试料冷却支架以及冷却源容器的制造方法

试料冷却支架以及冷却源容器的制造方法
【专利摘要】在现有的试料冷却支架中，若试料的朝向变换则冷却源容器也一同倾斜，而容纳的冷却源产生起泡。因此，提供一种试料冷却支架(13)，其具有机构(14、15、17、18)，该机构即使在使试料(1)向适于加工或者观察的朝向倾斜，也能够一边沿恒定方向保持冷却源容器的姿势一边冷却试料(1)。另外，提供一种冷却源容器，其在相对于外部空气对保持冷却源的内侧容器(23)进行真空绝热的外侧容器(21)安装有真空保持机构(24、25)。
【专利说明】试料冷却支架以及冷却源容器

【技术领域】
[0001]本发明涉及带电粒子装置(例如聚焦离子束加工观察装置(FIB装置)、透射式电子显微镜(TEM)、扫描透射式电子显微(STEM))中使用的试料冷却支架。另外，本发明涉及适于安装于试料冷却支架(Specimen Cryo Holder)的冷却源容器(Dewar)。

【背景技术】
[0002]FIB装置是通过向试料照射聚集的带电粒子、而能够将试料加工为任意的形状的装置。尤其是，具有微型探针的FIB装置能够从试料的任意位置抽出微小试料。该抽出方法被称作FIB微采样法。FIB微采样法是适合于用电子显微镜等进行作为纳米技术的研究对象的几nm等级的状态解析、构造解析时所需要的试料的制成的方法(专利文献I)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本专利第2774884号公报
[0006]专利文献2:日本特开平11-96953号
[0007]专利文献3:日本特开平10-275582号
[0008]专利文献4:美国专利第5，986，270号
[0009]专利文献5:日本特表2000-513135
[0010]专利文献6:日本特表2004-508661
[0011]专利文献7:日本特开2010-257617
[0012]非专利文献
[0013]非专利文献1:0hnishi T., Koike H., Ishitani T., Tomimatsu S., UmemuraK., and Kamino T., Proc.25th Int.Symp.Test.And Fail.Anal.(1999) 449-453.


【发明内容】

[0014]发明所要解决的课题
[0015]然而，在用电子显微镜观察制成的薄膜试料的情况下，因电子束的影响，试料的温度上升，从而有难以进行试料本来的状态、构造的解析的情况。尤其是，容易受到热损伤的试料一般导热率较低，试料的充电和导热特性对热损伤有较大的影响。对于该问题，提出了冷却观察中的试料的方法(专利文献2)。但是，专利文献2中提出的试料冷却支架无法效率良好地将冷却源的热传递至试料，而是能够勉强地冷却试料的程度。
[0016]另外，用电子显微镜观察薄膜试料需要相对于薄膜面垂直地照射电子束。因此，这种试料冷却支架需要能够使试料的朝向倾斜的机构。例如观察结晶性的试料需要至少一个轴的倾斜机构。然而，现有的试料冷却支架的情况下，放入有冷却源(例如液氮)的容器(以下称作“冷却源容器”)固定于倾斜机构。因此，若试料冷却支架倾斜则容器也倾斜，从而容器内的液氮的液面位置变化而沸腾(起泡)。该沸腾所引起的振动通过试料冷却支架而向试料传播，从而难以进行试料的观察。因此，需求能够一边效率良好地冷却导热率较低的试料一边进行观察的带倾斜机构的试料冷却支架。
[0017]此外，在FIB装置的加工时，因加工条件，也有试料的温度上升的情况。尤其在将不耐热的树脂、低熔点金属、低温相变化物等作为加工对象的情况下，优选一边冷却试料一边进行加工。
[0018]一般情况下，与加工位置碰撞的带电粒子的能量的一部分用于进行溅射，而剩余被导入试料内而变化为热能。该热能在试料内传播而向冷却部位扩散，一定时间后，试料的温度在目的温度的附近稳定。
