专利名称：激光加工方法及激光加工装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于通过照射激光而对加工对象物进行加工的激光加工方法及激光加工装置。
背景技术：
在现有的激光加工技术中，有相对于将用于对加工对象物进行加工的激光聚光的聚光透镜，取规定的间隔而并设测定加工对象物的主面高度的测定装置(接触式位移计或超音波测距计等)的激光加工技术(例如，参照下述专利文献1的图6～图10。)。在这种激光加工技术中，在沿着加工对象物的主面以激光扫描时，通过测定装置来测定加工对象物的主面高度，在其测定点到达聚光透镜的正下方时，依据其主面高度的测定值，在其光轴方向上驱动聚光透镜，使得聚光透镜与加工对象物的主面的距离成为一定。
此外，作为加工主面凸凹的加工对象物的技术，是作为加工准备，用平面度测定装置(具有聚光灯与反射光受光器的平面度测定器)测定施予加工的部分所有的平面度之后，依据所测定的平面度对加工对象物进行加工的技术(例如，参照下述专利文献2。)。
专利文献1日本专利特开2002-219591号公报专利文献2日本专利特开平11-345785号公报发明内容然而，在上述专利文献1记载的激光加工技术中，有如下应解决的课题。即，在由加工对象物的外侧位置开始激光的照射并使激光与加工对象物沿着其主面移动而进行加工时，测定装置从加工对象物的外侧开始测定，而朝加工对象物的内侧进行测定。于是，依据由此测定所得的主面高度的测定值而驱动聚光透镜时，有时在加工对象物的端部激光的聚光点会偏离。
此外，在使用上述专利文献2所记载的技术时，虽然可正确地把握加工对象物的主面的平面度，但是因为必须在加工准备与实际的加工中两次扫描相同部位，所以花费时间而加工效率降低。
于是本发明，目的在于提供一种可尽量减少加工对象物的端部上的激光的聚光点的偏离且可有效率地进行激光加工的激光加工方法及激光加工装置。
本发明者们为解决上述课题进行了各种研究。首先，对使加工用的第一激光与用于测定加工对象物的主面的位移的第二激光在同一轴线上朝加工对象物照射的加工方法进行了研究。对此研究内容，参照图10(A)～图10(C)来说明。
图10(A)中，是从激光单元804对固定在切割薄膜(dicing film)802上的硅晶圆800照射激光而加工的情况，表示加工准备阶段。激光单元804包括，用于将激光朝硅晶圆800聚光的聚光透镜804a、用于保持聚光透镜804a的透镜保持部804b、以及相对于硅晶圆800进退自如地保持透镜保持部804b的压电驱动器804c。在包含有激光单元804的激光加工装置上，除此之外还有称为激光光源的部位，但是在此省略它们的记载。在图10(A)的状态下，开始照射加工用的第一激光806以及用于测定硅晶圆800的主面800b的位移的第二激光808，移动载置着硅晶圆800的平台以使硅晶圆800向箭头A的方向移动(未图示)。要用第一激光806对硅晶圆800加工的是相当于切断预定线800a的位置。
在硅晶圆800往图10(A)的箭头A的方向移动时，如图10(B)所示，第一激光806及第二激光808的光轴处于与硅晶圆800交叉的位置。压电驱动器804c，以由第二激光808的反射光所检测的像散信号成为规定的值的方式使透镜保持部804b相对于硅晶圆800进退。因此，从图10(B)的状态开始，压电驱动器804c收缩而透镜保持部804b及聚光透镜804a上升。然而，硅晶圆800沿着图10(A)的箭头A的方向继续移动，所以会发生时滞(time lag)，直到透镜保持部804b及聚光透镜804a上升到规定的位置，第一激光806的聚光点对准在切断预定线800a上为止。且，像散信号也被大大偏向而第一激光806的聚光点也偏离。
因此，如图10(C)所示，在直到第一激光806的焦点对准在切断预定线800a上而成为稳定状态为止的区间B中，非切断预定线800a的部分被激光加工。例如，硅晶圆800的厚度为100μm，若发生15mS的寸间延迟，则在加工速度为100mm/S寸，区间B的长度在理论上为1.5mm。
此外，在图10(A)～图10(C)中是对理想的平面度高的硅晶圆800作考虑，但是也可考虑例如端部翘曲的情况。有关端部翘曲的硅晶圆的例子，参照图11(A)～图11(C)进行说明。
图11(A)中是从激光单元804照射激光而加工固定在切割薄膜802的硅晶圆810的情况，表示加工准备阶段。激光单元804，与参照图10(A)～图10(C)进行说明的相同。硅晶圆810，其端部翘曲。硅晶圆810的切断预定线810a设定成位于从主面810b起等距离的位置。
当硅晶圆810沿着图11(A)的箭头A的方向移动时，如图11(B)所示，第一激光806及第二激光808的光轴处于与硅晶圆810交叉的位置。压电驱动器804c，以由第二激光808的反射光所检测的像散信号成为规定的值的方式使透镜保持部804b相对于硅晶圆810作进退。于是，由图I1(B)的状态起，压电驱动器804c收缩且透镜保持部804b及聚光透镜804a上升。然而，硅晶圆810沿着图11(A)的箭头A的方向继续移动，所以会发生时滞，直到透镜保持部804b及聚光透镜804a上升到规定的位置，第一激光806的聚光点对准于切断预定线810a上为止。此外，因为硅晶圆810的端部翘曲，所以在透镜保持部804b及聚光透镜804a上升到规定的位置时，从图11(B)的虚线C的位置起相对于主面810b的实际位置的间隙(gap)被反映而引起过冲(overshoot)。
