照射体以及照射装置的制作方法

本实用新型的实施方式涉及一种照射体以及照射装置。

背景技术：

在各种膜或液晶面板的制造工序中，使用紫外线照射装置使紫外线固化树脂发生固化反应。对于此种紫外线照射装置，已知有如下结构，即，排列使用多个发光二极管(Light Emitting Diode，LED)等发光元件作为光源。对于使用有发光元件的紫外线照射装置来说，为了确保与高压放电灯相同程度以上的照射特性，发光元件正逐步高输出化。

随着发光元件的高输出化，发光元件的接合温度(junction temperature)也有升高的倾向。因此，使用有发光元件的紫外线照射装置采用空冷方式或水冷方式的冷却构造，通过对安装有发光元件的基板进行支撑的散热部件进行冷却。此种冷却构造存在如下问题：在受到冷却的散热部件、与安装有发光元件的基板未恰当地密合的情况下，基板的面内方向上的照度分布的变化量会增大。作为所述问题的对策，已知有如下技术，即，为了提高基板与散热部件之间的密合性，在基板与散热部件之间涂布硅脂(silicon grease)或粘贴粘合带，由此来提高密合性。

另外，对于紫外线照射装置来说，由于经时劣化或来自受到紫外线照射的被照射物的杂质等的附着，来自发光元件的紫外线的照度会下降，因此，有时会更换发光元件。因此，在使用了硅脂或粘合带提高密合性的情况下，难以进行发光元件的更换作业，发光元件缺乏维护性(保养性)。

因此，作为紫外线照射装置，已提出了如下结构，此结构包括支撑基板的第一散热部件、与支撑第一散热部件的第二散热部件，并通过第二散热部件，利用负压对第一散热部件进行抽吸。所述结构是将第一散热部件可装卸地吸附于第二散热部件的吸附面，由此来确保发光元件的维护性，并且通过提高第一散热部件与第二散热部件之间的密合性，提高经由第一散热部件及第二散热部件的发光元件的散热性。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2010-197540号公报

技术实现要素：

[实用新型所要解决的问题]

但是，对于利用负压将第一散热部件吸附于第二散热部件的结构来说，通过提高第二散热部件的吸附面与第一散热部件之间的密合性，有时即使在利用负压进行的抽吸已停止的状态下，也难以从吸附面上拆除吸附于第二散热部件的吸附面的第一散热部件。另一方面，对于所述结构来说，在为了提高第一散热部件相对于第二散热部件的装卸性，将第二散热部件的吸附面与支撑于第二散热部件的第一散热部件之间的距离增大的情况下，有时第一散热部件难以均一地吸附于吸附面。

因此，本实用新型的目的在于提供能够使因负压而被吸附的散热部件的装卸性提高的照射体以及照射装置。

[解决问题的技术手段]

实施方式的照射体包括：基板，设置有发光元件；第一散热部件，设置所述基板，并释放从所述基板传导来的热；第二散热部件，包括对所述第一散热部件进行支撑的支撑部，并释放从所述第一散热部件传导来的热；以及移动机构，使所述第一散热部件相对于所述支撑部移动。所述支撑部包括设置有空气抽吸路径的吸附面，并将所述第一散热部件可移动地支撑于第一位置、第二位置及第三位置，所述空气抽吸路径用以利用负压来对所述第一散热部件进行抽吸，所述第一位置是所述第一散热部件与所述吸附面因所述负压而接触的位置，所述第二位置是所述第一散热部件与所述吸附面分离并能够利用所述负压将所述第一散热部件吸附于所述吸附面的位置，所述第三位置是使所述第一散热部件比所述第二位置更远离所述吸附面的位置。所述移动机构使所述第一散热部件移动至所述第二位置与所述第三位置。

所述第一散热部件包括与所述吸附面接触的接触面，在所述接触面中设置有供从所述空气抽吸路径喷出的空气进入的凹部。

多个所述发光元件排列于所述基板，

所述第一散热部件沿着所述多个发光元件的排列方向延伸，所述凹部设置在所述接触面的所述排列方向的端部。

所述移动机构包括：安装孔，设置于所述第二散热部件；以及移动部件，穿过所述安装孔，使所述第一散热部件移动至所述第二位置与所述第三位置。

实施方式的照射装置，包括如上所述的照射体；以及

安装部，可装卸地安装所述照射体。

[实用新型的效果]

