分光单元和分光模块的制作方法

1.本发明涉及分光单元和分光模块。


背景技术：

2.已知一种分光模块(例如，参照专利文献1)，其具备：光源，其出射向对象物照射的光；分光单元，其对由对象物反射的光或透过了对象物的光进行分光；和光检测器，其检测由分光单元分光后的光。根据这样的分光模块，例如，能够非破坏地分析对象物的成分。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2014-145643号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的课题
7.在上述那样的分光模块中，存在对分光单元应用法布里-珀罗干涉滤波器的情况。在该情况下，提高法布里-珀罗干涉滤波器的分光精度，例如，在提高对象物的成分的分析精度方面极其重要。
8.本发明的目的在于提供一种能够提高法布里-珀罗干涉滤波器的分光精度的分光单元和分光模块。
9.用于解决课题的方法
10.本发明的一个方面的分光单元具备：法布里-珀罗干涉滤波器，其具有彼此的距离可变的第1反射镜部和第2反射镜部；框体，其具有形成有在第1反射镜部和第2反射镜部的相对方向上与法布里-珀罗干涉滤波器相向的开口的壁部，并且容纳法布里-珀罗干涉滤波器；第1光圈部，其相对于壁部设置于法布里-珀罗干涉滤波器的相反侧，形成有在相对方向上与开口相向的第1光圈；和第2光圈部，其相对于第1光圈部设置于壁部的相反侧，形成有在相对方向上与第1光圈相向的第2光圈，相对方向上的第2光圈的长度比相对方向上的第1光圈的长度大，在从相对方向观察的情况下，第1光圈的外缘位于开口的外缘和第2光圈的外缘各自的内侧，第1光圈包含：到达第1光圈部的壁部侧的第1表面且向第1表面扩大的第1锥形部分、和到达第1光圈部的第2光圈部侧的第2表面且向第2表面扩大的第2锥形部分的至少一者。
11.在该分光单元中，相对方向上的第2光圈的长度比相对方向上的第1光圈的长度大，在从相对方向观察的情况下，第1光圈的外缘位于开口的外缘和第2光圈的外缘各自的内侧。因此，通过了第2光圈、第1光圈和开口的光在其入射角度的范围变窄的状态下入射到法布里-珀罗干涉滤波器。由此，能够使法布里-珀罗干涉滤波器适当地发挥功能。另外，在该分光单元中，在从相对方向观察的情况下，第1光圈的外缘位于第2光圈的外缘的内侧，第1光圈包括第1锥形部分和第2锥形部分的至少一者。因此，能够抑制以较大的入射角度入射到第2光圈的光被第2光圈的内表面反射并且入射到框体内而成为杂散光。根据以上，根据
该分光单元，能够在由法布里-珀罗干涉滤波器得到的分光光谱中使分辨率提高，能够使法布里-珀罗干涉滤波器的分光精度提高。
12.在本发明的一个方面的分光单元中，也可以是，第1光圈包括第1锥形部分和第2锥形部分两者。或者，在本发明的一个方面的分光单元中，也可以是，第1光圈仅包含第2锥形部分，第2锥形部分到达第1表面和第2表面两者。在这些中，即使以较大的入射角度入射到第2光圈的光在第2光圈的内表面反射并且在第2光圈内行进，该光也在第2锥形部分的内表面向与框体内为相反侧反射。因此，根据这些，能够更可靠地抑制以较大的入射角度入射到第2光圈的光在第2光圈的内表面反射并且入射到框体内而成为杂散光。
13.在本发明的一个方面的分光单元中，也可以是，在从相对方向观察的情况下，第1光圈的外缘位于法布里-珀罗干涉滤波器的光透过区域的外缘的内侧。由此，能够使通过了第2光圈和第1光圈的光中的透过法布里-珀罗干涉滤波器的光透过区域的光的比例增加。
14.在本发明的一个方面的分光单元中，也可以是，在从相对方向观察的情况下，开口的外缘位于第2光圈的外缘的外侧。由此，通过第1光圈和第2光圈，能够适当地规定应入射到框体内的光的入射角度的范围。
15.在本发明的一个方面的分光单元中，也可以是，第1光圈是通过蚀刻而形成的开口。在该情况下，与第1光圈例如是通过机械加工而形成的开口的情况相比，具有高精度的形状。因此，据此，能够使第1光圈适当地发挥功能。
16.在本发明的一个方面的分光单元中，也可以是，第1光圈部是与壁部分体地形成的第1光圈构件，设置于壁部的表面。由此，能够提高适当的材料的选择等、第1光圈部的设计的自由度。另外，通过在框体形成大的光入射开口，能够缓和框体内的法布里-珀罗干涉滤波器的位置精度，并且调整第1光圈与法布里-珀罗干涉滤波器的位置关系。而且，即使在第1光圈部与第2光圈部之间形成有间隙，也能够抑制光经由该间隙入射到框体内而成为杂散光。
17.在本发明的一个方面的分光单元中，也可以是，第1光圈部固定于壁部。由此，能够防止因振动等而第1光圈与法布里-珀罗干涉滤波器的位置关系产生偏移。
18.在本发明的一个方面的分光单元中，也可以是，第2光圈部是与第1光圈部分体地形成的第2光圈构件。由此，能够提高适当的材料的选择等、第2光圈部和第1光圈部的设计的自由度。另外，通过在框体形成大的光入射开口，能够缓和框体内的法布里-珀罗干涉滤波器的位置精度，并且调整第2光圈与法布里-珀罗干涉滤波器的位置关系。另外，能够调整第2光圈与第1光圈的位置关系。
19.在本发明的一个方面的分光单元中，也可以是，与相对方向垂直的方向上的第1光圈的截面形状呈圆形形状，与相对方向垂直的方向上的第2光圈的截面形状呈圆形形状。由此，能够容易地形成具有期望性能的光圈。
20.在本发明的一个方面的分光单元中，也可以是，第1光圈内的区域为空间，第2光圈内的区域为空间。由此，能够防止因通过第1光圈和第2光圈而引起的光的损失。
21.本发明的一个方面的分光单元也可以是，还具备：光检测器，其配置于框体内，对透过了法布里-珀罗干涉滤波器的光进行检测。由此，能够抑制由杂散光引起的噪声的产生，并且高精度地检测分光后的光。另外，由于光检测器配置于框体内，所以能够实现具备光检测器的分光单元的小型化。