因此，如图11(C)所示，在直到第一激光806的聚光点在切断预定线810a上对准而成稳定状态为止的区间D中，非切断预定线800a的部分会被激光加工。此区间D的长度倾向于正因为过冲的量而较图10(C)中的区间B的长度还长。于是本发明者们着眼于在加工对象物的端部上的处理。本发明是依据此等知识见解而完成的。
本发明的激光加工方法，是将第一激光以透镜聚光并使聚光点对准加工对象物的内部进行照射，沿着加工对象物的切断预定线在加工对象物的内部形成改质区域的激光加工方法，其具备准备步骤，将透镜保持在相对于以聚光点对准加工对象物内部的规定位置的方式设定的加工对象物的主面的初期位置上；第一加工步骤，在将该透镜保持在初期位置的状态下照射第一激光，使透镜与加工对象物沿着主面相对移动而在切断预定线的一端部形成改质区域；第二加工步骤，在切断预定线的一端部上形成改质区域后，解除将透镜保持在初期位置的状态，在该解除之后，一边调整透镜与主面的间隔一边使透镜与加工对象物沿着主面相对移动而形成改质区域。
根据本发明的激光加工方法，因为是将透镜保持在初期位置的状态下在切断预定线的一端部形成改质区域，所以可尽量地排除由加工对象物的端部形状变动所造成的影响而形成改质区域。接着，在切断预定线的一端部形成改质区域之后，解除保持透镜的状态，一边调整透镜的位置一边在剩余部份形成改质区域，所以可在加工对象物内部的规定的位置形成改质区域。
此外，也优选，本发明的激光加工方法，在第二加工步骤中，使第一激光及用于测定主面的位移的第二激光在同一轴线上朝向加工对象物而以透镜聚光，而在由主面反射的第二激光的反射光的光量超过规定的临界值之后，解除保持透镜的状态。因为第一激光与第二激光是被透镜聚光且照射在同一轴线上，所以可防止例如由于载置加工对象物的平台的振动而造成第一激光的聚光点的位置自加工对象物内部的规定的位置偏离的问题。此外，反射光的光量根据与反射的面的距离而变化，所以若将规定的临界值设定为与主面高度对应的值，则可将反射光的光量成为规定的临界值的部位设想为相当于加工对象物的主面外缘而解除保持透镜的状态。
此外，还优选，本发明的激光加工方法，在第二加工步骤中，使第一激光及用于测定主面的位移的第二激光在同一轴线上朝向加工对象物而以透镜聚光，在由主面反射的第二激光的反射光的光量的变化量成为极大值之后解除保持透镜的状态。因为第一激光与第二激光是被透镜聚光且照射在同一轴线上，所以可防止例如由于载置加工对象物的平台的振动而造成第一激光的聚光点的位置自加工对象物内部的规定的位置偏离的问题。此外，反射光的光量根据与反射的面的距离而变化，所以在反射光的光量的变化量成为极值的部位附近可视为主面的位移变得急剧的部位。因此，可设想此部位相当于加工对象物的主面的外缘而解除保持透镜的状态。
此外，还优选，本发明的激光加工方法，在第二加工步骤之后，具备以透镜不沿着朝向主面的方向驱动的方式保持的过渡步骤。因为在形成了改质区域之后将透镜以不按照朝向主面的方向驱动的方式进行保持，所以例如在过渡至下一切断预定线的加工时可圆滑地过渡。
此外，还优选，本发明的激光加工方法，在过渡步骤中，使第一激光及用于测定主面的位移的第二激光在同一轴线上朝加工对象物以透镜聚光，在由主面反射的第二激光的反射光的光量低于规定的临界值之后、以不驱动透镜的方式进行保持。反射光的光量根据与反射的面的距离而变化，所以若将规定的临界值设定为对应于主面高度的值，则可将反射光的光量成为规定的临界值的部位设想为相当于加工对象物的主面外缘的部位而以不驱动透镜的方式进行保持。
此外，还优选，本发明的激光加工方法，在过渡步骤中，使第一激光及用于测定主面的位移的第二激光在同一轴线上朝向加工对象物而以透镜聚光，在由主面反射的第二激光的反射光的光量的变化量成为极小值之后以不驱动透镜的方式进行保持。反射光的光量根据与反射的面的距离而变化，所以在反射光的光量的变化量成为极小值的部位的附近可认为主面的位移变得急剧。因此，可设想此部位是相当于加工对象物的主面的外缘的部位而可不驱动透镜地进行保持。
此外，还优选，本发明的激光加工方法，切断预定线包括第一切断预定线及第二切断预定线，在第一切断预定线的第二加工步骤中，将主面的位移连单位时间带一起依次存储，在第一切断预定线的过渡步骤中，保持透镜成为，透镜相对于主面的位置成为，依据从在第一切断预定线的过渡步骤中不驱动透镜而保持的时间点所对应的单位时间带起规定数前的单位时间带中所存储的位移的位置，在第二切断预定线的准备步骤中，把在第一切断预定线的过渡步骤中保持透镜的位置设为初期位置。因为可成为从依据不驱动透镜而保持的时间点所对应的单位时间带起规定数前的单位时间带中所存储的位移的位置那样地设定在下次切断预定线的准备步骤中透镜的相对于主面的位置，所以可尽量排除加工对象物的端部形状变动所造成的影响。
本发明的激光加工装置，是使聚光点对准加工对象物的内部而照射第一激光，以沿着加工对象物的切断预定线而在加工对象物的内部形成改质区域的激光加工装置，具备使第一激光朝前述加工对象物聚光的透镜、使加工对象物与透镜沿着加工对象物的主面移动的移动装置、使透镜相对于主面进退自如地保持的保持装置、以及控制移动装置和保持装置各自的动作的控制装置，控制装置控制保持装置使得将透镜保持在聚光点成为对准加工对象物内部的规定的位置的状态的初期位置上，在该位置保持透镜的状态下照射第一激光，同时控制装置控制移动装置使得加工对象物与透镜沿着主面相对移动而在切断预定线的一端部形成改质区域，在切断预定线的一端部形成改质区域之后，控制装置控制保持装置使得解除保持透镜在初期位置的状态而一边调整透镜与主面的间隔一边进行保持，以使透镜与加工对象物沿着主面相对移动的方式控制移动装置而形成改质区域。