[0019]但是，在带电粒子的照射所给予的热能超过从冷却源向冷却部位给予的热传递量的情况下，试料的温度上升。因此，为了冷却试料并用带电粒子进行加工，需要考虑试料的热传递特性、形态，并适当地调整冷却温度、带电粒子的照射条件等。然而，现有的试料冷却支架如上所述地导热量非常小，从而其调整本身困难。
[0020]另外，在FIB装置的加工中，需要一边从平行方向对薄膜面照射离子束一边进行加工。但是，如上所述，现有的试料冷却支架中，放入有冷却源(例如液氮)的容器固定于倾斜机构，从而若使试料冷却支架倾斜，则使容器也一同倾斜。结果，液氮沸腾(起泡)，其振动向作为加工对象的试料传播。因此，FIB装置的情况下，也需求能够效率良好地冷却导热率较低的试料、并同时进行加工的带倾斜功能的试料冷却支架的实现。
[0021]本发明是考虑以上的课题而完成的，在带倾斜功能的试料冷却支架中，其提供能够进行加工或者观察中的试料的冷却的试料冷却支架以及所使用的冷却源容器。
[0022]用于解决课题的方案
[0023]为了解决上述课题，本发明的试料冷却支架具有如下机构，即，即使使试料向适于加工或者观察的朝向倾斜，也能够一边沿恒定方向保持冷却源容器的姿势一边冷却试料。另外，本发明的冷却源容器在相对于外部空气对保持冷却源的内侧容器进行真空绝热的外侧容器具有真空保持机构。
[0024]发明的效果如下。
[0025]根据本发明的试料冷却支架，能够有效地冷却试料，并能够使试料向适于使用带电粒子的加工或者观察的朝向倾斜。另外，若使用本发明的冷却源容器，则在观察或者加工时能够提高真空绝热性能，从而能够长时间维持冷却源对试料的冷却。上述以外的课题、结构以及效果通过以下的实施方式的说明变得清楚。

【专利附图】

【附图说明】
[0026]图1A是试料冷却用试料台的简图，是表示加工用带电粒子装置中的试料与带电粒子的位置关系的图。
[0027]图1B是试料冷却用试料台的简图，是表示观察用带电粒子装置中的试料与带电粒子的位置关系的图。
[0028]图2是说明试料冷却支架相对于带电粒子装置的安装状态、和其剖面构造的图。
[0029]图3A是说明水平地对试料照射带电粒子的情况下的、试料与带电粒子的位置关系以及试料冷却支架与冷却源容器的位置关系的图。
[0030]图3B是说明垂直地对试料照射带电粒子的情况下的、试料与带电粒子的位置关系以及试料冷却支架与冷却源容器的位置关系的图。
[0031]图4是说明试料加工、观察时的试料冷却支架的使用状态、和环境气氛切断时的试料冷却支架的使用状态的图。
[0032]图5是表示试料冷却支架的前端部的立体图。
[0033]图6A是说明冷却试料台相对于试料冷却支架的安装构造的立体图。
[0034]图6B是说明冷却试料台相对于试料冷却支架的安装构造的俯视图。
[0035]图7是说明安装于试料冷却支架的冷却源容器的剖面构造的图。

【具体实施方式】
[0036]以下，基于附图，对本发明的实施方式进行说明。此外，本发明的实施方式不限定于后述的实施例，在其技术思想的范围内，能够进行各种变形。
[0037]首先，对加工时和观察时的带电粒子与试料的位置关系的差异进行说明。图1A表示加工时的带电粒子与试料的位置关系，图1B表示观察时的带电粒子与试料的位置关系。
[0038]试料I是利用例如FIB微采样法等制成的微小试料。设于试料I的加工、观察区域2在通常的加工、观察的情况下为ΙΟμπι平方以下。此外，试料I直接粘合于由冷却源冷却的冷却试料台3。
[0039]加工时(图1Α)，通过空间4并从与试料I的薄膜面水平的方向对微小区域照射带电粒子5 (例如离子束)。另一方面，观察时(图1Β)，通过空间4并从与试料I的薄膜面垂直的方向对微小区域照射带电粒子6(例如电子束)。在任一个情况下，均能够一边冷却试料I 一边进行加工、观察。此外，在任一个情况下，为了提高冷却效果，均需要效率良好地向冷却试料台3排出在微小区域产生的热。本实施例的情况下，加工、观察区域2是离冷却试料台3几μ m以下的距离接近的构造。因此，能够期待较高的冷却效果。