22.本发明的一个方面的分光单元也可以是，还具备：带通滤波器，其配置于第1光圈与法布里-珀罗干涉滤波器之间，第1光圈部和第2光圈部以通过了第1光圈和第2光圈的光全部入射到带通滤波器的方式构成。由此，通过了第2光圈、第1光圈和开口的光全部以其入射角度的范围变窄的状态入射到带通滤波器。由此，带通滤波器适当地发挥功能，所期望的波长范围的光以其入射角度的范围变窄的状态入射到法布里-珀罗干涉滤波器。因此，在由法布里-珀罗干涉滤波器得到的分光光谱中分辨率提高。
23.在本发明的一个方面的分光单元中，也可以是，第1光圈部和第2光圈部以通过了第1光圈和第2光圈并透过了带通滤波器的光全部入射到法布里-珀罗干涉滤波器的方式构成。由此，能够抑制在框体内产生杂散光。在本发明的一个方面的分光单元中，也可以是，带通滤波器隔着壁部而与第1光圈部分离。由此，由于带通滤波器配置于框体内，所以能够保护带通滤波器免受物理干扰等。
24.本发明的分光模块具备：上述的分光单元；光源；和容纳分光单元的框体和光源的封装件，第1光圈和第2光圈与光源的光出射部以彼此相邻的方式沿着封装件的外表面配置。
25.根据该分光模块，能够实现法布里-珀罗干涉滤波器的分光精度提高的反射型的分光模块。
26.发明效果
27.根据本发明，能够提供一种能够提高法布里-珀罗干涉滤波器的分光精度的分光单元和分光模块。
附图说明
28.图1是适用于一个实施方式的分光模块的光检测装置的截面图。
29.图2是图1所示的法布里-珀罗干涉滤波器的立体图。
30.图3是沿着图2所示的iii-iii线的截面图。
31.图4是一个实施方式的分光模块的立体图。
32.图5是图4所示的分光模块的内部结构的立体图。
33.图6是图4所示的分光模块的俯视图。
34.图7是沿着图6所示的vii-vii线的截面图。
35.图8是图7所示的分光单元的截面图。
36.图9是图8所示的第1光圈部的变形例的截面图。
37.图10是用于说明图8和图9所示的第1光圈部的效果的图。
具体实施方式
38.以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。另外，在各图中，对相同或相当的部分标注相同的符号，并省略重复的说明。
39.[光检测装置]
[0040]
在说明一个实施方式的分光模块之前，对应用于该分光模块的光检测装置进行说明。如图1所示，光检测装置1具备框体2。在本实施方式中，框体2是具有管座(stem)3和盖(cap)4的can封装。盖4具有一体地形成的侧壁5和顶壁(壁部)6。管座3和盖4的材料例如为
金属。盖4呈以线l为中心线的圆筒状。盖4的侧壁5沿着线l延伸。盖4的顶壁6设置于沿着线l的方向上的侧壁5的一端侧。顶壁6沿着与线l交叉的面扩大。
[0041]
在管座3的内表面3a固定有配线基板7。配线基板7的基板材料例如是硅、陶瓷、石英、玻璃或塑料等。在配线基板7上安装有光检测器8和热敏电阻等温度检测器(省略图示)。光检测器8以其受光部的中心线与线l一致的方式配置于框体2内。光检测器8检测透过了后述的法布里-珀罗干涉滤波器10的光。在本实施方式中，光检测器8是红外线检测器，例如由ingaas光电二极管、热电堆或辐射热计等受光元件构成。另外，在检测紫外、可见、近红外的光的情况下，光检测器8例如也可以由si光电二极管等受光元件构成。另外，光检测器8可以由1个受光元件构成，或者也可以由多个受光元件构成。
[0042]
在配线基板7上固定有多个间隔件9。间隔件9的材料例如是硅、陶瓷、石英、玻璃或塑料等。在多个间隔件9上固定有法布里-珀罗干涉滤波器10。法布里-珀罗干涉滤波器10以其光透过区域10a的中心线与线l一致的方式配置于框体2内。即，框体2容纳法布里-珀罗干涉滤波器10。另外，在本实施方式中，法布里-珀罗干涉滤波器10的光透过区域10a在从与线l平行的方向观察的情况下，呈圆形形状。另外，多个间隔件9也可以与配线基板7一体地形成。另外，法布里-珀罗干涉滤波器10也可以固定在1个间隔件9上。
[0043]
在管座3上固定有多个引脚11。各引脚11在与管座3之间维持电绝缘性和气密性的状态下贯通管座3。各引脚11经由导线12而分别与配线基板7的电极垫和法布里-珀罗干涉滤波器10的端子电连接。由此，能够分别对法布里-珀罗干涉滤波器10、光检测器8和温度检测器进行电信号的输入输出等。
[0044]
在框体2形成有开口2a。开口2a以其中心线与线l一致的方式形成于盖4的顶壁6。开口2a在与线l平行的方向上与法布里-珀罗干涉滤波器10的光透过区域10a相对。在本实施方式中，开口2a在从与线l平行的方向观察的情况下呈圆形形状。在顶壁6的内表面6a以封闭开口2a的方式接合有光透过构件13。光透过构件13的材料例如是玻璃等。光透过构件13具有在与线l平行的方向上彼此相对的光入射面13a和光出射面13b、以及侧面13c。光入射面13a在开口2a处与盖4的顶壁6的外表面(表面)6b大致齐平。侧面13c与盖4的侧壁5的内表面5a接触。这样的光透过构件13通过在使开口2a为下侧的状态下使配置于盖4的内侧的玻璃颗粒熔融而形成。
[0045]
在光透过构件13的光出射面13b上，通过由光透过性材料构成的粘接构件15固定有带通滤波器14。带通滤波器14使透过了光透过构件13的光中的光检测装置1的测量波长范围的光(规定的波长范围的光，且应入射到法布里-珀罗干涉滤波器10的光透过区域10a的光)选择性地透过。在本实施方式中，带通滤波器14例如呈四边形板状。带通滤波器14具有在与线l平行的方向上彼此相对的光入射面14a和光出射面14b、以及4个侧面14c。带通滤波器14由例如由硅或玻璃等构成的光透过构件、和形成于光透过构件的表面的电介质多层膜构成。电介质多层膜由高折射材料(例如tio2或ta2o5等)构成的膜、和低折射材料(例如sio2或mgf2等)构成的膜构成。
[0046]
粘接构件15具有第1部分15a和第2部分15b。第1部分15a是粘接构件15中的配置于光透过构件13的光出射面13b与带通滤波器14的光入射面14a之间的部分。第2部分15b是粘接构件15中的、在光透过构件13的光出射面13b中配置于带通滤波器14的侧面14c与盖4的侧壁5的内表面5a之间的部分。
[0047]