根据本发明的激光加工装置，因为是在初期位置保持透镜的状态下在切断预定线的一端部形成改质区域，所以可尽量地排除由加工对象物的端部形状变动所造成的影响而形成改质区域。接着，在切断预定线的一端部形成改质区域之后解除保持透镜的状态，而一边调整透镜的位置一边在剩余部份上形成改质区域，所以可在加工对象物内部的规定的位置形成改质区域。
此外，还优选，在本发明的激光加工装置中，透镜使第一激光以及用于取得主面的位移的第二激光在同一轴线上朝加工对象物聚光，控制装置控制保持装置使得在由主面反射的第二激光的反射光的光量超过规定的临界值之后解除保持透镜在初期位置的状态。因为第一激光与第二激光被透镜聚光且照射在同一轴线上，所以可防止例如由于载置加工对象物的平台的振动而造成第一激光的聚光点的位置自加工对象物内部的规定的位置偏离的问题。此外，反射光的光量根据与反射的面的距离而变化，所以若将规定的临界值设定为与主面高度对应的值，则可将反射光的光量成为规定的临界值的部位设想为相当于加工对象物的主面外缘的部位而解除保持透镜的状态。
此外，还优选，在本发明的激光加工装置中，透镜使第一激光以及用于取得主面的位移的第二激光在同一轴线上朝加工对象物聚光，控制装置控制保持装置、使得在由主面反射的第二激光的反射光的光量的变化量成为极大值之后、解除保持透镜在初期位置的状态。因为第一激光与第二激光被透镜聚光且照射在同一轴线上，所以可防止例如由于载置加工对象物的平台的振动而造成第一激光的聚光点的位置自加工对象物内部的规定的位置偏离的问题。此外，因为反射光的光量根据与反射的面的距离而变化，所以可认为在反射光的光量的变化量成为极值的部位附近，主面的位移变得急剧。因此，可设想此部位相当于加工对象物的主面的外缘而解除保持透镜的状态。
此外，还优选，在本发明的激光加工装置中，在切断预定线的一端部形成改质区域之后，控制装置，控制保持装置、使得解除保持透镜在初期位置的状态并一边调整透镜与主面的间隔一边进行保持，并以使透镜与加工对象物沿着主面相对移动的方式控制移动装置而形成改质区域，然后，控制装置以使透镜不在朝向主面的方向驱动而进行保持的方式控制保持装置，同时以使透镜与加工对象物沿着主面相对移动的方式控制移动装置。因为在形成了改质区域之后将透镜以不在朝向主面的方向驱动的方式进行保持，所以例如在过渡至下一切断预定线的加工时可成为圆滑的过渡。
此外，还优选，在本发明的激光加工装置中，透镜使第一激光以及用于取得主面的位移的第二激光在同一轴线上朝加工对象物聚光，控制装置在由主面反射的第二激光的反射光的光量低于规定的临界值之后、以使透镜不在朝向主面的方向驱动而进行保持的方式控制保持装置。反射光的光量根据与反射的面的距离而变化，所以若将规定的临界值设定为与主面高度对应的值，则可将反射光的光量成为规定的临界值的部位设想为相当于加工对象物的主面外缘而以不驱动透镜的方式进行保持。
此外，还优选，在本发明的激光加工装置中，透镜使第一激光以及用于取得主面的位移的第二激光在同一轴线上朝加工对象物聚光，控制装置在由主面反射的第二激光的反射光的光量的变化量成为极小值之后、以在朝主面的方向不驱动地保持透镜的方式控制保持装置。反射光的光量根据与反射的面的距离而变化，所以可以认为在反射光的光量的变化量成为极小值的部位附近，主面的位移变得急剧。因此，可设想此部位相当于加工对象物的主面的外缘而使透镜不驱动那样地作保持。
此外，还优选，在本发明的激光加工装置中，切断预定线包括第一切断预定线及第二切断预定线，且具备连单位时间带一起将主面位移依次存储的位移存储装置，控制装置将依据、在从在第一切断预定线中不驱动透镜而保持地控制的时间点所对应的单位时间带起规定数前的单位时间带中、位移存储装置所存储的位移的位置设定为第二切断预定线中的初期位置。因为以成为依据在从不驱动透镜地保持的时间点所对应的单位时间带起的规定数前的单位时间带中存储的位移的位置的方式、在次一切断预定线的准备步骤中设定透镜相对于主面的位置，所以可尽量排除加工对象物的端部形状变动所造成的影响。
根据本发明的激光加工方法及激光加工装置，可尽量减少加工对象物的端部的激光的聚光点的偏离且效率好地进行激光加工。
图1是表示本实施方式的激光加工装置的构成的图。
图2是表示本实施方式的激光加工装置所具备的控制装置的功能性构成的图。
图3是表示用于说明本实施方式的加工对象物的图。
图4是用于说明本实施方式的激光加工方法的图。
图5是用于说明本实施方式的激光加工方法的图。
图6是用于说明本实施方式的激光加工方法的图。
图7是用于说明本实施方式的激光加工方法的图。
图8是用于说明本实施方式的激光加工方法的图。
图9是用于说明本实施方式的激光加工方法的图。
图10是用于说明达到本发明的研究内容的图。
图11是用于说明达到本发明的研究内容的图。
符号的说明1…激光加工装置，2…平台，3…激光头单元，4…光学系统本体部，5…物镜单元，6…激光出射装置，7…控制装置，S…加工对象物，R…改质区域，42…加工用物镜，43…驱动器，13…激光头，44…激光二极管，45…受光部具体实施方式
本发明的见解，可通过参照仅作为例示而表示的附图并考虑以下的详细记述而容易理解。接着，一边参照附图一边说明本发明的实施方式。可能的情况下，对相同部分赋予相同符号并省略重复的说明。
参照图1对本实施方式的激光加工装置进行说明。如图1所示，激光加工装置1是，使聚光点P对准在平台2(移动装置)上所载置的平板状的加工对象物S的内部而照射加工用激光L1(第一激光)，而在加工对象物S的内部形成由多光子吸收所产生的改质区域R的装置。平台2可朝上下方向及左右方向移动及旋转移动，在此平台2的上方配置有主要由激光头单元3、光学系统本体部4及物镜单元5所构成的激光出射装置6。此外，激光加工装置1具备控制装置7(控制手段)，控制装置7对平台2及激光出射装置6输出用于控制各个动作(平台2的移动、激光出射装置6的激光的出射等)的控制信号。