[0040]此外，观察时(图1B)，从试料I输出的信号7 (例如特性X射线、二次电子(反射电子))在空间4通过，并效率良好地由检测器检测。虽然在图1A以及图1B中未图示，但在作为冷却试料台3的安装目的地的支架设有能够使试料在纸面纵向上倾斜的机构，能够进行与目的对应的加工、观察。
[0041][实施例1]
[0042](整体结构)
[0043]图2表示将安装有冷却源容器的试料冷却支架13安装于带电粒子装置的支架承受部11的状态。试料冷却支架13通过O型圈12而能够滑动以及/或者转动地安装于支架承受部11。
[0044]试料冷却支架具有:构成外筒的开闭器19 ;构成内筒的隔热件(熱'>一> K ) 18 ；在内筒内容纳杆的一部分的L字形状的冷却杆14 ;以及将隔热件18保持为能够旋转、并且保持冷却杆14的冷却源容器安装部15。冷却源容器安装部15以在设于其下表面侧的开口内插入有冷却杆14的一部分的状态保持。冷却杆14的一部分从冷却源容器安装部15的下表面突出，在将冷却源容器安装于冷却源容器安装部15的下表面时，杆的一部分与冷却源16接触。
[0045]此处，冷却杆14未固定于隔热件18的内侧，也未固定于冷却源容器安装部15的内侧。在欲相对于隔热件18的内侧固定冷却杆14的情况下，使用锁定机构26。若压入该实施例的锁定机构26则将冷却杆14按压于隔热件18的内侧并进行锁定，若再次压入该实施例的锁定机构26，则解除锁定状态。
[0046]如后述那样，在冷却源容器安装部15，通过螺纹件等固定地安装冷却源容器。而且，冷却源容器安装部15和隔热件18通过O型圈20而安装为能够转动。开闭器19通过O型圈20而安装为能够沿隔热件18的表面往复动。
[0047]该实施例的情况下，隔热件18的前端部分(试料安装侧)以对置的两个臂沿轴向突出的方式局部被切断，并构成为在该两个臂之间能够保持冷却试料台支承台10。此处，冷却试料台支承台10和冷却杆14通过柔性冷却传递部件(例如筒状金属网状物)17连结。柔性冷却传递部件17是变形自如的部件。因此，冷却试料台支承台10与冷却杆14分离，能够使仅冷却试料台支承台10相对于冷却杆14独立地倾斜(沿隔热件18的轴向旋转)。
[0048]在冷却试料台支承台10安装有冷却支承台3，该冷却支承台3安装有试料I。因此，能够使冷却试料台支承台10相对于冷却杆14独立地倾斜指的是，能够使试料I相对于冷却杆14独立地倾斜。将试料I固定于冷却试料台3为止的工艺是已知的(非专利文献I)。因此，省略工艺的说明。
[0049]如上所述，由于冷却试料台支承台10固定于隔热件18，所以若使隔热件18相对于冷却源容器安装部15旋转，则冷却试料台支承台10也与隔热件18 —体旋转，从而使试料I的朝向旋转。如上所述，冷却试料台支承台10和隔热件18能够旋转是因为冷却试料台支承台10和冷却杆14通过柔性冷却传递部件17连结。
[0050]冷却试料台3在加工、观察结束后能够从冷却试料台支承台10取下。当然，在再次进行加工、观察时，能够将冷却试料台3安装于冷却试料台支承台10。后文叙述用于相对于冷却试料台支承台10能够装卸地安装冷却试料台3的构造。
[0051]另外，在隔热件18的前端部，依次安装有支架前端护罩9和支架前端护罩按压件8。支架前端护罩9是在使开闭器19沿隔热件18的轴向前端方向滑动的情况下与开闭器19的端部紧贴、来对开闭器19内进行封闭的部件。另外，支架前端护罩按压件8是防止支架前端护罩9的脱落的部件。
[0052]冷却源容器具有双重容器构造，其具有保持冷却源(例如液氮)16的内侧冷却源容器23、和隔着隔热件22而容纳内侧冷却源容器23的外侧冷却源容器21。隔热件22保持真空状态。因此，内侧冷却源容器23通过隔热件22而与外侧冷却源容器21的外界完全隔热。
