1.一种离轴三反系统的主镜和三镜共基准的装调方法，其特征在于，其包括以下步骤：
提供干涉仪(1)和衍射元件(2)，所述干涉仪(1)包括自上而下依次分布的主镜区域(10)、对准区域(11)和三镜区域(12)；所述衍射元件(2)包括自上而下依次分布的主镜定位区域(20)、主镜衍射区域(21)、对准衍射区域(22)、三镜衍射区域(23)和三镜定位区域(24)；
对所述衍射元件(2)与所述干涉仪(1)进行对准，以使所述干涉仪(1)内部射出的测试波前经所述对准衍射区域(22)反射后，与所述干涉仪(1)内部的参考波前发生干涉，并在所述对准区域(11)上形成零条纹；
将离轴三反系统的主镜(3)和三镜(4)分别对准所述主镜定位区域(20)与所述三镜定位区域(24)，以使所述干涉仪(1)内部射出的测试波前分别经过所述主镜定位区域(20)与所述三镜定位区域(24)透射后，在所述主镜(3)的第一定位区域(30)和三镜(4)的第二定位区域(40)的边缘分别形成多个定位线(5)；
调整所述主镜(3)和三镜(4)的姿态，以使所述测试波前经由所述主镜(3)和三镜(4)反射后，与所述干涉仪(1)内部的参考波前发生干涉，并分别在所述主镜区域(10)和三镜区域(12)上形成零条纹。
2.如权利要求1所述的离轴三反系统的主镜和三镜共基准的装调方法，其特征在于，所述第一定位区域(30)上的多个所述定位线(5)沿所述第一定位区域(30)的周向间隔分布；所述第二定位区域(40)上的多个所述定位线(5)沿所述第二定位区域(40)的周向间隔分布。
3.如权利要求2所述的离轴三反系统的主镜和三镜共基准的装调方法，其特征在于，所述第一定位区域(30)上的定位线(5)有四个，四个所述定位线(5)分别设于所述第一定位区域(30)的四个边缘的中间位置；所述第二定位区域(40)上的定位线(5)有四个，四个所述定位线(5)分别设于所述第二定位区域(40)的四个边缘的中间位置。
4.如权利要求3所述的离轴三反系统的主镜和三镜共基准的装调方法，其特征在于，所述定位线(5)为十字线。
5.一种离轴三反系统的主镜和三镜共基准的装调方法，其特征在于，其包括以下步骤：
提供干涉仪(1)和衍射元件(2)，所述干涉仪(1)包括自下而上依次分布的主镜区域(10)、对准区域(11)和三镜区域(12)；所述衍射元件(2)包括自下而上依次分布的主镜定位区域(20)、主镜衍射区域(21)、对准衍射区域(22)、三镜衍射区域(23)和三镜定位区域(24)；
对所述衍射元件(2)与所述干涉仪(1)进行对准，以使所述干涉仪(1)内部射出的测试波前经所述对准衍射区域(22)反射后，与所述干涉仪(1)内部的参考波前发生干涉，并在所述对准区域(11)上形成零条纹；
将离轴三反系统的主镜(3)和三镜(4)分别对准所述主镜定位区域(20)与所述三镜定位区域(24)，以使所述干涉仪(1)内部射出的测试波前分别经过所述主镜定位区域(20)与所述三镜定位区域(24)透射后，在所述主镜(3)的第一定位区域(30)和三镜(4)的第二定位区域(31)的边缘分别形成多个定位线(5)；
调整所述主镜(3)和三镜(4)的姿态，以使所述测试波前经由所述主镜(3)和三镜(4)反射后，与所述干涉仪(1)内部的参考波前发生干涉，并分别在所述主镜区域(10)和三镜区域(12)上形成零条纹。
6.一种离轴三反系统的主镜和三镜共基准的装调系统，其特征在于，其包括：
干涉仪(1)，所述干涉仪(1)包括自上而下依次分布的主镜区域(10)、对准区域(11)和三镜区域(12)；
衍射元件(2)，所述衍射元件(2)包括自上而下依次分布的主镜定位区域(20)、主镜衍射区域(21)、对准衍射区域(22)、三镜衍射区域(23)和三镜定位区域(24)；所述衍射元件(2)与所述干涉仪(1)对准设置，以使所述干涉仪(1)内部射出的测试波前经所述对准衍射区域(22)反射后，与所述干涉仪(1)内部的参考波前发生干涉，并在所述对准区域(11)上形成零条纹；以及，
所述干涉仪(1)用于：内部射出测试波前，且该测试波前分别经过所述主镜定位区域(20)和所述三镜定位区域(24)透射后，在所述主镜(3)的第一定位区域(30)和所述三镜(4)的第二定位区域(40)形成定位线(5)；同时，所述测试波前分别经由所述主镜(3)和所述三镜(4)反射后，与所述干涉仪(1)内部的参考波前发生干涉，并在所述主镜区域(10)和所述三镜区域(12)形成零条纹。
7.如权利要求6所述的离轴三反系统的主镜和三镜共基准的装调系统，其特征在于，所述干涉仪(1)为迈克尔逊干涉仪。
8.如权利要求6所述的离轴三反系统的主镜和三镜共基准的装调系统，其特征在于，所述衍射元件(2)为相位型衍射元件。
9.如权利要求8所述的离轴三反系统的主镜和三镜共基准的装调系统，其特征在于，所述相位型衍射元件的各区域的相位均采用泽尼克条纹相位多项式进行相位拟合。