激光头单元3被装卸自如地安装在光学系统本体部4的上端部。此激光头单元3具有L字状的冷却护套11，在此冷却护套11的纵壁11a内，以蛇行的状态埋设有流通冷却水的冷却管12。此纵壁11a的前面安装有使加工用激光L1朝下方出射的激光头13、以及选择性进行开放及闭锁由此激光头13所出射的加工用激光L1的光路的快门单元14。由此，可防止激光头13及快门单元14的过热。此外，激光头13是使用例如Nd:YAG激光的，出射脉宽1μs以下的脉冲激光作为加工用激光L1。
另外，在激光头单元3中，在冷却护套11的底壁11b的下面，安装有用于调整冷却护套11的倾斜等的调整部15。此调整部15是用于使从激光头13所出射的加工用激光L1的光轴α可在上下方向延伸那样地与光学系统本体4及物镜单元5中设定的轴线β一致的。即，激光头单元3经由调整部15而被安装在光学系统本体部4上。在其后，当利用调整部15调整冷却护套11的倾斜时，伴随着冷却护套11的活动，激光头13的倾斜等也被调整。由此，加工用激光L1以其光轴α与轴线β一致的状态在光学系统本体4内行进。此外，在冷却护套11的底壁11b、调整部15及光学系统本体部4的箱体21上形成有通过加工用激光L1的贯通孔。
此外，在光学系统本体部4的箱体21内的轴线β上，从上到下以此顺序配置有，放大从激光头13所出射的加工用激光L1的射束尺寸的光束扩展器22、调整加工用激光L1的输出的光衰减器23、和观察由光衰减器23所调整的加工用激光L1的输出的输出观察光学系统24、以及调整加工用激光L1的偏光的偏光调整光学系统25。此外，在光衰减器23上安装有吸收被除去的激光的光束阻尼器(beam damper)26，此光束阻尼器26通过热管27而与冷却护套11连接。由此，可防止吸收有激光的光束阻尼器26的过热。
并且，为了观察被载置在平台2上的加工对象物S，在光学系统本体部4的箱体21上安装有将观察用可视光导光的光导管28，在箱体21内配置有CCD相机29。观察用可视光通过光导管28导入箱体21内，而在依次通过视场光阑31、标度线32、分色镜33等之后，再被配置在轴线β上的分色镜34所反射。被反射的观察用可视光在轴线β上朝下方行进并被照射在加工对象物S上。此外，加工用激光L1透过分色镜34。
并且，被加工对象物S的表面S1反射的观察用可视光的反射光在轴线β上朝上方行进并由分色镜34反射。由此分色镜34所反射的反射光再被分色镜33反射并通过成像透镜35等而入射CCD相机29。由此CCD相机29所摄像的加工对象物S的图像被映出在监视器(未图示)上。
此外，物镜单元5，被装卸自如地安装在光学系统本体部4的下端部。物镜单元5，因为是利用多个定位销而相对于光学系统本体部4的下端部定位，所以可容易地使设定在光学系统本体4中的轴线β与设定在物镜单元5中的轴线β一致。在此物镜单元5的箱体41的下端，介于使用压电元件的驱动器43(保持装置)，而以光轴与轴线β一致的状态安装有加工用物镜42。此外，在光学系统本体部4的箱体21及物镜单元5的箱体41上，形成有通过加工用激光L1的贯通孔。此外，在由加工用物镜42所聚光的加工用激光L1的聚光点P上的峰值功率密度为1×108(W/cm2)以上。
而且，在物镜单元5的箱体41内，为使加工用激光L1的聚光点P位于从加工对象物S的表面S1起规定的深度上，配置有出射测距用激光L2(第二激光)的激光二极管44以及受光部45。测距用激光L2从激光二极管44出射，由反射镜46、半透半反镜47依次反射之后，被配置在轴线β上的分色镜48所反射。被反射的测距用激光L2在轴线β上朝下方行进，通过加工用物镜42而被照射在加工对象物S的表面S1上。此外，加工用激光L1透过分色镜48。
接着，由被加工对象物S的表面S1反射的测距用激光L2的反射光，再入射在加工用物镜42上而在轴线β上朝上方行进，再由分色镜48反射。由此分色镜48所反射的测距用激光L2的反射光通过半透半反镜47而入射在受光部45内，并聚光在将光电二极管4等分而成的4分割位置检测元件上。依据被聚光在此4分割位置检测元件上的测距用激光L2的反射光的聚光像图案，可检测来自加工用物镜42的测距用激光L2的聚光点相对于加工对象物S的表面S1位于哪个位置。被聚光在4分割位置检测元件上的测距用激光L2的反射光的聚光像图案的相关信息，被输出至控制装置7。控制装置7依据此信息而对驱动器43输出指示保持加工用物镜42的位置的控制信号。
控制装置7物理上具备，用于进行平台2与激光出射装置6信号的授受的接口、CPU(中央运算装置)、以及存储器或HDD之类的存储装置，且CPU依据存储装置所储存的程序进行规定的信息处理，再将其信息处理的结果作为控制信号而通过接口向平台2及激光出射装置6输出。
控制装置7的功能性构成在图2中表示。如图2所示，控制装置7在功能性方面具备，激光出射控制部701、平台移动控制部702、驱动器控制部703、聚光点运算部704、端部判断部705、以及循环存储器706(位移存储装置)。激光出射控制部701是将控制加工用激光L1及测距用激光L2的出射的信号分别向激光头单元3的激光头13及物镜单元5的激光二极管44输出的部分。平台移动控制部702是将控制平台2的移动的控制信号向平台2输出的部分。驱动器控制部703是将控制驱动器43的驱动的控制信号向物镜单元5的驱动器43输出的部分。驱动器控制部703也是在循环存储器706中储存驱动器43的移动量的部分。此移动量根据加工对象物S的主面S1的位移而变化，所以也可作为表示主面S1的位移的量而掌握。聚光点运算部704是依据从物镜单元5的受光部45所输出的像散信号而算出加工对象物S与测距用激光L2的聚光点的距离的部分。端部判断部705是依据受光部45所受光的光量而判断加工用物镜42是否位于与加工对象物S的端部对应的位置的部分。循环存储器706是储存驱动器43的移动量的循环存储器。循环存储器706具有64通道的储存区域，在各个储存区域依次储存移动量。此外有关各功能性构成要素的动作如后述。