根据本实用新型，能够使因负压而被吸附的散热部件的装卸性提高。

附图说明

图1是示意性地表示实施方式的照射装置的立体图。

图2是示意性地表示实施方式的照射装置所具有的照射体的立体图。

图3是从排列有发光元件的一侧示意性地表示实施方式的照射体的立体图。

图4是表示实施方式的照射体中，第一散热部件安装于第二散热部件的状态的剖视图。

图5是表示实施方式的照射体中，第一散热部件通过移动机构而移动的状态的剖视图。

图6是表示实施方式的照射体中，第一散热部件吸附于第二散热部件的状态的剖视图。

图7是示意性地表示实施方式的第一变形例的照射体的剖视图。

图8是示意性地表示实施方式的第二变形例的照射体的剖视图。

[符号的说明]

1：照射装置

2：照射体

3：支撑基体

3a：安装部

3b：一侧面

3c：底面

4：抽吸装置

4a：负压导入管

5：冷却装置

5a：连结管

6a：抽吸用连通路径

6b：冷却用连通路径

7：发光元件

8：基板

11：第一散热部件

11a：底面

11b：接触面

11c：卡合凸部

11d：凹部

12：第二散热部件

12a：吸附面

12b：卡合槽

12c：底面

13：支撑部

14：空气抽吸路径

14a：抽吸槽

14b：抽吸孔

15：移动机构

16：安装孔

17：移动用螺钉

17a：螺纹部

17b：头部

18：流路

20：照射体

30：照射体

31：第一散热部件

31a：底面

31b：接触面

31c：卡合凸部

31d：凹部

32：第二散热部件

32a：吸附面

32b：卡合槽

32c：底面

33：支撑部

34：空气抽吸路径

34a：抽吸槽

34b：抽吸孔

35：移动机构

36：安装孔

37：插入销

37a：轴部

38：流路

P1：第一位置

P2：第二位置

P3：第三位置

具体实施方式

以下所说明的实施方式的照射体包括基板、第一散热部件、第二散热部件及移动机构。发光元件设置于基板。基板设置于第一散热部件。第一散热部件释放从基板传导来的热。第二散热部件包括对第一散热部件进行支撑的支撑部。第二散热部件释放从第一散热部件传导来的热。移动机构使第一散热部件相对于支撑部移动。支撑部包括设置有空气抽吸路径的吸附面，所述空气抽吸路径用以利用负压来对第一散热部件进行抽吸。支撑部将第一散热部件可移动地支撑于第一位置、第二位置及第三位置。在第一位置，第一散热部件与吸附面因负压而接触。在第二位置，第一散热部件与吸附面分离，并能够利用负压将第一散热部件吸附于吸附面。在第三位置，第一散热部件比第二位置更远离吸附面。移动机构使第一散热部件移动至第二位置与第三位置。

另外，以下所说明的实施方式的照射体中的第一散热部件包括与吸附面接触的接触面。在接触面中设置有供从空气抽吸路径中喷出的空气进入的凹部。

另外，在以下所说明的实施方式的照射体中的基板上，排列有多个发光元件。第一散热部件沿着多个发光元件的排列方向延伸。凹部设置在接触面的排列方向的端部。

另外，以下所说明的实施方式的照射体中的移动机构包括安装孔与移动部件。安装孔设置于第二散热部件。移动部件穿过安装孔，使第一散热部件移动至第二位置与第三位置。

另外，以下所说明的实施方式的照射装置包括所述照射体与安装部。照射体可装卸地安装于安装部。

(实施方式)

(照射装置的结构)

以下，参照附图来对实施方式的照射装置进行说明。图1是示意性地表示实施方式的照射装置的立体图。如图1所示，本实施方式的照射装置1包括多个照射体2、对多个照射体2进行支撑的支撑基体3、将负压导入至各照射体2的抽吸装置4及对照射体2进行冷却的冷却装置5。另外，实施方式的照射装置1构成为紫外线照射装置。