[0053]在内侧冷却源容器23的上表面形成有两个开口，在一个开口插入冷却杆14，另一个开口用于冷却源的导入。
[0054]该实施例的情况下，在外侧冷却源容器21的下表面形成有真空排气口 24，在真空排气口 24安装有真空保持盖25。真空排气口 24用于隔热件22的真空排气。真空保持盖25用于保持真空排气后的隔热件22的高真空状态。如上所述，冷却源容器使用螺纹件等而相对于试料冷却支架能够装卸。
[0055](使用时的试料的朝向)
[0056]图3A中表示加工试料的情况下的试料与带电粒子的位置关系、以及试料冷却支架与冷却源容器的位置关系。另外，图3B中表示观察试料的情况下的试料与带电粒子的位置关系、以及试料冷却支架与冷却源容器的位置关系。此外，图3A以及图3B的右图中，纸面垂直方向是试料冷却支架13的长边方向。
[0057]在制成薄膜试料的FIB装置中，如图3A所示，相对于从未图示的物镜释放的带电粒子5 (此处为离子束)平行地配置试料I，通过交替对加工、观察面的表背进行加工，来保持冷却的状态下制成薄膜试料。此外，来自冷却源16的热通过冷却杆14、柔性冷却传递部件17、冷却试料台支承台10以及冷却试料台3而向试料I传播。
[0058]此时，冷却杆14处于锁定解除状态。由于锁定解除，所以即使变更试料I的倾斜角(即，即使使隔热件18绕中心轴旋转)，冷却杆14也不会和隔热件18 —起旋转，从而冷却源容器不会与冷却源容器安装部15 —起旋转。即，保持在冷却源容器内的冷却源16保持水平状态不变。即使在因外部要因等在冷却源16产生起泡的情况下，其振动也专门通过柔性冷却传递部件17传播，并且衰减。因此，能够有效地防止加工精度、观察精度的降低。
[0059]在对制成的薄膜试料进行观察的电子显微镜中，如图3B所示，薄膜试料相对于带电粒子6(此处为电子束)以大致成直角的方式配置。图3B中的试料I的配置从图3A中的薄膜试料制成时的方向倾斜90度。当然，冷却杆14处于锁定解除状态。另外，开闭器19和隔热件18的一体的旋转由柔性冷却传递部件17沿扭转方向的变形来吸收。因此，开闭器19和隔热件18的旋转(倾斜)对冷却杆14的旋转(倾斜)没有影响。
[0060]电子显微镜中，保持冷却试料I的状态下，执行使用了透射波等的观察。从试料发出的信号7 (例如特性X射线)在未图示的空间4通过，并效率良好地由检测器检测，并用于试料评价。如上所述，此处的观察需要使采用结晶构造的试料I向纸面纵向、面内方向倾斜。为此的开闭器19以及隔热件18 (或者仅隔热件18)的旋转(倾斜)也可以使用保持试料冷却支架13的装置工作台的倾斜机构来执行，也可以手动来进行。
[0061]当然，观察时，锁定机构26也成为锁定解除状态。由此，不受薄膜试料的加工、观察方向的限制，都能够对保持于内侧冷却源容器23的冷却源16的水平状态进行保持。
[0062](开闭器功能)
[0063]接着，对开闭器19的使用例进行说明。开闭器19设为用于回避在装置间搬运试料冷却支架13的情况下的试料破损、污染。图4的上层所示的使用例(a)表示试料加工、观察时的开闭器19的位置，图4的下层所示的使用例(b)表示搬运中的开闭器19的位置。搬运时，构成外筒的开闭器19沿构成内筒的隔热件18的表面向前端方向滑动，在端面抵接于支架前端护罩9的状态下形成密闭空间。
[0064]图5中表示试料冷却支架13的前端部的构造。支架前端护罩9的材质为任意的。在作为支架前端护罩9而使用具有遮挡性能的材质(例如橡胶)的情况下，通过形成于隔热件18的箱体的真空排气口 28而进行真空排气，从而能够在将试料冷却支架13内保持真空不变的装置间使试料I移动。另外，在作为支架前端护罩9而使用树脂制且具有耐热性的材质(例如氟树脂)的情况下，使试料冷却支架13的前端部直接浸溃于冷却介质，而能够迅速冻结试料I。
[0065](冷却试料台的安装构造)