对根据以上那样构成的激光加工装置1的激光加工方法的概要进行说明。首先，在平台2上载置加工对象物S，使平台2移动而使加工用激光L1的聚光点P对准加工对象物S的内部。此平台2的初期位置是依据加工对象物S的厚度、折射率、加工用物镜42的数值孔径等所规定。
接着，从激光头13出射加工用激光L1，同时从激光二极管44出射测距用激光L2，以使由加工用物镜42所聚光的加工用激光L1及测距用激光L2在加工对象物S的所期望的线(切断预定线)上扫描的方式移动平台2。此时，测距用激光L2的反射光被受光部45检测，驱动器43受控制装置7反馈控制、使得加工用激光L1的聚光点P的位置总是位于距离加工对象物S的表面S1的一定深度，加工用物镜42的位置被沿着轴线β方向微调整。
因此，例如即使在加工对象物S的表面S1具有面振，也可在距表面S1一定深度的位置形成由多光子吸收所造成的改质区域R。当如此在平板状的加工对象物S的内部形成线状的改质区域R时，其线状的改质区域R成为起点而产生破损，沿着线状改质区域R可容易且高精度地将加工对象物S切断。
对使用本实施方式的激光加工装置1的激光加工方法、更具体地进行说明。在此激光加工方法的说明中，也一并说明激光加工装置1的动作。本实施方式的激光加工方法，因为可分成，设定相对于晶圆状的加工对象物S的加工用物镜42的初期位置的准备工序，以及照射加工用激光L1而形成改质区域的加工工序，所以对准备工序及加工工序分别进行说明。
(准备工序)首先，对设定相对于晶圆状的加工对象物S的加工用物镜42的初期位置的准备工序进行说明。
图3为加工对象物S的平面图。在加工对象物S上设定有n条切断预定线C1～Cn，在各个此切断预定线C1～Cn上顺序地进行激光加工。首先，在最初的切断预定线C1上的一点Q1，以在加工对象物S的内部的规定的位置对准聚光点的方式调整平台2(参照图1)的高度。将其调整的高度作为初期位置，而使加工用物镜42位于切断预定线C1的延长线上的点X1的方式使平台2移动。
更详细地参照图4(A)～图4(C)进行说明。图4(A)～图4(C)是表示图3的II-II断面的图。此外，为了容易理解，在图4(A)～图4(C)中省略表示断面的剖面线。如图4(A)所示，加工对象物S介于切割薄膜2a而被吸附固定在平台2上。切割薄膜2a由切割环(未图示)固定。
如图4(A)所示，以在与加工对象物2的切断预定线C1上的一点Q1对应的位置上配置加工用物镜42的方式移动平台2。保持加工用物镜42的驱动器43从最收缩的状态成为伸长到25μm的状态。此伸长量25μm被作为驱动器43的最大伸长量50μm的一半的量而设定。在此状态以观察用可视光的反射光的焦点对准的方式使平台2上下。此外，在由平台2的上下动所造成的误差大时，首先使驱动器43移动到所期望的位置并存储那时的像散信号，之后暂时使驱动器43返回原来的位置，使平台2(概略地)移动，使驱动器43微调整成符合刚刚所存储的像散信号的位置就可以。
接着，如图4(B)所示，平台2从图4(A)的状态进一步上升规定的距离(以下称为加工高度)，加工对象物S的表面S1与加工用物镜42的距离被设定为从图4(A)中的距离尽可能靠近加工高度的量。在此，若设定可视域的焦点位置与激光的聚光位置一致，则加工用激光L1成为被聚光在加工对象物S的内部且位于相当于距其表面S1的加工高度和加工对象物S的在激光波长上的折射率的乘积的值的位置。例如，若加工对象物S为硅晶圆、且其折射率为3.6(波长1.06μm)、加工高度为10μm的话，则聚光在3.6×10＝36μm的位置。在图4(B)所示的状态从测距用激光L2的反射光获得像散信号，并将此像散信号的值作为基准值。
从图4(B)所示状态照其原样移动平台2，在加工用物镜42到达切断预定线C1的延长线上的点X1的阶段，如图4(C)所示，为待机状态。图4(B)及图4(C)所示的、垂直方向的加工对象物S相对于加工用物镜42的位置为初期位置。
对此准备工序中的激光加工装置1的动作，参照图5所示的流程图来进行说明。控制装置7的平台控制部702对平台2输出控制信号而使加工用物镜42移动到C1上的一点Q1(步骤S01)。平台2根据此控制信号的输出而移动。然后控制装置7的驱动器控制部703对驱动器43输出控制信号使伸长25μm(步骤S02)。根据此控制信号的输出，驱动器43伸长25μm。在此状态以由可视观察光而使焦点对准的方式使平台2上下，设定其可视观察光的焦点对准的位置，加工用物镜42及加工对象物S成为在图4(A)所说明的状态(步骤S03)。
控制装置7的平台移动控制部702对平台2输出控制信号而使上升规定的加工高度(例如，10μm)(步骤S04)。平台根据此控制信号的输出而上升10μm，加工用物镜42及加工对象物S成为在图4(B)所说明的状态。
控制装置7的激光出射控制部701对激光二极管44输出控制信号而使测距用激光L2出射(步骤S05)。根据此控制信号的输出，激光二极管44出射测距用激光L2，且在加工对象物S的表面S1被反射的反射光由受光部45的4分割位置检测元件所受光。根据此受光而被输出的信号被输出到聚光点运算部704及端部判断部705。