支撑基体3形成为长方体状且包括多个安装部3a，所述多个安装部3a分别可装卸地安装多个照射体2。多个安装部3a隔开规定间隔地配置于支撑基体3的一侧面3b，并以沿着支撑基体3的底面3c延伸的方式形成。安装部3a形成为与照射体2的外形形状对应的凹状，并在支撑基体3的一侧面3b开口。另外，安装部3a包括对照射体2的底面侧进行支撑的支撑凸部(未图示)。由此，各照射体2以如下方式受到支撑，即，能够通过沿着X方向滑动而装卸于支撑基体3的安装部3a。再者，虽未图示，但也可以为如下结构，即，设置于安装部3a的内表面的卡合凸部、与设置于照射体2的外周面的卡合槽卡合，由此，各照射体2可装卸地支撑于安装部3a。

另外，在支撑基体3的内部设置有多个抽吸用连通路径6a，所述多个抽吸用连通路径6a与各照射体2所具有的后述的空气抽吸路径14连通。各抽吸用连通路径6a沿着各照射体2形成为直线状，并连结于抽吸装置4。再者，支撑基体3并不限定于包括多个抽吸用连通路径6a的结构，也可以为如下结构，即，横跨各照射体2而配置相对于排列有各照射体2的X方向蜿蜒地形成的一个抽吸用连通路径。

另外，在支撑基体3的内部设置有多个冷却用连通路径6b，所述多个冷却用连通路径6b与各照射体2所具有的后述的流路18连通。各冷却用连通路径6b分别独立地连结于使冷却用流体循环的冷却装置5。再者，支撑基体3并不限定于包括独立的多个冷却用连通路径6b的结构，也可以为如下结构，即，包括以使各照射体2的流路18彼此连结的方式而形成的一个冷却用连通路径。另外，虽未图示，但在支撑基体3中，还可以设置通过冷却装置5使冷却用流体循环的流路，从而能够一起对照射体2及支撑基体3进行冷却。

抽吸装置4包括负压导入管4a，从抽吸用连通路径6a中抽吸空气，所述负压导入管4a连结于支撑基体3的抽吸用连通路径6a的一端。虽未图示，但冷却装置5包括对冷却用流体进行冷却的热交换器、与使冷却用流体循环的泵。另外，冷却装置5包括连结管5a，通过冷却用连通路径6b使冷却用流体循环，所述连结管5a连结于支撑基体3的冷却用连通路径6b的一端。虽使用了冷却水作为冷却用流体，但并不限定于水，例如也可以使用油或气体。

另外，安装于安装部3a的照射体2经由连接于连接端子(未图示)的供电线而与未图示的电源装置电连接，所述连接端子(未图示)设置在照射体2的端部。再者，在供电线上设置有连接器(未图示)等连接部件。

(照射体的结构)

图2是示意性地表示实施方式的照射装置所具有的照射体的立体图。图3是从排列有发光元件的一侧示意性地表示实施方式中的照射体的立体图。图4是表示实施方式的照射体中，第一散热部件安装于第二散热部件的状态的剖视图。图5是表示实施方式的照射体中，第一散热部件通过移动机构而移动的状态的剖视图。图6是表示实施方式的照射体中，第一散热部件吸附于第二散热部件的状态的剖视图。

如图2所示，照射体2形成为长条状，且包括：基板8，设置有多个发光元件7；第一散热部件11，释放从基板8传导来的热；以及第二散热部件12，释放从第一散热部件11传导来的热。另外，照射体2包括使第一散热部件11相对于第二散热部件12移动的移动机构15。

使用发出紫外线的发光二极管(LED)或半导体激光器(Laser Diode，LD)作为发光元件7。再者，发光元件7并不限定于发出紫外线的发光元件，也可以使用发出可见光或红外线的发光元件。另外，此处所谓的“紫外线”，是指峰值波长为180nm以上且为450nm以下的光。

另外，多个发光元件7沿着基板8的长边方向即X方向排列为直线状。再者，多个发光元件7的配置并不限定于沿着一列排列为直线状的结构，也可以是沿着多列排列的结构、或在X方向上呈锯齿状交替地错开位置而排列的结构。另外，也可以根据照射所期望的光的需要，将多种发光元件在X方向上交替地配置于基板8。