[0066]此处，使用图6A以及图6B，表示冷却试料台3相对于试料冷却支架13的安装构造。图6A表示相对于冷却试料台3的安装面的背侧的安装构造，图6B表示从冷却试料台3的安装面侧观察的结构。本实施例的情况下，采用如下构造，即，利用冷却试料台支承台10和冷却试料台按压件29从两侧夹持冷却试料台3，并利用固定螺纹件27进行固定。
[0067]此外，在固定螺纹件27的头部形成的“一”字形的螺纹槽不穿透头部的两端，如图6A所示，螺纹槽的两端在头部的内侧，形成为两端部是矩形形状或者两端部是半圆形状的细长的孔。通过采用该螺纹槽形状，从而在冷却试料台3的安装、取下时，一字槽螺钉旋具的前端都难以从螺纹槽滑出。
[0068]另外，如图6B所示，为了将从冷却源16通过冷却杆14、柔性冷却传递部件17而传播来的热可靠地向试料I传递，冷却试料台支承台10由从设于隔热件18的臂的两侧突出的四个前端尖的零件30固定。
[0069](冷却源容器)
[0070]图7表示冷却源容器的剖面构造。相对于试料冷却支架13能够装卸的冷却源容器由如下部件构成:保持冷却源(例如液氮)16的圆筒状的内侧冷却源容器23 ;以及隔着隔热件22而容纳内侧冷却源容器23的圆筒状的外侧冷却源容器21。
[0071 ] 在内侧冷却源容器23的上表面形成有两个开口，从该两个开口分别向上方安装有筒状的管。该两个管的一端与设于外侧冷却源容器21的相同形状的孔连结。通过该连结，由内侧冷却源容器23和外侧冷却源容器21包围的空间形成隔热件22。此外，两个开口中的一个作为插入冷却杆14的冷却杆插入口 31a而使用，另一个作为用于导入冷却源16的冷却源导入口 31b而使用。此外，冷却杆插入口 31a和冷却源导入口 31b的名称是为了便于说明而命名的，也可以将其中任一个用于冷却杆14的插入，将另一个用于冷却源16的导入。
[0072]另外，在外侧冷却源容器21的下表面形成有真空排气口 24，在真空排气口 24安装有真空保持盖25。真空排气口 24用于隔热件22的真空排气。真空保持盖25用于保持真空排气后的隔热件22的高真空状态。
[0073](总结)
[0074]如上所述，通过使用试料冷却支架13，从而即使为了进行加工、观察而变更试料的朝向(倾斜)，也能够使安装于试料冷却支架13的冷却源容器安装部15的冷却源容器的朝向总是维持为自重方向。由此，若使用试料冷却支架13，则即使试料的朝向(倾斜)变化，作为冷却源16的液氮、液氦等也不会起泡。结果，不会向试料I传播由起泡引起的振动，从而能够提高观察以及加工精度。
[0075]当然，通过冷却杆14、柔性冷却传递部件17、冷却试料台支承台10以及冷却试料台3，向试料I传播冷却源16的温度。因此，能够一边冷却试料I 一边进行观察、加工。此夕卜，由于柔性冷却传递部件17的导热性优异，所以能够向试料I传播足够的热量。
[0076]以上的技术效果通过试料冷却支架13具有以下的特征来实现。
[0077](I)试料I以及对冷却试料台3进行安装的冷却试料台支承台10通过至少能够沿扭转方向变形的冷却杆14连接，从而能够使试料I从冷却杆14以独立的状态旋转(倾斜)，
[0078](2)冷却杆14未在构成内筒的隔热件18以及冷却源容器安装部15固定，另外，本实施例的冷却源容器相对于试料冷却支架13 (具体而言，为冷却源容器安装部15)能够装卸。因此，在不需要冷却试料I的情况下，能够从试料冷却支架13取下冷却源容器。另夕卜，本实施例的冷却源容器中，在构成外筒的外侧冷却源容器21设有真空保持盖25，若在每次进行观察、加工时进行抽真空，则能够在真空度总是较高的状态下进行观察、加工。因此，能够长时间维持冷却源的温度，从而能够连续且长时间地进行作业。另外，由于能够连续作业，所以能够大幅度缩短加工以及观察所需要的总作业时间。由此，能够实现材料解析以及研究的迅速发展。尤其是，在具有方位性的材料解析、研究的领域中能够期待大范围的应用。
[0079][其它的实施例]