聚光点运算部704将此状态的像散信号值作为基准值进行保持(步骤S06)。接着，由平台移动控制部702对平台2输出控制信号，以使加工用物镜42移动到与加工对象物S的切断预定线C1的延长线上的X1对应的位置(步骤S07)。平台2根据此控制信号的输出而移动，当加工用物镜42移动到与加工对象物S的切断预定线C1的延长线上的X1对应的位置时，由平台移动控制部702对平台2输出控制信号以停止移动(步骤S08)。
(加工工序)接着，对照射加工用激光L1及测距用激光L2而形成改质区域的加工工序进行说明。
与图4(A)～图4(C)同样地，一边参照表示图3的II-II断面的图6(A)～图6(C)一边进行说明。此外，为了容易理解，在图6(A)～图6(C)中省略表示断面的剖面线。图6(A)紧接着图4(C)的状态而表示加工用物镜42开始在切断预定线C1形成改质区域的状态。驱动器43以在图4(C)中设定的伸长量固定。在从图4(C)临近图6(A)的状态之前被照射加工用激光L1及测距用激光L2。以加工用物镜42在图中箭头E方向移动的方式移动平台2。
测距用激光L2在切割薄膜2a中反射率低且被反射的总光量少，但在加工对象物S中被反射的总光量增大。即，因为受光部45(参照图1)的4分割位置检测元件所检测的测距用激光L2的反射光的总光量变多，所以在反射光的总光量超过预先规定的临界值时，可判断加工对象物S的切断预定线C1与加工用物镜42处在交叉的位置。因此，在受光部45(参照图1)的4分割位置检测元件所检测的总光量较预先规定的临界值还大时，作为加工用物镜42位于与切断预定线C1的一端相当的位置(成为与图7(A)相当的状态)，解除在其时间点的驱动器43的伸长量的保持，而按规定的间隔(例如，各取样点(samplingpoint))以像散信号成为在步骤S06所保持的基准值的方式开始驱动器43伸长量的控制。因此，加工用物镜42在图6(A)中的箭头E方向移动之后成为图6(B)所示的状态。如图6(B)所示，在区间F(一端部)以一定的加工高度形成改质区域R。在此区间F中当以一定加工高度形成改质区域R时，在之后，加工用物镜42沿着切断预定线C1移动，且由加工用激光L1而形成改质区域R。在此间，从测距用激光L2的反射光而获得的像散信号成为上述基准值的方式调整驱动器43。
加工用物镜42从图6(B)所示状态再向图6(A)中箭头E的方向移动时，如图6(C)所示加工用物镜42临近切断预定线C1的另一端。加工用物镜42到达离开加工对象物S的位置时，成为与参照图6(A)所进行说明的相反的状态，受光部45(参照图1)的4分割位置检测元件所检测的测距用激光L2的反射光的总光量变少。因此，在受光部45(参照图1)的4分割位置检测元件所检测的总光量为较预先规定的临界值还小时，作为加工用物镜42位于与切断预定线C1的一端相当的位置(成为与图6(C)相当的状态)，将其时间点的驱动器的伸长量予以保持。而保持驱动器43的伸长量的状态而使加工用物镜42到达图6(C)中的X2的位置那样地移动平台2，以准备下一条切断预定线C2的加工(过渡步骤)。
此外，在上述的说明中，为了检测加工用物镜42到与切断预定线C1的一端对应位置(图6(A))，依据受光部45(参照图1)的4分割位置检测元件所检测的总光量比预先规定的临界值还大的情况，但不限于此亦可适用其它基准。将其一例参照图7(A)～图7(B)来进行说明。图7(A)为，纵轴取受光部45(参照图1)的4分割位置检测元件所检测的总光量，横轴取时间，而记录相当于图6(A)～图6(B)的受光部45(参照图1)的4分割位置检测元件所检测的总光量的变化的图。在此场合，如同上述，在超过预先规定的临界值T1的时间点、判断加工用物镜42到达相当于切断预定线C1的一端的位置。
从图7(A)图表，算出每规定的间隔(例如，各取样点(samplingpoint))、将后面的总光量的值减去前面的总光量的值的差分的变化量，在图7(B)中表示在纵轴取变化量、横轴取时间的图。此时，出现正的峰值的部分，可视为总光量的变化最大的点，即相当于加工对象物S的缘部中央附近的部分。于是，在图7(A)所示的总光量成为临界值T1之后，也可在图7(B)所示的差分的峰值变化收敛之后开始驱动器43的追随。
此外，在上述的说明中，为了检测加工用物镜42位于相当于切断预定线C1的另一端的位置(图6(C))，依据受光部45(参照图1)的4分割位置检测元件所检测的总光量为较预先规定的临界值还小的情况，但不限于此而也可适用其它基准。参照图8(A)～图8(B)来说明其一例。图8(A)为，在纵轴取受光部45(参照图1)的4分割位置检测元件所检测的总光量，横轴取时间，而记录图6(B)～图6(C)的状态中的受光部45(参照图1)的4分割位置检测元件所检测的总光量的变化的图。此时如同上述，在低于预先规定的临界值T2的时间点，判断加工用物镜42位于相当于切断预定线C1的一端的位置。
从图8(A)的图表，每规定的间隔(例如，各取样点(samplingpoint))，算出将后面的总光量的值减去前面的总光量的值的差分的变化量，且在图8(B)中表示纵轴取变化量、横轴取时间的图。此时，出现负峰值的部分，可认为是总光量的变化为最大的点，即相当于加工对象物S的缘部(外缘)中央附近的部分。于是，也可以由相当于此部分的驱动器43的伸缩量来固定。
此外，驱动器43的伸缩量，在图8(A)的区间G(在总光量低于临界值T2的时间点固定驱动器43的伸缩量时)或区间H(在总光量的变化量成为负的峰值的时间点固定驱动器43的伸缩量时)之间被储存在循环存储器706(参照图2)。此循环存储器706也可以从64通道分的循环存储器，求得例如在最初的5通道分的存储器所储存的驱动器43的伸缩量平均值，再以成为此平均值的方式固定驱动器43伸缩量。此时，驱动器43被固定在对应于图8(A)中的区间G或区间H的最初的四分之一部分的加工对象物S的主面高度所对应的位置上，作为下一切断预定线C2的初期位置来设定更适合。