如图3所示，基板8例如由陶瓷形成长条状的基材，例如由银等形成为所期望的图案状的未图示的印刷布线设置于基材。多个发光元件7与印刷布线电连接而设置在基板8上。

另外，虽未图示，但基板8的除了连接发光元件7的连接端子、与从电源装置供应电力的电源端子之外的区域由覆盖膜覆盖，以确保绝缘性并防止腐蚀。覆盖膜例如由以玻璃材料等作为主成分的无机材料形成。再者，根据需要，基板8也可以由具有较高反射率的白色的氧化铝形成，以提高对发光元件7所发出的光进行反射的反射性。另外，基板8也可以由具有较高导热性的氮化铝形成，以确保高导热性。

第一散热部件11由具有导热性的金属材料形成为块状，如图2及图3所示，形成为沿着基板8的长边方向即X方向延伸的长条状。优选使用例如较轻的铝、导热性较高的铜作为形成第一散热部件11的金属材料。而且，第一散热部件11在面向照射体2外侧的底面11a上，接触设置有基板8，从而释放从基板8传导来的热。即，发光元件7所产生的热传导至基板8，传导至基板8的热传导至第一散热部件11，由此，发光元件7的热从第一散热部件11释放。

再者，关于第一散热部件11，所谓接触设置有基板8的构造，是指以在基板8与第一散热部件11的底面11a之间导热的接触状态，将基板8支撑于第一散热部件11的构造。所述接触状态包含并指示直接接触的状态、与间接接触的状态。另外，间接接触的状态例如包含经由粘接剂、粘合带而受到固定的状态、或经由具有良好导热性的硅脂等面密合部件而受到固定的状态。在本实施方式中，优选以彼此密合的状态设置基板8与第一散热部件11的底面11a。

另外，在第一散热部件11的设置有基板8的底面11a的相反侧，呈平面状地形成有与第二散热部件12接触的接触面11b。另外，在第一散热部件11中，如图3及图4所示，卡合于第二散热部件12的凸缘状的卡合凸部11c沿着X方向，形成在与X方向正交的Y方向上的接触面11b的两侧。

第二散热部件12由具有导热性的金属材料形成为块状，如图2所示，形成为沿着基板8的长边方向即X方向延伸的长条状。与第一散热部件11同样地，优选使用例如较轻的铝、导热性较高的铜作为形成第二散热部件12的金属材料。

第二散热部件12包括对第一散热部件11进行支撑的支撑部13。支撑部13形成为与第一散热部件11的外形形状对应的凹状。第一散热部件11以能够相对于支撑部13在X方向上滑动的方式设置，并通过沿着X方向滑动而可装卸地支撑于支撑部13。另外，在支撑部13的内侧，在与支撑于支撑部13的第一散热部件11的接触面11b相向的位置，呈平面状地形成有与接触面11b接触的吸附面12a。另外，如图2及图4所示，在支撑部13的Y方向的两侧，沿着X方向形成有卡合槽12b，所述卡合槽12b与支撑于支撑部13的第一散热部件11的卡合凸部11c卡合。另外，在第二散热部件12的底面12c配置有移动机构15。

另外，在支撑部13中形成有空气抽吸路径14，所述空气抽吸路径14用以利用负压来抽吸第一散热部件11，使得第一散热部件11的接触面11b与支撑部13的吸附面12a接触。如图2所示，空气抽吸路径14包括：抽吸槽14a，沿着接触面11b向X方向延伸；以及多个抽吸孔14b，沿着与吸附面12a正交的方向延伸。多个抽吸孔14b在X方向上隔开规定间隔地配置，且一端连通于抽吸槽14a。另外，各抽吸孔14b的另一端贯通至第二散热部件12的外部。再者，抽吸孔14b的个数并无限定，例如也可以由单一的抽吸孔14b构成。

另外，如图4、图5及图6所示，支撑部13将第一散热部件11可移动地分别支撑于Z方向上的不同的第一位置P1、第二位置P2、第三位置P3。在第一位置P1，如图6所示，第一散热部件11的接触面11b与吸附面12a因负压而接触。在第二位置P2，如图5所示，第一散热部件11的接触面11b与吸附面12a隔开能够利用负压进行吸附的距离。即，在第二位置P2，第一散热部件11与吸附面12a分离，能够利用负压将第一散热部件11吸附于吸附面12a。在第三位置P3，如图4所示，第一散热部件11比第二位置P2更远离吸附面12a。即，在第三位置P3，第一散热部件11的接触面11b与吸附面12a的分离距离大于第二位置P2处的第一散热部件11的接触面11b与吸附面12a的分离距离。另外，在第三位置P3，第一散热部件11的卡合凸部11c支撑于支撑部13的卡合槽12b内的下表面，第一散热部件11的底面11a从第二散热部件12的底面12c向下方突出。

