1.一种掠入式光学元件面形校正装置,其特征在于,包括至少两组力矩施加组件(1),所述力矩施加组件(1)包括固定结构以及用于提供驱动力的驱动结构;所述固定结构用于接触或夹紧掠入式主镜(5)边缘,将所述驱动结构所传递的力施加于所述掠入式主镜(5)并在所述掠入式主镜(5)产生力矩,使所述掠入式主镜(5)的面形发生改变;
所有所述力矩施加组件(1)向所述掠入式主镜(5)所施加力的合力为零。
2.根据权利要求1所述的掠入式光学元件面形校正装置,其特征在于,所述固定结构包括铰接设置的第一连杆(2)和第二连杆(3),所述第一连杆(2)和所述第二连杆(3)的端部均设置有用于与所述掠入式主镜(5)接触的软垫结构,所述掠入式主镜(5)夹设于两个所述软垫结构之间;
所述第一连杆(2)和所述第二连杆(3)中的至少一者与所述驱动结构连接,所述驱动结构可驱动所述第一连杆(2)相对于所述第二连杆(3)转动。
3.根据权利要求2所述的掠入式光学元件面形校正装置,其特征在于,所述第一连杆(2)和所述第二连杆(3)的铰接处位于非端部位置,且所述铰接处距离所述第一连杆(2)安装有所述软垫结构的一端的距离等于所述铰接处距离所述第二连杆(3)安装有所述软垫结构的一端的距离。
4.根据权利要求2所述的掠入式光学元件面形校正装置,其特征在于,所述软垫结构为o形圈(4)。
5.根据权利要求1所述的掠入式光学元件面形校正装置,其特征在于,所述固定结构包括用于与所述掠入式主镜(5)的翻折边缘(6)贴合设置的传力结构以及与所述传力结构连接的传动组件,所述传动组件与所述驱动结构连接;
所述传力结构施力于所述翻折边缘(6),且所述传力结构施加于所述翻折边缘(6)的力始终与所述翻折边缘(6)垂直。
6.根据权利要求5所述的掠入式光学元件面形校正装置,其特征在于,所述传力结构为平行四边形结构(7)。
7.根据权利要求6所述的掠入式光学元件面形校正装置,其特征在于,所述平行四边形结构(7)与所述传动组件之间设置有柔性铰链(8)。
8.根据权利要求7所述的掠入式光学元件面形校正装置,其特征在于,所述传动组件为螺母丝杠结构(9)。
9.根据权利要求1-8任一项所述的掠入式光学元件面形校正装置,其特征在于,设置有多组所述力矩施加组件(1),且所述力矩施加组件(1)沿所述掠入式主镜(5)的边缘均匀分布。
10.一种掠入式光学元件面形校正方法,应用于权利要求1-9任一项所述的掠入式光学元件面形校正装置,其特征在于,包括:
计算执行元件所需的移动距离;
控制驱动结构按照所述移动距离动作,并带动固定结构动作,以使掠入式主镜(5)发生面形改变。