一种显影液喷涂装置的制作方法

文档序号:29510972发布日期:2022-04-06 19:46阅读:204来源:国知局
一种显影液喷涂装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种显影液喷涂装置,属于喷涂装置技术领域。


背景技术:

2.显影液是溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域的一种化学溶剂,对于负显影工艺,显影液通常是一种有机溶剂,对于正显影工艺,显影液是一种用水稀释的强碱溶液,早期的是氢氧化钾与水的混合物。
3.蓝宝石晶片在进行生产时,需要对其进行显影液喷涂,但现有的显影液喷涂装置每次只能对一个工件进行喷涂,同时不方便对工件进行多角度喷涂,从而导致喷涂不方便、喷涂效率不高,同时喷涂质量不佳。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种显影液喷涂装置,本实用新型结构简单,使用方便,可以有效的提高喷涂的效率和喷涂的质量,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
6.一种显影液喷涂装置,包括底座,所述底座的顶端固定设有框架,所述框架的内壁上滑动设有固定板一和固定板二,所述固定板一的中间位置处固定嵌设有电机一,所述电机一的输出端固定连接有齿轮一,所述固定板二上对称转动嵌设有储料壳体,所述储料壳体的上部均固定套设有齿轮二,所述齿轮二均与所述齿轮一齿轮啮合,所述储料壳体的底端均固定设有支架,所述支架之间均转动设有喷嘴,所述喷嘴的输入端均与相邻的所述储料壳体之间通过伸缩软管固定连接。
7.进一步的,所述框架的两侧内壁上均开设有滑槽,所述滑槽内均滑动设有滑块,所述固定板一和所述固定板二的两端均与相邻的所述滑块固定连接,所述框架的两侧顶端均对称固定设有气缸,所述气缸的输出端均延伸至相邻的所述滑槽内且与所述滑块的顶端固定连接。
8.进一步的,所述支架前侧均固定设有电机二,所述喷嘴的前侧和后侧均设有转轴,所述喷嘴与所述支架之间均通过转轴转动连接,所述喷嘴前侧的转轴均与相邻的所述电机二的输出端固定连接。
9.进一步的,所述底座的顶端固定设有箱体,所述箱体位于所述框架的后侧,所述箱体的顶端固定设有泵体,所述泵体的输入端与所述箱体之间通过抽液管固定连接,所述泵体的输出端固定连接有送液管一,所述送液管一的另一端固定连接有送液管二。
10.进一步的,所述储料壳体的顶端均通过旋转接头固定连接有进液软管,所述进液软管的另一端均贯穿所述框架的顶端延伸至所述框架外且与所述送液管二固定连接。
11.进一步的,所述储料壳体上均对称固定设有限位环,所述限位环均对称分布在所述固定板二的上方和下方,所述限位环均与所述固定板二相邻的一侧抵触。
12.进一步的,所述底座的顶端对称转动设有支座,所述支座均位于相邻的所述喷嘴
的正下方。
13.进一步的,所述底座内开设有容纳槽,所述容纳槽内对称转动设有转动杆,所述转动杆的顶端均延伸至所述底座外且与相邻的所述支座的底端固定连接,所述容纳槽的底端内壁上固定嵌设有电机三,所述电机三的输出端固定连接有齿轮三,所述转动杆上均固定套设有齿轮四,所述齿轮四均与所述齿轮三齿轮啮合。
14.本实用新型的有益效果是:
15.本实用新型通过设置了两组喷涂设备,可以同时对两个工件进行喷涂,从而提高了喷涂的效率,通过电机二可以带动喷嘴进行转动,从而可以调节喷嘴的角度,通过电机三带动齿轮三进行转动,从而使得齿轮三带动齿轮四进行转动,进而使得齿轮四带动转动杆进行转动,从而使得转动杆带动支座进行转动,同时通过电机一带动齿轮一进行转动,从而使得齿轮一带动齿轮二进行转动,进而使得齿轮二带动储料壳体进行转动,进而可以对支座上的工件进行均匀的喷涂,从而提高了喷涂的质量,本实用新型结构简单,使用方便,可以有效的提高喷涂的效率和喷涂的质量。
附图说明
16.附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的具体实施方式一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。
17.图1是本实用新型一种显影液喷涂装置的主视图;
18.图2是本实用新型一种显影液喷涂装置的结构示意图;
19.图3是本实用新型一种显影液喷涂装置的侧视图;
20.图4是本实用新型一种显影液喷涂装置的储料壳体的侧视图;
