了多层增强的柔性印模2(msfs2)的最小弯曲半径。观察到最小弯曲半径为15mm。这低于玻璃制造商说明的90mm弯曲半径。在自己的测试中，100μm裸玻璃的弯曲半径达到35mm。这证实了多层堆的使用确实保护并改善了柔性印模的稳定性。

使用相似的材料，可以实现不同的印模布局。使用薄玻璃板时，最容易损坏外部边缘和角落。在处理、运输或使用柔性印模的过程中，在边缘上敲击会导致玻璃中的裂纹。结果，该柔性印模不能再使用了。为了进一步提高柔性印模的可重复使用性，提出了具有稳定的内部复制区域和外部保护区域的组合的柔性印模设计。

在图4a中，示出了具有外部保护区域301的热稳定复制区域的示例。在这种情况下，使用具有保护层区域301的保护层201，其具有内部开放区域303。该内部开放区域303最有可能是矩形，但也可以是圆形或任何其他形状。增强层区域302的尺寸大于内部开放区域303。由此产生安装重叠区域304，其中具有增强层区域302的增强层202安装在外部保护区域301的顶部。为了在外部保护区域301顶部安装增强层区域302，可以使用任何稳定的粘合层材料204作为例如胶带或中间粘合层，例如胶、uv丙烯酸酯或压敏粘合层。该粘合层204通过掩蔽增强层202的侧面和/或拐角部分来保护增强层202。在增强层202的顶部添加具有浮凸区域203b的纹理层203。优选地，浮凸区域203b被完全放置在内部开放区域303内。图4b示出了穿过具有外部保护区域的增强的柔性印模的纹理化区域的示意性横截面，如图4a中所讨论的。为了最安全的处理，外部保护区域301包括两层保护层201和保护层205，它们放置在增强层202的下方和上方，如图4c所示。保护层201和205的材料和/或材料厚度可以相同或不同。而且，粘合层204a和204b可以是相同的材料或不同的安装材料。因此，粘合层204a和204b是分离的层，但是粘合层204a和204b也可以是包围增强层202的拐角和/或边缘部分的一层(未示出)。通过选择不同的保护层201的厚度和不同的保护层201的材料，可以调整多层增强的柔性印模的热膨胀以匹配基底的热膨胀。图4d示出了多层增强的柔性印模布局，其中仅保护层205具有内部开放区域303。保护层201没有内部开放区域303并且确实覆盖了增强层。粘合层204a和204b是分开的层，但是粘合层204a和204b也可以是包围增强层202的拐角和/或边缘部分的一层(未示出)。

在图5中，示出了具有外部保护区域301的增强的柔性印模的另一布局。此图5是图4所示布局的改进，其中内部开放区域303放置在保护层202的整个宽度上。在这种情况下，保护层201仅保护增强层202的边缘和两个最易损坏的侧面。优选地，由保护层保护的增强层202的两侧在相对于印花方向的起始区域302a和末端区域302b处。起始区域302a是最脆弱的，在印花过程中首先与基底接触。内部开放区域303不具有保护层201。优选地，浮凸区域203b完全放置在内部开放区域303内。这导致浮凸区域203的高尺寸稳定性。可以通过在增强层202的与面对纹理层浮凸区域的一侧相对的一侧添加另一保护层601来调整浮凸区域的尺寸稳定性，如图6a和b所示。在这种情况下，另一保护层601可以具有与浮凸区域203类似的中心位置，其尺寸大于浮凸区域203。通过在柔性印模堆内使用具有不同尺寸稳定性的另一层，可以调整整个柔性印模堆的尺寸稳定性。外部保护区域301a和301b的宽度具有与增强层区域的宽度相同的最小宽度。因此，保护了增强层的所有角落。如图4c和4d所示，可以与第二保护层组合，该保护层具有相同的布局或完全覆盖增强层202。