在如以上那样构成的光检测装置1中，当光从框体2的外部经由开口2a、光透过构件13和粘接构件15而入射到带通滤波器14时，仅规定的波长范围的光透过带通滤波器14。透过了带通滤波器14的光入射到法布里-珀罗干涉滤波器10的光透过区域10a，与后述的第1反射镜部35与第2反射镜部36之间的距离相应的波长的光透过光透过区域10a。透过了光透过区域10a的光入射到光检测器8的受光部，由光检测器8检测出。因此，在法布里-珀罗干涉滤波器10中，一边使第1反射镜部35与第2反射镜部36之间的距离变化，一边在光检测器8中检测透过了光透过区域10a的光的强度，由此能够获得分光光谱。
[0048]
[法布里-珀罗干涉滤波器]
[0049]
对上述的法布里-珀罗干涉滤波器10更详细地进行说明。如图2和图3所示，在法布里-珀罗干涉滤波器10设置有使与第1反射镜部35与第2反射镜部36之间的距离相应的波长的光透过的光透过区域10a。光透过区域10a例如是以线l为中心线的圆柱状的区域。
[0050]
法布里-珀罗干涉滤波器10具备基板21。基板21例如呈矩形板状。基板21的材料例如是硅、石英或玻璃等。基板21具有在与线l平行的方向上彼此相对的第1表面21a和第2表面21b。第1表面21a为光入射侧(带通滤波器14侧)的表面。第2表面21b是光出射侧(光检测器8侧)的表面。
[0051]
在基板21的第1表面21a配置有第1层构造体30。第1层构造体30通过将第1防反射层31、第1层叠体32、第1中间层33和第2层叠体34按该顺序层叠于第1表面21a而构成。在第1层叠体32与第2层叠体34之间，通过框状的第1中间层33形成有空隙(气隙)s。在基板21的材料为硅的情况下，第1防反射层31和第1中间层33的材料例如为氧化硅。第1中间层33的厚度例如为数十nm～数十μm。
[0052]
第1层叠体32中的与光透过区域10a对应的部分作为第1反射镜部35发挥功能。第1层叠体32通过将多个多晶硅层和多个氮化硅层各一层地交替层叠而构成。构成第1反射镜部35的多晶硅层和氮化硅层各自的光学厚度优选为透过光透过区域10a的光的中心透过波长的1/4的整数倍。另外，第1反射镜部35也可以不经由第1防反射层31而配置于基板21的第1表面21a。
[0053]
第2层叠体34中的与光透过区域10a对应的部分作为第2反射镜部36发挥功能。第2反射镜部36在与线l平行的方向上隔着空隙s而与第1反射镜部35相对。第2层叠体34通过将多个多晶硅层和多个氮化硅层各一层地交替层叠而构成。构成第2反射镜部36的多晶硅层和氮化硅层各自的光学厚度优选为透过光透过区域10a的光的中心透过波长的1/4的整数倍。
[0054]
此外，在第1层叠体32和第2层叠体34中，也可以代替氮化硅层而配置氧化硅层。另外，构成第1层叠体32和第2层叠体34的各层的材料并不限定于上述的材料，例如也可以是氧化钛、氧化钽、氧化锆、氟化镁、氧化铝、氟化钙、硅、锗或者硫化锌等。
[0055]
在第2层叠体34中与空隙s对应的部分形成有多个贯通孔34b。各贯通孔34b从第2层叠体34中的与第1层叠体32为相反侧的表面34a到达空隙s。多个贯通孔34b形成为实质上不对第2反射镜部36的功能造成影响的程度。多个贯通孔34b用于通过利用蚀刻去除第1中间层33的一部分而形成空隙s。
[0056]
在第1层叠体32上，以包围光透过区域10a的方式形成有第1电极22。在第1层叠体32以包含光透过区域10a的方式形成有第2电极23。第1电极22和第2电极23通过在第1层叠
体32中的最接近空隙s的多晶硅层中掺杂杂质而低电阻化而形成。在第2层叠体34，以隔着空隙s而与第1电极22和第2电极23相对的方式形成有第3电极24。第3电极24通过在第2层叠体34中的最接近空隙s的多晶硅层中掺杂杂质而低电阻化而形成。另外，第2电极23只要具有与光透过区域10a大致相同或者光透过区域10a以上的大小即可。
[0057]
在第1层构造体30设置有1对第1端子25和1对第2端子26。1对第1端子25隔着光透过区域10a彼此相对。各第1端子25配置于从第2层叠体34的表面34a至第1层叠体32的贯通孔内。各第1端子25经由形成于第1层叠体32的配线22a与第1电极22电连接。1对第2端子26在与1对第1端子25彼此相对的方向垂直的方向上，隔着光透过区域10a而彼此相对。各第2端子26配置于从第2层叠体34的表面34a至第1中间层33的内部的贯通孔内。各第2端子26经由形成于第1层叠体32的配线23a与第2电极23电连接，并且经由形成于第2层叠体34的配线24a与第3电极24电连接。
[0058]
在第1层叠体32中的第2层叠体34侧的表面32a设置有槽27、28。槽27以包围配线23a中的与第2端子26的连接部分的方式呈环状延伸。槽27使第1电极22与配线23a电绝缘。槽28沿着第1电极22的内缘环状地延伸。槽28将第1电极22与第1电极22的内侧的区域(即，存在第2电极23的区域)电绝缘。在第2层叠体34的表面34a设置有槽29。槽29以包围第1端子25的方式呈环状延伸。槽29使第1端子25与第3电极24电绝缘。各槽27、28、29内的区域可以是绝缘材料，或者也可以是空隙。
[0059]
在基板21的第2表面21b配置有第2层构造体40。第2层构造体40通过将第2防反射层41、第3层叠体42、第2中间层43和第4层叠体44按该顺序层叠于第2表面21b而构成。第2防反射层41、第3层叠体42、第2中间层43和第4层叠体44分别具有与第1防反射层31、第1层叠体32、第1中间层33和第2层叠体34相同的结构。即，第2层构造体40具有以基板21为基准与第1层构造体30对称的层叠结构。第2层构造体40以与第1层构造体30对应的方式构成，由此抑制法布里-珀罗干涉滤波器10翘曲。
[0060]
在第3层叠体42、第2中间层43和第4层叠体44，以包含光透过区域10a的方式形成有开口40a。开口40a例如呈以线l为中心线的圆柱状，具有与光透过区域10a大致相同的直径。开口40a在光出射侧开口，开口40a的底面到达第2防反射层41。开口40a使透过了第1反射镜部35和第2反射镜部36的光通过。
