液冷套的制造方法与流程

本发明涉及液冷套的制造方法。

背景技术：

例如，在专利文献1中公开了液冷套的制造方法。图23是表示以往的液冷套的制造方法的剖视图。在以往的液冷套的制造方法中，对使设于铝合金制的套主体101的层差部的层差侧面101c与铝合金制的封闭件102的侧面102c对接而形成的对接部j10进行摩擦搅拌接合。此外，在以往的液冷套的制造方法中，将旋转工具f0的仅搅拌销f02插入对接部j10以进行摩擦搅拌接合。此外，在以往的液冷套的制造方法中，使旋转工具f0的旋转中心轴cl与对接部j10重合地进行相对移动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2015－131321号公报

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

在此，套主体101容易变成复杂的形状，例如由4000系列铝合金的铸造材料形成，而像封闭件102那样形状相对简单的构件有时会由1000系列铝合金的延展材料形成。这样的话，存在将铝合金的材料种类不同的构件彼此进行接合来制造液冷套的情况。在这种情况下，由于一般来说，套主体101的硬度比封闭件102的硬度大，因此，若如图23所示那样进行摩擦搅拌接合，则搅拌销从套主体101一侧受到的材料阻力比从封闭件102一侧受到的材料阻力大。因而，很难通过旋转工具f0的搅拌销高平衡性地对不同的材料种类进行搅拌，存在接合后的塑性化区域中会产生空洞缺陷而使得接合强度降低这样的问题。

从这种观点出发，本发明的目的在于提供一种能将材料种类不同的铝合金理想地接合的液冷套的制造方法。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明是一种液冷套的制造方法，所述液冷套由套主体和封闭件构成，其中，所述套主体具有底部、从所述底部的周缘立起的周壁部和从所述底部立起的支柱，所述封闭件包括供所述支柱的前端插入的孔部，并且对所述套主体的开口部进行封闭，在所述液冷套的制造方法中，通过摩擦搅拌对所述套主体和所述封闭件进行接合，所述液冷套的制造方法的特征是，所述套主体由第一铝合金形成，所述封闭件由第二铝合金形成，所述第一铝合金是硬度比所述第二铝合金的硬度高的材料种类，旋转工具是包括基端侧销和前端侧销的摩擦搅拌用的正式接合用旋转工具，所述基端侧销的锥形角度比前端侧销的锥形角度大，在所述基端侧销的外周面形成有台阶状的销层差部，所述液冷套的制造方法包括：准备工序，在所述准备工序中，在所述周壁部的内周缘形成周壁层差部，所述周壁层差部具有层差底面和从所述层差底面朝向所述开口部立起的层差侧面，并且在所述支柱的前端形成支柱层差部，所述支柱层差部具有层差底面和从所述层差底面以使所述支柱的前端变细的方式倾斜地立起的层差侧面，且将所述封闭件的板厚设定成比所述支柱层差部的所述层差侧面的高度尺寸大；载置工序，在所述载置工序中，通过将所述封闭件载置于所述套主体，从而使所述周壁层差部的层差侧面与所述封闭件的外周侧面对接以形成第一对接部，并且使所述周壁层差部的层差底面与所述封闭件的背面重合以形成第二对接部，然后以在使所述支柱层差部的层差侧面与所述封闭件的所述孔部的孔壁对接时存在间隙的方式形成第三对接部，并且使所述支柱层差部的层差底面与所述封闭件的背面重合以形成第四对接部；以及第二正式接合工序，在所述第二正式接合工序中，将旋转的所述旋转工具的前端侧销和基端侧销插入至所述封闭件，在使所述基端侧销的外周面与所述封闭件的正面接触、同时使所述前端侧销的外周面与所述支柱层差部的层差侧面不接触的状态下使所述旋转工具沿着所述第三对接部移动时，一边使所述封闭件的第二铝合金流入所述间隙，一边进行摩擦搅拌。

根据上述制造方法，通过封闭件与搅拌销以及前端侧销的摩擦热对第三对接部中的主要封闭件一侧的第二铝合金进行搅拌来使其塑性流动化，从而能在第三对接部处对支柱层差部的层差侧面与封闭件的孔部的孔壁进行接合。此外，使基端侧销以及前端侧销与仅封闭件接触来进行摩擦搅拌，因此，第一铝合金几乎不会从套主体混入到封闭件中。由此，在第三对接部处主要是封闭件一侧的第二铝合金被摩擦搅拌，因此，能抑制接合强度的降低。此外，由于以使前端变细的方式使支柱层差部的层差侧面倾斜，因此，能在不导致接合强度的降低的情况下容易地避免基端侧销以及前端侧销与套主体之间的接触。此外，由于使封闭件的板厚增大，并且使塑性流动材料流入到第三对接部的间隙，因此，能够防止接合部处的金属不足。