如图2、图4及图5所示，移动机构15包括：多个安装孔16，设置于第二散热部件12的支撑部13；以及多个移动用螺钉17，作为穿过各安装孔16的移动部件。安装孔16及移动用螺钉17分别配置在支撑部13的Y方向上的两侧，并隔开规定间隔地配置在支撑部13的X方向上的多个位置。

安装孔16例如是从第二散热部件12的底面12c贯通至支撑部13的卡合槽12b而形成。移动用螺钉17包括螺纹部17a及头部17b，螺纹部17a旋入至安装孔16。头部17b形成为与第一散热部件11的底面11a抵接的大小。

对移动用螺钉17进行使螺纹部17a旋入至安装孔16的操作，由此，相对于第一散热部件11的底面11a的头部17b在Z方向上的相对位置发生变化。移动用螺钉17的螺纹部17a旋入至安装孔16，由此，头部17b抵接于第一散热部件11的底面11a，通过头部17b将第一散热部件11抬起。移动用螺钉17通过头部17b将第一散热部件11抬起，由此，使第一散热部件11从第三位置P3移动至第二位置P2。

再者，也可以根据需要，进一步对移动用螺钉17进行旋入操作，由此，使第一散热部件11从第二位置P2进一步移动至第一位置P1，从而能够利用负压而辅助性地对在第一位置P1吸附于吸附面12a的第一散热部件11进行支撑。另外，安装孔16也可以形成为非贯通孔，对所述非贯通孔的深度进行设定，使得在第一散热部件11利用移动用螺钉17从第三位置P3移动至第二位置P2时，移动用螺钉17的旋入操作受到限制。由此，能够使第一散热部件11容易且恰当地移动至第二位置P2。

另外，随着使移动用螺钉17向安装孔16的下方移动，第一散热部件11相对于支撑部13，利用自重从第二位置P2下降至第三位置P3。这样，移动用螺钉17以能够使第一散热部件11移动至第二位置P2与第三位置P3的方式而设置于支撑部13。

再者，在实施方式中，通过移动用螺钉17的头部17b，一边支撑第一散热部件11，一边使所述第一散热部件11向吸附面12a侧移动，但并不限定于此结构。例如，也可以通过移动用螺钉17的螺纹部17a的前端，一边支撑第一散热部件11的卡合凸部11c，一边使第一散热部件11向吸附面12a侧移动。

另外，在第二散热部件12的内部，设置有供冷却用流体流动的流路18。流路18形成为沿着第二散热部件12的X方向延伸，并且在X方向的一端侧折返的“U”字状。另外，“U”字状的流路18的两端贯通至第二散热部件12的端面，并连结于支撑基体3的冷却用连通路径6b。

另外，较理想的是第一散热部件11的接触面11b与第二散热部件12的吸附面12a高精度地确保平面度，以提高密合性。另外，根据需要，安装有发光元件7的基板8也可以由具有光透射性例如紫外线透射性的覆盖部件(未图示)来气密地覆盖。通过使用此种覆盖部件，能够抑制因外部气体所导致发光元件7或基板8劣化的情况。

(第一散热部件的移动动作)

首先，如图4所示，将第一散热部件11安装于第二散热部件12的支撑部13。此时，第一散热部件11位于支撑部13内的第三位置P3。接着，对移动机构15的移动用螺钉17进行旋入操作，由此，通过移动用螺钉17的头部17b使第一散热部件11移动，使所述第一散热部件11从第三位置P3移动至第二位置P2。

在照射体2中，如图1及图2所示，通过抽吸装置4从空气抽吸路径14的抽吸孔14b抽吸空气，由此，在第二散热部件12的支撑部13内，沿着抽吸槽14a产生负压。如图5及图6所示，利用所述负压，使已移动至第二位置P2的第一散热部件11从第二位置P2向第一位置P1移动，并吸附于第二散热部件12的吸附面12a。