[0061]
在第4层叠体44的光出射侧的表面形成有遮光层45。遮光层45的材料例如是铝等。在遮光层45的表面和开口40a的内表面形成有保护层46。保护层46的材料例如是氧化铝。此外，通过使保护层46的厚度为1～100nm(优选为30nm程度)，能够忽略保护层46的光学影响。
[0062]
在如以上那样构成的法布里-珀罗干涉滤波器10中，如果在第1端子25与第2端子26之间施加电压，则在第1电极22与第3电极24之间产生电位差，在第1电极22与第3电极24之间产生与该电位差相应的静电力。由此，第2反射镜部36被吸引到固定于基板21的第1反射镜部35侧，第1反射镜部35与第2反射镜部36之间的距离发生变化。此时，在第2电极23与第3电极24之间不产生电位差，所以确保了光透过区域10a中的第2反射镜部36的平坦性。如此，在法布里-珀罗干涉滤波器10中，第1反射镜部35和第2反射镜部36彼此的距离可变。在此，透过光透过区域10a的光的波长依赖于第1反射镜部35与第2反射镜部36之间的距离。因此，通过调整施加于第1端子25与第2端子26之间的电压，能够调整透过光透过区域10a的光的波长。
[0063]
[分光模块]
[0064]
对应用了上述光检测装置1的一个实施方式的分光模块进行说明。在以下的说明中，将第1反射镜部35和第2反射镜部36的相对方向(在本实施方式中为与线l平行的方向)称为方向a。
[0065]
如图4和图5所示，分光模块50具备光检测装置1、光源51、配线基板52和封装53。光源51出射向对象物照射的光。光源51例如是出射近红外～中红外的波长范围的光的红外线灯。在配线基板52电连接有光检测装置1的多个引脚11和光源51的多个引脚。封装53容纳光检测装置1、光源51、配线基板52和配线基板56等。封装53例如呈长方体状。封装53具有封装主体54和盖55。光检测装置1、光源51、配线基板52和配线基板56等配置于封装主体54。盖55具有作为平面的外表面55a。在分光模块50中，在使罩20(参照图7)的外表面与对象物接触的状态下，能够实施向对象物的光的照射、和被对象物反射的光的检测。另外，向分光模块50的电力供给例如经由usb(universal serial bus：通用串行总线)插座等通用连接器来进行。另外，封装53例如也可以容纳无线通信用基板或电池外壳等。
[0066]
如图6和图7所示，在封装主体54的内表面54b形成有凹部91。在凹部91的底面91a载置有配线基板52。配线基板52以配线基板52的表面52a与封装主体54的内表面54b齐平的方式载置于凹部91的底面91a。在配线基板52的表面52a载置有框体2。框体2通过贯通配线基板52并固定于配线基板52的多个引脚11而固定于配线基板52。在配线基板52上固定有光源51。光源51在与方向a垂直的方向上与框体2相邻。光源51在从配线基板52的表面52a浮起的状态下，通过贯通配线基板52而固定于配线基板52的引脚保持部51b固定于配线基板52。
[0067]
在盖55的外表面55a形成有凹部61。在凹部61的底面61a设置有例如由玻璃等形成的罩(窗玻璃)20。罩20的外表面可以与盖55的外表面55a齐平，也可以比外表面55a稍微突出。在凹部61的底面61a形成有向封装53的外侧开口的凹部62。凹部62由第1部分63和第2部分64构成。第2部分64比第1部分63深。在第2部分64的底面64a与凹部62的侧面62a之间形成有凹状的曲面62b。凹状的曲面62b呈与在由底面64a和侧面62a形成的角部施加的圆(round)状的倒角面相当的形状。
[0068]
在盖55的内表面55b形成有凹部65。在凹部65的底面65a形成有向封装53的内侧开口的凹部66。在从方向a观察的情况下，凹部66的外缘位于凹部62的第1部分63的外缘的外侧。凹部66与凹部62的第2部分64连通。盖55中的凹部62的第1部分63与凹部66之间的部分构成第2光圈部72。即，第2光圈部72与盖55一体地形成。第2光圈部72从凹部62的第1部分63的侧面63b突出。在第2光圈部72形成有第2光圈72a。
[0069]
在凹部62的第2部分64的底面64a形成有孔67。孔67在第2部分64的底面64a和凹部65的底面65a开口。在从方向a观察的情况下，孔67具有包含第2光圈72a的大小。即，在与方向a垂直的截面中的孔67和第2光圈72a各自的形状为圆形形状的情况下，该截面中的孔67的最小直径大于该截面中的第2光圈72a的最大直径。
[0070]
盖55以内表面55b与封装主体54的内表面54b接触的方式安装于封装主体54。在盖55安装于封装主体54的状态下，光检测装置1的框体2配置于盖55的凹部66，光源51配置于盖55的孔67。更具体而言，在框体2的开口2a面向第2光圈72a的状态下，框体2的盖4配置于凹部66。另外，在光源51的光出射部51a配置于凹部62的第2部分64的状态下，光源51配置于孔67。在盖55安装于封装主体54的状态下，光检测装置1的至少一部分和光源51在盖55的凹
部62露出。
[0071]
在盖55与框体2之间形成有间隙。更具体而言，在盖55安装于封装主体54的状态下，在盖55的凹部66的侧面66b与框体2的盖4的侧壁5之间形成有间隙g1。另外，在盖55安装于封装主体54的状态下，在盖55的凹部66的底面66a与盖4的顶壁6之间形成有间隙g2。方向a上的间隙g2的长度例如为0.25mm程度。在框体2的顶壁6的外表面6b设置有第1光圈部71。第1光圈部71配置于间隙g2。在第1光圈部71形成有第1光圈80。
[0072]
在如以上那样构成的分光模块50中，第2光圈72a的光入射开口72b、第1光圈80的光入射开口80b(参照图8)和光源51的光出射部51a位于凹部62内。第2光圈72a和第1光圈80与光源51的光出射部51a以彼此相邻的方式沿着盖55的外表面55a配置。
[0073]