[0080]此外，本发明不限定于上述的实施例，包括各种变形例。例如，上述的实施例是为了容易理解地说明本发明而详细地进行说明的，不限定于必须具备说明的全部结构。另外，能够将实施例的一部分结构置换为其它结构，也能够在实施例的结构中追加其它结构。另夕卜，也能够删除实施例的结构的一部分。
[0081]符号的说明
[0082]I—试料,2—加工、观察区域，3—冷却试料台，4一空间，5—带电粒子，6—带电粒子，7—信号，8—支架前端护罩按压件，9一支架前端护罩，10—冷却试料台支承台，11 一支架承受部，12 — O型圈，13—试料冷却支架，14一冷却杆(第二导热部件)，15—冷却源容器安装部，16—冷却源，17—柔性冷却传递部件(第一导热部件)，18—隔热件(第一筒部件)，19一开闭器(第二筒部件)，20 — O型圈，21—外侧冷却源容器，22—隔热件，23—内侧冷却源容器，24—真空排气口，25—真空保持盖，26—锁定机构，27—固定螺纹件，28—真空排气口，29—冷却试料台按压件，30—前端尖的零件，31a—冷却杆插入口，31b—冷却源导入口。
【权利要求】
1.一种试料冷却支架，其特征在于，具有: 冷却试料台支承台，其对载置有利用带电粒子进行加工或者观察的试料的冷却试料台进行安装； 第一导热部件，其将从冷却源传递来的热向上述冷却试料台支承台传递，并且与上述试料的朝向的变化相应地变形； 第二导热部件，其将上述冷却源的热向上述第一导热部件传递； 第一筒部件，其前端部固定于上述冷却试料台支承台，并且将上述第一以及上述第二导热部件以可动的方式容纳在内空间；以及 冷却源容器安装部，其将上述第一筒部件安装为能够转动，并且将容纳上述冷却源的冷却源容器安装为能够装卸。
2.根据权利要求1所述的试料冷却支架，其特征在于，具有: 第二筒部件，其在内侧容纳上述第一筒部件；以及 支架前端护罩，其配置于上述第一筒部件的前端，与沿上述第一筒部件的外表面向前端方向滑动的上述第二筒部件的前端侧端面接触来生成密闭空间。
3.根据权利要求2所述的试料冷却支架，其特征在于， 上述第一筒部件具有在对上述密闭空间进行真空排气时使用的真空排气口。
4.根据权利要求2所述的试料冷却支架，其特征在于， 上述支架前端护罩是真空遮挡用垫片。
5.根据权利要求2所述的试料冷却支架，其特征在于， 上述支架前端护罩是具有耐热性的树脂制部件。
6.根据权利要求1所述的试料冷却支架，其特征在于， 上述冷却试料台通过固定螺纹件安装于上述冷却试料台支承台，上述固定螺纹件具有一字形状的螺纹槽的两端未达到螺纹件头部的端部的形状。
7.根据权利要求1所述的试料冷却支架，其特征在于， 上述冷却试料台支承台通过点接触固定于上述第一筒部件。
8.—种冷却源容器，其特征在于，具有: 内侧冷却源容器，其至少具有供构成权利要求1所述的试料冷却支架的上述第二导热部件的一端侧插入的开口，并在内空间保持从外部导入的冷却源； 外侧冷却源容器，其对上述内侧冷却源容器进行真空绝热；以及真空保持盖，其安装在形成于上述外侧冷却源容器的一部分的真空排气口，并对真空绝热用的密闭空间的真空状态进行保持。
9.根据权利要求8所述的冷却源容器，其特征在于， 上述内侧冷却源容器与供上述第二导热部件的一端侧插入的开口不同地具有用于导入冷却源的专用的开口。
10.一种冷却源容器，其特征在于，具有: 内侧冷却源容器，其在内空间保持冷却源，该冷却源用于利用带电粒子进行加工或者观察的试料的冷却； 外侧冷却源容器，其对上述内侧冷却源容器进行真空绝热；以及 真空保持盖，其安装在形成于上述外侧冷却源容器的一部分的真空排气口，并对真空绝热用的密闭空间的真空状态进行保持。
【文档编号】H01J37/20GK104380426SQ201380033422
【公开日】2015年2月25日 申请日期:2013年6月4日 优先权日:2012年6月28日
【发明者】长久保康平, 水尾考志 申请人:株式会社日立高新技术