在第一位置P1，第一散热部件11受到空气抽吸路径14抽吸，由此，整个接触面11b与第二散热部件12的吸附面12a接触，成为彼此密合的吸附状态。由此，第一散热部件11与第二散热部件12之间的导热性提高，因此，能够经由第一散热部件11及第二散热部件12而有效地对发光元件7进行冷却。这样，利用负压将第一散热部件11吸附于第二散热部件12，由此，基板8的长边方向上的照度分布的变化受到抑制，使照度分布均一化。

照射体2例如在使发光元件7点亮的点亮时，一直导入负压，由此，确保第一散热部件11与第二散热部件12之间的密合性。另外，通过停止经由空气抽吸路径14导入负压，接触面11b吸附于第二散热部件12的吸附面12a的第一散热部件11会利用自重而下降，并从第一位置P1移动至第二位置P2。接着，通过使移动机构15的移动用螺钉17向下方移动，第一散热部件11与移动用螺钉17的头部17b一起利用自重而下降，并从第二位置P2移动至第三位置P3。

如上所述，实施方式的照射体2包括使第一散热部件11相对于支撑部13移动的移动机构15。支撑部13将第一散热部件11可移动地支撑于第一位置P1、第二位置P2、第三位置P3。移动机构15使第一散热部件11移动至第二位置P2与第三位置P3。这样，在支撑部13中，在向第二散热部件12的吸附面12a对第一散热部件11进行抽吸的第二位置P2、与使第一散热部件11吸附于吸附面12a的第一位置P1之间确保空间。由此，当停止通过空气抽吸路径14导入负压时，容易在第二散热部件12的吸附面12a与第一散热部件11的接触面11b之间产生间隙，因此，能够容易地从第二散热部件12上拆除第一散热部件11。因此，能够提高利用负压而吸附于第二散热部件12的第一散热部件11的装卸性。

结果是能够确保发光元件7劣化时或故障时等的维护作业的维护性。而且，通过利用负压进行的抽吸，使第一散热部件11与第二散热部件12之间的密合性提高，因此，能够提高发光元件7的散热性。因此，对于基板8上排列有多个发光元件7的结构来说，能够抑制多个发光元件7的照度分布的变化，即能够使照度分布均一化。

另外，实施方式的照射体2的移动机构15包括移动用螺钉17，所述移动用螺钉17穿过安装孔16，使第一散热部件11移动至第二位置P2与第三位置P3。由此，移动机构15能够利用简单的结构使第一散热部件11向Z方向移动。

另外，照射体2的第一散热部件11可滑动地支撑于第二散热部件12的支撑部13，因此，能够容易地装卸第一散热部件11，从而能够进一步提高发光元件7的维护性。

另外，根据实施方式，发光元件7的冷却效率提高，因此，能够抑制因发光元件7的温度上升而导致照度下降的情况，并缩短直至从照射体2照射出的照射能量(照度)变得稳定为止所耗费的时间(上升所需的时间)。因此，例如在使用紫外线固化树脂的工序中，能够缩短每一个照射对象物的处理时间(工作时间)，从而提高生产性。

另外，根据实施方式，能够使长条状的照射体2的长边方向(X方向)上的照度分布均一化，因此，特别适合于制造长边为1m至2m左右的大型液晶面板，并会使大型液晶面板的制造品质提高。

另外，实施方式中的第一散热部件11从Y方向的两侧突出设置有凸缘状的卡合凸部11c，但整体外形也可以形成为平板状，以支撑于第二散热部件12的支撑部13。由此，能够简化第一散热部件11的外形形状，因此，能够提高第一散热部件11及照射体2的生产性。

以下，参照附图来对实施方式的照射装置所具有的照射体的变形例进行说明。

(第一变形例)

图7是示意性地表示实施方式的第一变形例的照射体的剖视图。第一变形例与实施方式的不同点在于：在第一散热部件11的接触面11b中设置有凹部。在第一变形例中，对与实施方式相同的结构附上与实施方式相同的符号并省略说明。

如图7所示，对于第一变形例的照射体20所具有的第一散热部件11，在接触面11b中设置有供从空气抽吸路径14喷出的空气进入的凹部11d。当将接触面11b已吸附于第二散热部件12的吸附面12a的第一散热部件11拆除时，通过从空气抽吸路径14向凹部11d内喷出空气，能够使接触面11b顺利地离开吸附面12a，从而能够强制解除第一散热部件11的吸附状态。