对此加工工序中的激光加工装置1的动作，参照图9所示的流程图来进行说明。此外，激光加工装置1的平台2及加工用物镜42，设定为处在参照图4(C)进行说明的状态。
控制部7的激光出射控制部701，分别对激光头13输出控制信号使出射加工用激光L1，对激光二极管44输出控制信号使出射测距用激光L2(步骤S11)。根据此控制信号的输出，加工用激光L1及测距用激光L2分别被出射。
控制装置7的平台控制部702对平台2输出控制信号而使加工用物镜42在图6(A)的箭头E方向移动(步骤S12)。平台2根据此控制信号的输出而开始移动。
控制装置7的端部判断部705依据受光部45所输出的信号，判断加工用物镜42是否已临近加工对象物S的端部(步骤S13)。端部判断部705在判断出加工用物镜42临近加工对象物S的端部时即输出指示信号，以指示驱动器控制部703输出控制信号用于使驱动器43开始伸缩且使像散信号等于所保持的基准值。驱动器控制部703对驱动器43输出控制信号，用于开始伸缩，且使像散信号等于所保持的基准值(步骤S14)。根据此控制信号的输出，驱动器43根据加工对象物S的表面S1的位移而伸缩，且以测距用激光L2的聚光点位置成为基准位置的方式保持加工用物镜42。因此，在加工对象物S的表面S1的位移所对应的位置形成改质区域R(参照图6(B))。
端部判断部705依据受光部45所输出的信号，判断加工用物镜42是否已临近加工对象物S的另一端(步骤S15)。端部判断部705在判断出加工用物镜42临近加工对象物S的端部时即输出指示信号，以指示驱动器控制部703输出停止驱动器43的伸缩的控制信号。根据此指示信号的输出，驱动器控制部703对驱动器43输出停止伸缩以成为保持状态的控制信号(步骤S16)。驱动器43根据此控制信号的输出而停止伸缩。平台移动控制部702在加工用物镜42临近切断预定线C1的延长线上的点X2时，即对平台2输出控制信号而使移动停止(步骤S17)。在其后，算出循环存储器706所储存的驱动器43的伸缩量之内、最初的5通道分的存储器所储存的驱动器43的伸缩量的平均值，固定驱动器43的伸缩量使其成为此平均值(步骤S18)。
上述的准备工序及加工工序在加工对象物S的全部的切断预定线C1～Cn上分别进行，且沿着各个切断预定线C1～Cn形成改质区域R。
本实施方式中，在初期位置保持加工用物镜42并照射加工用激光L1而开始激光加工，所以可尽量排除加工对象物S的端部形状变动的影响。
在将加工用物镜42保持在初期位置的状态下在加工对象物S的端部形成改质区域之后，解除保持加工用物镜42的状态，且一边调整以使加工用物镜42与加工对象物S的距离成一定一边形成改质区域，所以可在从加工对象物S的表面S1起隔着一定的距离的位置上稳定地形成改质区域。
在形成改质区域之后、将加工用物镜42保持为在朝向加工对象物S的主面S1的方向不驱动，所以可在过渡至下一切断予定线的加工时圆滑地过渡。
由于以成为依据从不驱动加工用物镜42而保持的时间点到规定时间前所存储的驱动器43的伸缩量的位置的方式、设定在下一切断预定线的准备步骤中加工用物镜42的相对于主面S1的位置，所以即使在下一条切断预定线上也可尽量排除加工对象物S的端部形状变动所造成的影响。
由于可沿着切断预定线而稳定地形成改质区域，所以在形成了改质区域之后、利用切割薄膜2a的扩张等方式将作为加工对象物的晶圆割断、分离成芯片状的工序中，即使在需要良好的切断质量且割断大量的晶圆时也可经常稳定地进行晶圆的割断。
产业上的可利用性根据本发明的激光加工方法及激光加工装置，可尽量减少加工对象物的端部的激光的聚光点的偏离且可有效率地进行激光加工。
权利要求
1.一种激光加工方法，其特征在于，是将第一激光以透镜聚光并使聚光点对准加工对象物的内部进行照射，沿着所述加工对象物的切断预定线在所述加工对象物的内部形成改质区域的激光加工方法，其具备准备步骤，将所述透镜保持在以所述聚光点对准所述加工对象物内部的规定位置的方式设定的相对于所述加工对象物的主面的初期位置上；第一加工步骤，在将该透镜保持在所述初期位置的状态下照射所述第一激光，使所述透镜与所述加工对象物沿着所述主面相对移动而在所述切断预定线的一端部形成改质区域；第二加工步骤，在所述切断预定线的一端部上形成改质区域后，解除将所述透镜保持在所述初期位置的状态，在该解除之后，一边调整所述透镜与所述主面的间隔一边使所述透镜与所述加工对象物沿着所述主面相对移动而形成改质区域。
2.如权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，在所述第二加工步骤中，使所述第一激光和用于测定所述主面的位移的第2激光在同一轴线上朝所述加工对象物以所述透镜聚光，在由所述主面所反射的所述第二激光的反射光的光量超过规定的临界值之后，解除保持所述透镜的状态。
3.如权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，在所述第二加工步骤中，使所述第一激光和用于测定所述主面的位移的第二激光在同一轴线上朝所述加工对象物以所述透镜聚光，在由所述主面反射的所述第二激光的反射光的光量的变化量成为极大值之后，解除保持所述透镜的状态。
4.如权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，在所述第二加工步骤之后，具备以所述透镜不在朝向所述主面的方向上驱动的方式进行保持的过渡步骤。
