一种大行程快刀伺服机构的制作方法

文档序号:12366816阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种大行程快刀伺服机构,其特征在于:包括机构支撑座、音圈电机组件、气浮导轨组件、滑台和刀具,所述机构支撑座内底部端面上设置气浮导轨组件,所述气浮导轨组件的上端活动设置滑台,所述滑台的一端穿过机构支撑座后固定刀具,所述滑台的另一端连接音圈电机组件。

2.如权利要求1所述的一种大行程快刀伺服机构,其特征在于:所述音圈电机组件包括电机定子、环状槽、电机动子、动子线圈和永磁体,所述电机定子一端设置环状槽,所述电机动子插设在电机定子上环状槽中,所述动子线圈包设在电机动子的外围,所述永磁体设置在动子线圈和电机定子之间。

3.如权利要求2所述的一种大行程快刀伺服机构,其特征在于:所述音圈电机组件的外部设置外壳。

4.如权利要求1所述的一种大行程快刀伺服机构,其特征在于:所述气浮导轨组件包括滑动轴、轴承定子和通孔,所述滑动轴穿设在轴承定子上,所述轴承定子径向上设置多个通孔。

5.如权利要求1所述的一种大行程快刀伺服机构,其特征在于:所述滑台内水平设置多个圆槽,所述圆槽下端设置多个冷却水孔。

6.如权利要求5所述的一种大行程快刀伺服机构,其特征在于:所述机构支撑座的上端设置进水管。

7.如权利要求3所述的一种大行程快刀伺服机构,其特征在于:所述大行程快刀伺服机构还包括激光干涉仪,所述激光干涉仪包括接收端和发射端;所述接收端设置滑台内圆槽的端部,所述发射端设置在外壳的一侧,所述接收端和发射端之间通过导线连接。

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