对上述的第1光圈80和第2光圈72a进行更详细的说明。在本实施方式中，带通滤波器14隔着作为框体2的一部分的盖4的顶壁6而从第1光圈部71分离。带通滤波器14配置于第1光圈80与法布里-珀罗干涉滤波器10之间。在本实施方式中，由框体2、第1光圈部71、第2光圈部72、带通滤波器14、法布里-珀罗干涉滤波器10和光检测器8构成分光单元100。
[0074]
如图8所示，第1光圈部71相对于顶壁6设置于法布里-珀罗干涉滤波器10的相反侧。第1光圈部71例如呈四边形板状(参照图5)。第1光圈部71的厚度例如为0.1mm～0.2mm程度。第1光圈部71具有第1表面71a和与第1表面71a为相反侧的第2表面71b。第1光圈部71以第1表面71a与顶壁6的外表面6b相对、第2表面71b与第2光圈部72相对的方式配置于顶壁6与第2光圈部72之间。第1光圈部71的第1表面71a与顶壁6的外表面61b接触。第1光圈部71例如通过树脂粘接等固定于顶壁6的外表面6b。第1光圈部71也可以隔着树脂等粘接构件设置于顶壁6的外表面61b。第1光圈部71也可以隔着薄板等构件设置于顶壁6的外表面6b。这样，第1光圈部71是与顶壁6分体地形成的第1光圈构件。第1光圈部71的材料例如是不锈钢等。
[0075]
形成于第1光圈部71的第1光圈80是贯通第1光圈部71的贯通孔。第1光圈80在第1表面71a和第2表面71b开口。第1光圈80是通过蚀刻形成的开口。第1光圈80内的区域为空间。第1光圈80在方向a上与开口2a相对。第1光圈80的中心线与线l一致。第1光圈80的光入射开口80b是第1光圈80中的在第2表面71b开口的部分。第1光圈80的光出射开口80c是第1光圈80中的在第1表面71a开口的部分。
[0076]
第1光圈80包括第1锥形部分81和第2锥形部分82。第1锥形部分81到达第1光圈部71中的顶壁6侧的第1表面71a且向第1表面71a扩大。第2锥形部分82到达第1光圈部71中的第2光圈部72侧的第2表面71b且向第2表面71b扩大。
[0077]
在本实施方式中，第1锥形部分81和第2锥形部分82分别呈圆锥台状。即，与方向a垂直的方向上的第1锥形部分81和第2锥形部分82的截面形状分别呈圆形形状。与方向a垂直的方向上的第1光圈80的截面形状呈圆形形状。第1锥形部分81的直径从第2表面71b侧向第1表面71a逐渐增大。第2锥形部分82的直径从第1表面71a侧向第2表面71b逐渐增大。第1锥形部分81的直径的变化率与第2锥形部分82的直径的变化率相同。即，第1锥形部分81与第1表面71a的角度和第2锥形部分82与第2表面71b的角度相同。
[0078]
第1锥形部分81和第2锥形部分82在第1光圈部71在方向a上的中央位置处彼此接触。第1光圈80的外缘80d由通过第1锥形部分81和第2锥形部分82相互接触而形成的边缘形成。在从方向a观察的情况下，外缘80d呈圆形形状。在从方向a观察的情况下，第1光圈80的外缘是指第1光圈80的最内侧的边缘。第1锥形部分81和第2锥形部分82关于在方向a上将第
1光圈部71一分为二的面(包含外缘80d的面)彼此面对称。
[0079]
第2光圈部72相对于第1光圈部71设置于顶壁6的相反侧。第2光圈部72与第1光圈部71的第2表面71b分离。第2光圈部72是与第1光圈部71分体地形成的第2光圈构件。形成于第2光圈部72的第2光圈72a是贯通第2光圈部72的贯通孔。第2光圈72a在形成于盖55的凹部62的第1部分63的底面63a和凹部66的底面66a开口。
[0080]
第2光圈72a内的区域为空间。第2光圈72a在方向a上与第1光圈80相对。第2光圈72a的中心线与线l一致。第2光圈72a的光入射开口72b是第2光圈72a中的在凹部62的第1部分63的底面63a开口的部分。第2光圈72a的光出射开口72c是第2光圈72a中的在凹部66的底面66a开口的部分。在本实施方式中，第2光圈72a内的区域呈圆柱状。即，与方向a垂直的方向上的第2光圈72a的截面形状呈圆形形状。
[0081]
第2光圈部72构成为，方向a上的第2光圈72a的长度t2除以与方向a垂直的方向上的第2光圈72a的宽度而得到的值(第2光圈72a的纵横比)为0.5以上。方向a上的第2光圈72a的长度是指光入射开口72b与光出射开口72c之间的距离。与方向a垂直的方向上的第2光圈72a的宽度是指光入射开口72b的有效直径与光出射开口72c的有效直径之和的1/2的值。光入射开口72b的有效直径在光入射开口72b的形状为圆形的情况下是其直径，在光入射开口72b的形状为圆形以外的情况下是具有其面积的圆的直径。同样地，所谓光出射开口72c的有效直径，在光出射开口72c的形状为圆形的情况下是其直径，在光出射开口72c的形状为圆形以外的情况下是具有其面积的圆的直径。
[0082]
第2光圈部72与第1光圈部71之间在方向a上的距离(底面66a与第2表面71b之间的距离)比第2光圈72a在方向a上的长度t2小。第2光圈72a的长度t2例如为1mm程度。方向a上的第2光圈72a的长度t2比方向a上的第1光圈80的长度t1大。即，第2光圈部72的厚度比第1光圈部71的厚度大。方向a上的第1光圈80的长度是指光入射开口80b与光出射开口80c之间的距离。第1光圈80的长度t1例如为0.1mm～0.2mm程度。
[0083]
在从方向a观察的情况下，形成于顶壁6的开口2a的外缘位于第2光圈72a的外缘的外侧。即，开口2a的直径比第2光圈72a的直径大。在从方向a观察的情况下，第2光圈72a的外缘位于法布里-珀罗干涉滤波器10的光透过区域10a的外缘的内侧。即，第2光圈72a的直径比光透过区域10a的直径小。在从方向a观察的情况下，第1光圈80的外缘80d位于开口2a的外缘、第2光圈72a的外缘、和法布里-珀罗干涉滤波器10的光透过区域10a的外缘各自的内侧。即，外缘80d的直径分别比开口2a的直径、第2光圈72a的直径和光透过区域10a的直径小。方向a上的第2光圈部72与第1光圈部71之间的距离比第2光圈72a的外缘的直径小。开口2a的直径例如为1.5mm程度。第1光圈80的外缘80d的直径例如为0.5mm程度。第2光圈72a的外缘的直径例如为1.0mm程度。