另外，凹部11d分别设置在第一散热部件11的接触面11b的X方向(多个发光元件7的排列方向)上的两端部。以所述方式配置凹部11d，由此，使用者能够将指尖等从支撑于支撑部13的第一散热部件11的端部插入至吸附面12a与接触面11b之间所产生的间隙，从而能够更容易地进行将吸附于第二散热部件12的第一散热部件11拆除的作业。

如上所述，第一变形例的照射体20与实施方式同样地，当停止通过空气抽吸路径14导入负压时，容易在第二散热部件12的吸附面12a与第一散热部件11的接触面11b之间产生间隙，因此，能够容易地从第二散热部件12上拆除第一散热部件11。因此，能够进一步提高利用负压而吸附于第二散热部件12的第一散热部件11的装卸性。此外，在第一变形例中，供从空气抽吸路径14喷出的空气进入的凹部11d设置于第一散热部件11的接触面11b，由此，能够强制解除第二散热部件12的吸附面12a与接触面11b之间的吸附状态。因此，根据第一变形例，能够进一步提高利用负压而吸附于第二散热部件12的第一散热部件11的装卸性。

(第二变形例)

图8是示意性地表示第二变形例中的照射体的剖视图。第二变形例与实施方式的不同点在于第一散热部件及第二散热部件的构造、移动机构。如图8所示，第二变形例中的照射体30包括多个发光元件7、基板8、第一散热部件31、第二散热部件32及移动机构35。

第一散热部件31由具有导热性的金属材料形成为大致剖面半圆状，并形成为沿着基板8的X方向延伸的长条状。另外，在第一散热部件31的设置有基板8的底面31a的相反侧，与第二散热部件32接触的接触面31b形成为剖面圆弧状的曲面。另外，在第一散热部件31的与X方向正交的Y方向上的接触面31b的两侧，沿着X方向形成有卡合于第二散热部件32的卡合凸部31c。

第二散热部件32由具有导热性的金属材料形成为块状，并包括对第一散热部件31进行支撑的支撑部33。支撑部33形成为与第一散热部件31的外形形状对应的凹状。第一散热部件31以能够相对于支撑部33在X方向上滑动的方式设置，并通过沿着X方向滑动而可装卸地支撑于支撑部33。另外，在支撑部33的内侧，在与支撑于支撑部33的第一散热部件31的接触面31b相向的位置，与接触面31b接触的吸附面32a形成为剖面圆弧状的曲面。另外，在支撑部33的Y方向上的两侧，沿着X方向形成有卡合槽32b，所述卡合槽32b与支撑于支撑部33的第一散热部件31的卡合凸部31c卡合。另外，在第二散热部件32的底面32c配置有移动机构35。

另外，在支撑部33中设置有多个空气抽吸路径34，所述多个空气抽吸路径34用以利用负压来对第一散热部件31进行抽吸。各空气抽吸路径34隔开规定间隔地配置于吸附面32a，且相对于第一散热部件31的与Y方向平行的剖面的中心呈大致辐射状地延伸而形成。另外，与实施方式中的空气抽吸路径14同样地，各空气抽吸路径34包括沿着X方向延伸的多个抽吸槽34a、与连通于各抽吸槽34a的多个抽吸孔34b。

另外，如图8所示，在第一散热部件31的接触面31b中，设置有供从抽吸槽34a喷出的空气进入的多个凹部31d。凹部31d在接触面31b的X方向上的两端部，分别设置在与各抽吸槽34a分别相向的位置。再者，可以沿着抽吸槽34a延伸地形成凹部31d，也可以沿着抽吸槽34a的长边方向(X方向)，分割成多个地配置凹部31d。

另外，在第二散热部件32的内部，设置有与实施方式中的流路18同样地供冷却用流体流动的流路38。另外，流路38以不与空气抽吸路径34交叉的方式，形成为在X方向的端部折返而蜿蜒的“S”字状。

另外，第二散热部件32的支撑部33与实施方式中的第二散热部件12同样地，将第一散热部件31可移动地分别支撑于Z方向上的不同的第一位置、第二位置、第三位置。图8中表示如下状态，即，第一散热部件31已移动至能够使第一散热部件31的接触面31b吸附于第二散热部件32的吸附面32a的第二位置。