21.图中标号:1、底座;2、框架;3、固定板一;4、固定板二;5、电机一;6、齿轮一;7、储料壳体;8、齿轮二;9、支架;10、喷嘴;11、伸缩软管;12、滑槽;13、滑块;14、气缸;15、电机二;16、箱体;17、泵体;18、送液管一;19、送液管二;20、进液软管;21、限位环;22、支座;23、容纳槽;24、转动杆;25、电机三;26、齿轮三;27、齿轮四。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
23.实施例1,请参阅图1-图4,本实用新型提供一种技术方案:
24.一种显影液喷涂装置,包括底座1,底座1的顶端固定设有框架2,框架2的内壁上滑动设有固定板一3和固定板二4,固定板一3的中间位置处固定嵌设有电机一5,电机一5的输出端固定连接有齿轮一6,固定板二4上对称转动嵌设有储料壳体7,储料壳体7的上部均固定套设有齿轮二8,齿轮二8均与齿轮一6齿轮啮合,储料壳体7的底端均固定设有支架9,支架9之间均转动设有喷嘴10,喷嘴10的输入端均与相邻的储料壳体7之间通过伸缩软管11固定连接。
25.具体的,如图2所示,框架2的两侧内壁上均开设有滑槽12,滑槽12内均滑动设有滑
块13,固定板一3和固定板二4的两端均与相邻的滑块13固定连接,框架2的两侧顶端均对称固定设有气缸14,气缸14的输出端均延伸至相邻的滑槽12内且与滑块13的顶端固定连接,通过气缸14可以推动滑块13在滑槽12内进行滑动,从而通过滑块13可以带动固定板一3和固定板二4进行上下移动。
26.具体的,如图2与图4所示,支架9前侧均固定设有电机二15,喷嘴10的前侧和后侧均设有转轴,喷嘴10与支架9之间均通过转轴转动连接,喷嘴10前侧的转轴均与相邻的电机二15的输出端固定连接,通过电机二15可以带动喷嘴10进行转动,从而可以调节喷嘴10的角度。
27.具体的,如图1-图3所示,底座1的顶端固定设有箱体16,箱体16位于框架2的后侧,箱体16的顶端固定设有泵体17,泵体17的输入端与箱体16之间通过抽液管固定连接,泵体17的输出端固定连接有送液管一18,送液管一18的另一端固定连接有送液管二19,储料壳体7的顶端均通过旋转接头固定连接有进液软管20,进液软管20的另一端均贯穿框架2的顶端延伸至框架2外且与送液管二19固定连接,通过泵体17可以将箱体16内的显影液抽出,并通过送液管一18、送液管二19和进液软管20输送至储料壳体7内,然后通过伸缩软管11和喷嘴10对工件进行喷涂。
28.具体的,如图2所示,底座1的顶端对称转动设有支座22,支座22均位于相邻的喷嘴10的正下方,底座1内开设有容纳槽23,容纳槽23内对称转动设有转动杆24,转动杆24的顶端均延伸至底座1外且与相邻的支座22的底端固定连接,容纳槽23的底端内壁上固定嵌设有电机三25,电机三25的输出端固定连接有齿轮三26,转动杆24上均固定套设有齿轮四27,齿轮四27均与齿轮三26齿轮啮合,通过电机三25带动齿轮三26进行转动,从而使得齿轮三26带动齿轮四27进行转动,进而使得齿轮四27带动转动杆24进行转动,从而使得转动杆24带动支座22进行转动。
29.实施例2,请参阅图2与图4,本实施例与实施例1的区别在于:储料壳体7上均对称固定设有限位环21,限位环21均对称分布在固定板二4的上方和下方,限位环21均与固定板二4相邻的一侧抵触,通过设置限位环21,使得储料壳体7可以在固定板二4上进行转动。
30.本实用新型工作原理:在使用时,将工件放置在支座22上,然后通过电机二15可以带动喷嘴10进行转动,从而可以调节喷嘴10至合适角度,然后通过气缸14可以推动滑块13在滑槽12内进行滑动,从而通过滑块13可以带动固定板一3和固定板二4进行上下移动,从而使得固定板二4通过储料壳体7带动喷嘴10向下移动至合适位置处,此时通过电机一5带动齿轮一6进行转动,从而使得齿轮一6带动齿轮二8进行转动,进而使得齿轮二8带动储料壳体7进行转动,然后通过电机三25带动齿轮三26进行转动,从而使得齿轮三26带动齿轮四27进行转动,进而使得齿轮四27带动转动杆24进行转动,从而使得转动杆24带动支座22进行转动,同时通过泵体17可以将箱体16内的显影液抽出,并通过送液管一18、送液管二19和进液软管20输送至储料壳体7内,然后通过伸缩软管11和喷嘴10对工件进行喷涂。
31.对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制
所涉及的权利要求。
32.此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
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