[0084]
通过第2光圈72a和第1光圈80的光(在忽略了第2光圈72a的内表面、第1光圈80的第1锥形部分81的内表面和第2锥形部分82的内表面的反射等的理想状态下通过第2光圈72a和第1光圈80的光)的入射角度和出射角度由第2光圈72a的光入射开口72b和第1光圈80的外缘80d划定。换言之，光入射开口72b和外缘80d是划定通过第2光圈72a和第1光圈80的光(在忽略了第2光圈72a的内表面、第1光圈80的第1锥形部分81的内表面和第2锥形部分82的内表面的反射等的理想状态下通过第2光圈72a和第1光圈80的光)的入射角度和出射角度的部分。
[0085]
第1光圈部71和第2光圈部72以通过了第2光圈72a和第1光圈80的光(在忽略了第2光圈72a的内表面、第1光圈80的第1锥形部分81的内表面和第2锥形部分82的内表面的反射等的理想状态下通过第2光圈72a和第1光圈80的光)全部入射到带通滤波器14的方式构成。进而，第1光圈部71和第2光圈部72以通过第2光圈72a和第1光圈80而透过了带通滤波器14的光全部入射到法布里-珀罗干涉滤波器10的方式构成。
[0086]
[作用和效果]
[0087]
如以上说明的那样，在分光单元100中，方向a上的第2光圈72a的长度t2比方向a上的第1光圈80的长度t1大，在从方向a观察的情况下，第1光圈80的外缘80d位于开口2a的外缘和第2光圈72a的外缘各自的内侧。因此，通过了第2光圈72a、第1光圈80和开口2a的光在其入射角度的范围变窄的状态下入射到法布里-珀罗干涉滤波器10。由此，能够使法布里-珀罗干涉滤波器10适当地发挥功能。另外，在分光单元100中，在从方向a观察的情况下，第1光圈80的外缘80d位于第2光圈72a的外缘的内侧，第1光圈80包括第1锥形部分81和第2锥形部分82。因此，能够抑制以较大的入射角度入射到第2光圈72a的光在第2光圈72a的内表面反射并且入射到框体2内而成为杂散光。根据以上所述，根据分光单元100，能够在由法布里-珀罗干涉滤波器10获得的分光光谱中使分辨率提高，能够使法布里-珀罗干涉滤波器10的分光精度提高。
[0088]
对上述效果进行更详细的说明。如图8所示，例如，在光l1以较大的入射角度入射到第2光圈72a的情况下，光l1在第2光圈72a的内表面反射并且向框体2行进。在此，例如在第1光圈80的外缘80d位于第2光圈72a的外缘的外侧的情况下，或者在不存在第1光圈部71的情况下，光l1在开口2a的内表面被反射后(或者直接通过了开口2a后)入射到框体2内(参照虚线所示的光l1a)。与此相对，在分光单元100中，第1光圈80的外缘80d位于第2光圈72a的外缘的内侧，所以光l1被第1光圈部71的第2表面71b反射，而不入射到框体2内(参照实线所示的光l1b)。
[0089]
另外，例如，在光l2以较大的入射角度入射到第2光圈72a的情况下，光l2被第2光圈72a的内表面反射并且向框体2行进。在此，例如在第1光圈80不具有第1锥形部分81和第2锥形部分82，第1光圈80内的区域呈圆柱状的情况下(参照双点划线所示的部分)，光l2在第1光圈80的内表面80e反射后，入射到框体2内(参照虚线所示的光l2a)。与此相对，在分光单元100中，第1光圈80包括第1锥形部分81和第2锥形部分82，所以光l2在第2锥形部分82的内表面向与框体2内为相反侧反射，而不入射到框体2内(参照实线所示的光l2b)。
[0090]
然而，在分光模块50那样的分光模块中，即使在各个构件存在尺寸的偏差的情况下，也要求可靠地组装各个构件。其结果是，有时在组装各个构件后的分光模块50形成间隙g1和间隙g2那样的间隙。如果在第2光圈部72与顶壁6之间形成有间隙g2，则经由间隙g2入射的光(例如，未被对象物反射的光)入射到框体2内，有可能成为杂散光。在分光模块50中，在顶壁6的外表面6b设置有第1光圈部71。由此，如上所述，不仅能够抑制以较大的入射角度入射到第2光圈72a的光入射到框体2内而抑制成为杂散光，也能够抑制经由间隙g2入射的光入射到框体2内而抑制成为杂散光。换言之，即使在难以使间隙g2为零的情况下，通过在间隙g2配置第1光圈部71，也能够减少杂散光进入到框体2内。由此，能够得到与间隙g2为零的情况同等的抑制杂散光进入的效果。
[0091]
另外，在分光单元100中，第1光圈80包括第1锥形部分81和第2锥形部分82两者。由
此，即使以较大的入射角度入射到第2光圈72a的光在第2光圈72a的内表面反射并且在第2光圈72a内行进，该光也在第2锥形部分82的内表面向与框体2内为相反侧反射。因此，能够更可靠地抑制以较大的入射角度入射到第2光圈72a的光在第2光圈72a的内表面反射并且入射到框体2内而成为杂散光。另外，即使第1光圈部71设置于相反方向(误组装)，也能够起到上述那样的效果。即，即使第1光圈部71被设置成第1表面71a与第2光圈部72相对、第2表面71b与顶壁6的外表面6b相对，也能够代替第2锥形部分82而利用第1锥形部分81如上述那样将光l2作为光l2b反射。此外，第1锥形部分81和第2锥形部分82关于在方向a上将第1光圈部71一分为二的表面彼此面对称。由此，如上所述，即使第1光圈部71设置于相反方向，也能够通过第1锥形部分81发挥与第2锥形部分82同等的功能。
[0092]
另外，在分光单元100中，在从方向a观察的情况下，第1光圈80的外缘80d位于法布里-珀罗干涉滤波器10的光透过区域10a的外缘的内侧。由此，能够使通过了第2光圈72a和第1光圈80的光中的透过法布里-珀罗干涉滤波器10的光透过区域10a的光的比例增加。
[0093]
另外，在分光单元100中，在从方向a观察的情况下，开口2a的外缘位于第2光圈72a的外缘的外侧。由此，通过第1光圈80和第2光圈72a，能够适当地规定应入射到框体2内的光的入射角度的范围。
[0094]
另外，在分光单元100中，第1光圈80是通过蚀刻而形成的开口。由此，与第1光圈80例如是通过机械加工而形成的开口的情况相比，具有高精度的形状。因此，据此，能够使第1光圈80适当地发挥功能。