如图8所示，移动机构35包括：多个安装孔36，设置于第二散热部件32的支撑部33；以及多个插入销37，作为穿过各安装孔36的移动部件。安装孔36及插入销37与实施方式中的安装孔16及移动用螺钉17同样地配置。

插入销37例如包括将圆柱前端切割为“V”字状而成的轴部37a，轴部37a设置为规定的长度。安装孔36并不限定于圆孔，也可以形成为长孔状。插入销37的轴部37a也可以根据需要而形成为任意形状。

将插入销37插入至安装孔36，由此，轴部37a通过安装孔36突出至支撑部33内，轴部37a将第一散热部件31的卡合凸部31c抬起。此时，插入销37会根据轴部37a的长度，使第一散热部件31向吸附面32a侧移动规定的移动量，第一散热部件31从第三位置移动至第二位置。与实施方式同样地，移动至第二位置的第一散热部件31经由空气抽吸路径34而受到抽吸，由此，从第二位置移动至第一位置，接触面31b吸附于第二散热部件32的吸附面32a。

如上所述，第二变形例的照射体30在第一散热部件31的接触面31b中设置有凹部31d，由此，与第一变形例同样地，能够强制解除第二散热部件32的吸附面32a与接触面31b之间的吸附状态。因此，根据第二变形例，能够容易地从第二散热部件32上拆除第一散热部件31，从而能够进一步提高利用负压而吸附于第二散热部件32的第一散热部件31的装卸性。

结果是第二变形例与实施方式及第一变形例同样地，能够确保发光元件7的维护性，并且提高发光元件7的散热性。因此，能够使多个发光元件7的照度分布均一化。

此外，在第二变形例中，通过多个空气抽吸路径34在多个部位对第一散热部件31进行抽吸，因此，能够进一步提高抽吸力，使第一散热部件31与第二散热部件32密合的吸附状态的稳定性提高。

另外，第二变形例的第一散热部件31包括接触面31b，由此，与实施方式及第一变形例相比，能够使第一散热部件31与第二散热部件32的接触面积增加，因此，能够进一步提高发光元件7的散热性。

另外，第二变形例中的移动机构35包括插入销37，所述插入销37穿过安装孔36，使第一散热部件31移动至第二位置P2与第三位置P3。由此，移动机构35能够利用简单的结构使第一散热部件31向Z方向移动。

另外，在第二变形例中，第一散热部件31也相对于第二散热部件32的支撑部33而沿着X方向滑动，由此，能够相对于支撑部33容易地装卸第一散热部件31，因此，能够进一步提高发光元件7的维护性。

再者，在实施方式、第一变形例及第二变形例中，采用了通过移动用螺钉17的头部17b将第一散热部件11的底面11a抬起的结构、或通过插入销37的轴部37a将第一散热部件31的卡合凸部31c抬起的结构，但并不限定于此结构。在第二散热部件12、32中，例如也可以可移动地设置包括保持部的其他移动部件，所述保持部保持第一散热部件11、31的卡合凸部11c、31c。

另外，在本实施方式中，使用了水冷方式来对第一散热部件及第二散热部件进行冷却，但并不限定于水冷方式。即，虽在第二散热部件中设置有流路，但并不限定于设置流路的结构。第一散热部件及第二散热部件也可以利用自然空冷或强制空冷等空冷方式来进行冷却。在采用空冷方式的情况下，例如也可以在第二散热部件的长边方向的端面、或由发光元件照射光的底面设置多个散热片。

另外，本实施方式构成为照射紫外线的照射装置，但通过使用发出可见光的发光元件，也可以构成为照射照明光的照明装置。另外，在本实施方式中，通过设置于第二散热部件的支撑部的空气抽吸路径来对第一散热部件进行抽吸，但例如也可以通过配置在第二散热部件外侧的抽吸机构来对第一散热部件进行抽吸。

虽对本实用新型的实施方式进行了说明，但实施方式是作为例子而提示的实施方式，并不意图对本实用新型的范围进行限定。实施方式可以其他各种方式实施，能够在不脱离实用新型宗旨的范围内进行各种省略、替换、变更。实施方式或其变形包含于本实用新型的范围或宗旨，同样地包含于技术方案所记载的实用新型及其均等的范围。