5.如权利要求4所述的激光加工方法，其特征在于，在所述过渡步骤中，使所述第一激光和用于测定所述主面的位移的第二激光在同一轴线上朝所述加工对象物以所述透镜聚光，在由所述主面所反射的所述第二激光的反射光的光量低于规定的临界值之后，以不驱动所述透镜的方式保持。
6.如权利要求4所述的激光加工方法，其特征在于，在所述过渡步骤中，使所述第一激光和用于测定所述主面的位移的第二激光在同一轴线上朝所述加工对象物以所述透镜聚光，在由所述主面反射的所述第二激光的反射光的光量的变化量成为极小值之后，以不驱动所述透镜的方式保持。
7.如权利要求4所述的激光加工方法，其特征在于，所述切断预定线包括第一切断预定线和第二切断预定线，在所述第一切断预定线的第二加工步骤中，将所述主面的位移连单位时间带一起依次存储，在所述第一切断预定线的过渡步骤中，保持所述透镜以使得相对于所述透镜的所述主面的位置成为，基于存储在从对应于在所述过渡步骤中不驱动地保持所述透镜的时间点的单位时间带起规定的数前的单位时间带中的位移的位置，在所述第二切断预定线的准备步骤中，将在所述第一切断预定线的过渡步骤中保持所述透镜的位置设为初期位置。
8.一种激光加工装置，其特征在于，是使聚光点对准加工对象物的内部而照射第一激光，以沿着所述加工对象物的切断预定线而在所述加工对象物的内部形成改质区域的激光加工装置，其具备使所述第一激光朝所述加工对象物聚光的透镜；使所述加工对象物和所述透镜沿着所述加工对象物的主面移动的移动装置；相对于对所述主面进退自如地保持所述透镜的保持装置；及控制所述移动装置和所述保持装置各自的动作的控制装置；且所述控制装置控制所述保持装置，以使其在所述聚光点成为对准所述加工对象物内部的规定的位置的状态的初期位置上保持所述透镜，以在该位置上保持所述透镜的状态照射所述第一激光的同时，所述控制装置控制所述移动装置以使所述加工对象物和所述透镜沿着所述主面相对移动，而在所述切断预定线的一端部形成改质区域，在所述切断预定线的一端部形成改质区域后，所述控制装置控制所述保持装置，以使其解除在所述初期位置上保持所述透镜的状态而调整并保持所述透镜和所述主面的间隔，控制所述移动装置以使所述透镜与所述加工对象物沿着所述主面相对移动而形成改质区域。
9.如权利要求8所述的激光加工装置，其特征在于，所述透镜，使所述第一激光与用于取得所述主面的位移的第二激光在同一轴线上朝所述加工对象物聚光，所述控制装置，控制所述保持装置，使得在由所述主面所反射的所述第二激光的反射光的光量超过规定的临界值之后解除在所述初期位置上保持所述透镜的状态。
10.如权利要求8所述的激光加工装置，其特征在于，所述透镜，使所述第一激光与用于取得所述主面的位移的第二激光在同一轴线上朝所述加工对象物聚光，所述控制装置，控制所述保持装置，使得在由所述主面反射的所述第二激光的反射光的光量的变化量成为极大值之后解除在所述初期位置上保持所述透镜的状态。
11.如权利要求8所述的激光加工装置，其特征在于，在所述切断预定线的一端部形成改质区域后，所述控制装置，控制所述保持装置，使得解除在所述初期位置保持所述透镜的状态而调整同时保持所述透镜和所述主面的间隔，且控制所述移动装置以使所述透镜与所述加工对象物沿着所述主面相对移动而形成改质区域，然后，所述控制装置控制所述保持装置以在朝所述主面的方向上不驱动地保持所述透镜，且控制所述移动装置以使所述透镜与所述加工对象物沿着所述主面相对移动。
12.如权利要求11所述的激光加工装置，其特征在于，所述透镜，使所述第一激光与用于取得所述主面的位移的第二激光在同一轴线上朝所述加工对象物聚光，所述控制装置控制所述保持装置，使其在由所述主面所反射的所述第二激光的反射光的光量低于规定的临界值之后，在朝所述主面的方向上不驱动地保持所述透镜。
13.如权利要求11所述的激光加工装置，其特征在于，所述透镜，使所述第一激光与用于取得所述主面的位移的第二激光在同一轴线上朝所述加工对象物聚光，所述控制装置控制所述保持装置，使其在由所述主面所反射的所述第二激光的反射光的光量的变化量成为极小值后，在朝所述主面的方向上不驱动地保持所述透镜。
14.如权利要求11所述的激光加工装置，其特征在于，所述切断预定线包括第一切断预定线和第二切断预定线，且具备连单位时间带一起依次存储所述主面的位移的位移存储装置，所述控制装置，将依据在从对应于所述第一切断预定线中不驱动所述透镜而加以保持般作控制的时间点的单位时间带起规定数前的单位时间带中所述位移存储装置所存储的位移的位置，设定为所述第二切断预定线上的初期位置。
全文摘要
提供一种可尽量减少在加工对象物的端部的激光的聚光点的偏离且可有效率地进行激光加工的激光加工方法。此激光加工方法具备准备步骤，是将透镜保持于以聚光点对准加工对象物内部的规定的位置的方式设定的初期位置上；第一加工步骤(S11～S12)，以在初期位置上保持该透镜的状态照射加工用的第一激光，且使透镜与加工对象物沿着主面相对移动并在切断预定线的一端部形成改质区域；以及第二加工步骤(S13～S14)，在切断预定线的一端部形成改质区域之后解除将透镜保持在初期位置的状态，而在该解除之后，一边调整透镜与主面的间隔一边使透镜与加工对象物沿着主面相对移动而形成改质区域。
文档编号B23K26/38GK1902023SQ20048004014
公开日2007年1月24日 申请日期2004年12月13日 优先权日2004年1月9日
发明者渥美一弘, 久野耕司, 楠昌好, 铃木达也, 福满宪志, 福世文嗣 申请人:浜松光子学株式会社