[0095]
另外，在分光单元100中，第1光圈部71是与顶壁6分体地形成的第1光圈构件，设置于顶壁6的外表面6b。由此，能够提高适当的材料的选择等、第1光圈部71的设计的自由度。另外，通过在框体2形成大的光入射开口，能够缓和框体2内的法布里-珀罗干涉滤波器10的位置精度，并且调整第1光圈80与法布里-珀罗干涉滤波器10的位置关系。而且，即使在第1光圈部71与第2光圈部72之间形成有间隙g2，如上所述，也能够抑制光经由该间隙g2入射到框体2内而成为杂散光。
[0096]
另外，在分光单元100中，第1光圈部71固定于顶壁6。由此，能够防止因振动等而第1光圈80与法布里-珀罗干涉滤波器10的位置关系产生偏移。
[0097]
另外，在分光单元100中，第2光圈部72是与第1光圈部71分体地形成的第2光圈构件。由此，能够提高适当的材料的选择等、第2光圈部72和第1光圈部71的设计的自由度。另外，通过在框体2形成大的光入射开口，能够缓和框体2内的法布里-珀罗干涉滤波器10的位置精度，并且调整第2光圈72a与法布里-珀罗干涉滤波器10的位置关系。另外，能够调整第2光圈72a与第1光圈80的位置关系。
[0098]
另外，在分光单元100中，与方向a垂直的方向上的第1光圈80的截面形状呈圆形形状，与方向a垂直的方向上的第2光圈72a的截面形状呈圆形形状。由此，能够容易地形成具有期望性能的光圈。
[0099]
另外，在分光单元100中，第1光圈80内的区域为空间，第2光圈72a内的区域为空间。由此，能够防止因通过第1光圈80和第2光圈72a而引起的光的损失。
[0100]
另外，分光单元100具备配置于框体2内、检测透过了法布里-珀罗干涉滤波器10的光的光检测器8。由此，能够抑制由杂散光引起的噪声的产生，并且高精度地检测分光后的光。另外，由于光检测器8配置于框体2内，所以能够实现具备光检测器8的分光单元100的小
型化。
[0101]
另外，分光单元100具备配置于第1光圈80与法布里-珀罗干涉滤波器10之间的带通滤波器14。第1光圈部71和第2光圈部72以通过了第1光圈80和第2光圈72a的光全部入射到带通滤波器14的方式构成。由此，通过了第2光圈72a、第1光圈80和开口2a的光全部以其入射角度的范围变窄的状态入射到带通滤波器14。由此，带通滤波器14适当地发挥功能，所期望的波长范围的光以其入射角度的范围变窄的状态入射到法布里-珀罗干涉滤波器10。因此，在由法布里-珀罗干涉滤波器10获得的分光光谱中分辨率提高。
[0102]
另外，在分光单元100中，第1光圈部71和第2光圈部72以通过第1光圈80和第2光圈72a而透过了带通滤波器14的光全部入射到法布里-珀罗干涉滤波器10的方式构成。由此，能够抑制在框体2内产生杂散光。
[0103]
另外，在分光单元100中，带通滤波器14隔着顶壁6而与第1光圈部71分离。由此，带通滤波器14配置于框体2内，所以能够保护带通滤波器14免受物理干扰等。
[0104]
另外，分光模块50具备分光单元100、光源51、分光单元100的框体2和容纳光源51的封装53。第1光圈80和第2光圈72a与光源51的光出射部51a以彼此相邻的方式沿着封装53的外表面55a配置。据此，能够实现法布里-珀罗干涉滤波器10的分光精度提高的反射型的分光模块50。
[0105]
另外，在分光模块50中，第2光圈72a的光入射开口72b和光源51的光出射部51a位于凹部62内。由此，即使在使盖55的外表面55a与对象物接触的状态下，也能够确保凹部62内的区域作为光路，所以能够实施向对象物的光的照射和被对象物反射的光的检测。
[0106]
另外，在分光模块50中，在凹部62的第1部分63的底面63a形成有第2光圈72a。由此，即使在使盖55的外表面55a与对象物接触的状态下，也能够使被对象物反射的光可靠地入射到第2光圈72a。
[0107]
另外，在分光模块50中，在比凹部62的第1部分63深的第2部分64的底面64a形成有配置光源51的孔67。由此，即使在使盖55的外表面55a与对象物接触的状态下，也能够将从光源51出射的光充分地照射到对象物。
[0108]
另外，在分光模块50中，在第2部分64的底面64a与凹部62的侧面62a之间形成有凹状的曲面62b。由此，被凹状的曲面62b反射的光也照射到对象物，所以能够使从光源51出射的光更充分地照射到对象物。
[0109]
另外，在分光模块50中，在从方向a观察的情况下，孔67具有包含第2光圈72a的大小。由此，能够将从光源51出射的光遍及大范围地照射到对象物。
[0110]
[变形例]
[0111]
本发明并不限定于上述实施方式。例如，表示了第1锥形部分81和第2锥形部分82相互接触的例子，但第1锥形部分81和第2锥形部分82也可以相互分离。第1锥形部分81和第2锥形部分82例如也可以到达在方向a上形成于第1锥形部分81与第2锥形部分82之间的中间部分。中间部分内的区域例如也可以呈沿方向a延伸的圆柱状。另外，表示了第1锥形部分81的直径的变化率与第2锥形部分82的直径的变化率相同的例子，但第1锥形部分81的直径的变化率也可以与第2锥形部分82的直径的变化率不同。
[0112]
另外，如图9的(a)所示，第1光圈80也可以仅包括第2锥形部分82。第2锥形部分82也可以到达第1表面71a和第2表面71b两者。在该情况下，第1光圈80的外缘是光出射开口
80c的边缘。由此，即使以较大的入射角度入射到第2光圈72a的光在第2光圈72a的内表面反射并且在第2光圈72a内行进，该光也在第2锥形部分82的内表面向与框体2内为相反侧反射。因此，由此，能够更可靠地抑制以较大的入射角度入射到第2光圈72a的光在第2光圈72a的内表面反射并且入射到框体2内而成为杂散光。另外，如图9的(b)所示，第1光圈80也可以仅包括第1锥形部分81。第1锥形部分81也可以到达第1表面71a和第2表面71b两者。在该情况下，第1光圈80的外缘为光入射开口80b的边缘。这样，第1光圈80只要包含第1锥形部分81和第2锥形部分82的至少一者即可。如果第1光圈80包括第1锥形部分81和第2锥形部分82的至少一者，则能够通过蚀刻容易地形成第1锥形部分81和第2锥形部分82的至少一者。另外，能够实现第1光圈80的轻量化。
[0113]
另外，如果第1光圈80包括第1锥形部分81和第2锥形部分82的至少一者，则即使第1光圈部71以相对于方向a(线l)倾斜的状态(第1光圈80的中心线与线l交叉的状态)配置，也能够维持沿着方向a入射到第1光圈80的光的行进方向。具体而言，如图10的(a)所示，在形成于光圈部710的光圈720不包含锥形部分的情况下，即，在光圈720的内表面例如呈圆筒状的情况下，如果光圈部710以相对于方向a倾斜的状态配置，则沿着方向a入射到光圈720的光l3被光圈720的内表面反射。其结果是，沿着方向a入射的光l3被光圈720的内表面反射并且在光圈720内行进之后，沿着与方向a交叉的方向从光圈720出射。
[0114]
与此相对，如图10的(b)所示，在第1光圈80包含第1锥形部分81和第2锥形部分82的情况下，即使第1光圈部71以相对于方向a倾斜的状态配置，沿着方向a入射到第1光圈80的光l3也不会被第1锥形部分81或者第2锥形部分82的内表面反射，而是在沿着方向a在第1光圈80内行进之后，沿着方向a从第1光圈80出射。同样地，如图10的(c)所示，在第1光圈80仅包含第1锥形部分81的情况下，即使第1光圈部71以相对于方向a倾斜的状态配置，沿着方向a入射到第1光圈80的光l3也不会被第1锥形部分81的内表面反射，而是在沿着方向a在第1光圈80内行进之后，沿着方向a从第1光圈80出射。同样地，如图10的(d)所示，在第1光圈80仅包含第2锥形部分82的情况下，即使第1光圈部71以相对于方向a倾斜的状态配置，沿着方向a入射到第1光圈80的光l3也不会被第2锥形部分82的内表面反射，而是在沿着方向a在第1光圈80内行进之后，沿着方向a从第1光圈80出射。由此，缓和第1光圈部71的位置精度，并且使沿着方向a入射到第1光圈80的光l3沿着方向a出射，由此能够使带通滤波器14或法布里-珀罗干涉滤波器10适当地发挥功能。
[0115]
关于这一点，在光圈的外缘的宽度(例如直径)小的情况下特别重要。即，在光圈的外缘的宽度较小的情况下，存在通过光圈的光(在此为沿着方向a行进的光)的量变少的倾向。因此，为了确保通过光圈的光的量，重要的是不使沿着方向a行进的光的量减少。另外，如果光圈的外缘的宽度越小，光圈部相对于方向a稍微倾斜(例如，参照图10的(a))，则沿着方向a入射到光圈的光容易被光圈的内表面反射。根据第1光圈部71，如上所述，即使第1光圈部71以相对于方向a倾斜的状态配置，也能够维持沿着方向a入射到第1光圈80的光的行进方向。因此，能够抑制沿着方向a通过光圈的光的量减少。另外，在图10的(b)～(d)所示的第1光圈部71和法布里-珀罗干涉滤波器10与其他图所示的第1光圈部71和法布里-珀罗干涉滤波器10中，为了便于图示，尺寸的比率等不同。
[0116]
另外，在从方向a观察的情况下，第2光圈72a的外缘也可以位于法布里-珀罗干涉滤波器10的光透过区域10a的外缘或开口2a的外缘的外侧。在该情况下，能够充分确保进入
框体2内的光量。
[0117]
另外，第1光圈部71也可以与框体2一体地形成。在该情况下，盖4的顶壁6的一部分作为第1光圈部71发挥功能，第1光圈80以与开口2a连通的方式形成于顶壁6。如果第1光圈部71与框体2一体地形成，则能够利用简单的结构防止因振动等而导致第1光圈80与法布里-珀罗干涉滤波器10的位置关系产生偏移。
[0118]
另外，表示了第1光圈部71与顶壁6接触的例子，但第1光圈部71也可以与顶壁6分离。另外，第1光圈部71也可以与第2光圈部72接触。另外，第1光圈部71也可以与第2光圈部72一体地形成。在该情况下，盖55的一部分作为第1光圈部71发挥功能，第1光圈80以与第2光圈72a连通的方式形成于盖55。当第1光圈部71与第2光圈部72一体地形成时，能够以简单的结构防止因振动等而在第1光圈80与第2光圈72a的位置关系产生偏移。
[0119]
另外，第2光圈部72也可以是与盖55分体地形成的第2光圈构件。在该情况下，能够提高适当的材料的选择等第2光圈部72的设计的自由度。另外，能够更容易地调整第2光圈72a与第1光圈80或法布里-珀罗干涉滤波器10的位置关系。
[0120]
另外，上述的反射型的分光模块50即使在不使盖55的外表面55a与对象物接触而使盖55的外表面55a从对象物离开的状态下，也能够实施向对象物的光的照射和被对象物反射的光的检测。另外，分光单元100也可以应用于对从光源51出射并透过了对象物的光进行检测的透过型的分光模块50。另外，分光单元100也可不具备光检测器8，而通过配置于框体2外的光检测器8来检测透过了法布里-珀罗干涉滤波器10的光。
[0121]
符号说明
[0122]1…
光检测装置
[0123]2…
框体
[0124]
2a
…
开口
[0125]6…
顶壁(壁部)
[0126]8…
光检测器
[0127]
10
…
法布里-珀罗干涉滤波器
[0128]
10a
…
光透过区域
[0129]
35
…
第1反射镜部
[0130]
36
…
第2反射镜部
[0131]
50
…
分光模块
[0132]
51
…
光源
[0133]
51a
…
光出射部
[0134]
53
…
封装
[0135]
55a
…
外表面
[0136]
71
…
第1光圈(aperture)部
[0137]
71a
…
第1表面
[0138]
71b
…
第2表面
[0139]
72
…
第2光圈部
[0140]
72a
…
第2光圈
[0141]
80
…
第1光圈
[0142]
80d
…
外缘
[0143]
81
…
第1锥形部分
[0144]
82
…
第2锥形部分
[0145]
100
…
分光单元
[0146]a…
方向(相对方向)
[0147]
t1、t2
…
长度。