此外，较为理想的是，在所述第二正式接合工序中，在使所述前端侧销与所述支柱层差部的层差底面稍微接触的状态下，使所述旋转工具沿着所述第三对接部移动，以进行摩擦搅拌。

根据上述制造方法，能提高第四对接部的接合强度。

此外，本发明是一种液冷套的制造方法，所述液冷套由套主体和封闭件构成，其中，所述套主体具有底部、从所述底部的周缘立起的周壁部和从所述底部立起的支柱，所述封闭件包括供所述支柱的前端插入的孔部，并且对所述套主体的开口部进行封闭，在所述液冷套的制造方法中，通过摩擦搅拌对所述套主体和所述封闭件进行接合，所述液冷套的制造方法的特征是，所述套主体由第一铝合金形成，所述封闭件由第二铝合金形成，所述第一铝合金是硬度比所述第二铝合金的硬度高的材料种类，旋转工具是包括基端侧销和前端侧销的摩擦搅拌用的正式接合用旋转工具，所述基端侧销的锥形角度比前端侧销的锥形角度大，在所述基端侧销的外周面形成有台阶状的销层差部，所述液冷套的制造方法包括：准备工序，在所述准备工序中，在所述周壁部的内周缘形成周壁层差部，所述周壁层差部具有层差底面和从所述层差底面朝向所述开口部立起的层差侧面，并且在所述支柱的前端形成支柱层差部，所述支柱层差部具有层差底面和从所述层差底面以使所述支柱的前端变细的方式倾斜地立起的层差侧面，且将所述封闭件的板厚设定成比所述支柱层差部的所述层差侧面的高度尺寸大；载置工序，在所述载置工序中，通过将所述封闭件载置于所述套主体，从而使所述周壁层差部的层差侧面与所述封闭件的外周侧面对接以形成第一对接部，并且使所述周壁层差部的层差底面与所述封闭件的背面重合以形成第二对接部，然后以在使所述支柱层差部的层差侧面与所述封闭件的所述孔部的孔壁对接时存在间隙的方式形成第三对接部，并且使所述支柱层差部的层差底面与所述封闭件的背面重合以形成第四对接部；以及第二正式接合工序，在所述第二正式接合工序中，将旋转的所述旋转工具的前端侧销和基端侧销插入至所述封闭件，在使所述基端侧销的外周面与所述封闭件的正面接触、同时使所述前端侧销的外周面与所述支柱层差部的层差侧面稍微接触的状态下使所述旋转工具沿着所述第三对接部移动时，一边使所述封闭件的第二铝合金流入所述间隙，一边进行摩擦搅拌。

根据上述制造方法，通过封闭件与基端侧销以及前端侧销的摩擦热对第三对接部中的主要封闭件一侧的第二铝合金进行搅拌来使其塑性流动化，从而能在第三对接部处对支柱层差部的层差侧面与封闭件的孔部的孔壁进行接合。此外，保持使基端侧销以及前端侧销的外周面与支柱层差部的层差侧面稍微接触，因此，能尽可能地减少第一铝合金从套主体向封闭件的混入。此外，由于以前端变细的方式使支柱层差部的层差侧面倾斜，因此，能在基端侧销以及前端侧销不大幅进入套主体一侧的情况下对第三对接部进行接合。此外，由于使封闭件的板厚增大，并且使塑性流动材料流入到第三对接部的间隙，因此，能够防止接合部处的金属不足。

此外，较为理想的是，在所述第二正式接合工序中，在使所述前端侧销与所述支柱层差部的层差底面稍微接触的状态下，使所述旋转工具沿着所述第三对接部移动，以进行摩擦搅拌。

根据上述制造方法，能提高第四对接部的接合强度。

此外，较为理想的是，在所述第二正式接合工序中，使所述旋转工具沿着所述第三对接部移动并绕着所述支柱层差部旋转一周，以进行摩擦搅拌。

根据上述制造方法，能提高液冷套的水密性和气密性。

此外，较为理想的是，进行第一正式接合工序，在所述第一正式接合工序中，使所述旋转工具沿着所述第一对接部旋转一周，以对所述第一对接部进行摩擦搅拌。

根据上述制造方法，能提高液冷套的水密性和气密性。

在所述准备工序中，通过铸模形成所述套主体，并且形成为所述底部朝正面侧凸出，且形成为所述封闭件朝正面侧凸出。

根据上述制造方法，因摩擦搅拌接合的热输入而在塑性化区域发生热收缩，使得液冷套的封闭件一侧可能会以凹陷的方式变形，但根据上述制造方法，能预先使套主体以及封闭件凸出，并通过利用热收缩使液冷套变得平坦。

此外，较为理想的是，预先对所述套主体的变形量进行测量，在所述第一正式接合工序中，一边根据所述变形量对所述旋转工具的基端侧销以及前端侧销的插入深度进行调节，一边进行摩擦搅拌。

根据上述制造方法，即使在使套主体以及封闭件呈凸状弯曲并进行摩擦搅拌接合的情况下，也能使形成于液冷套的塑性化区域的长度和宽度恒定。

此外，较为理想的是，在所述第一正式接合工序之前包括临时接合工序，在所述临时接合工序中，对所述第一对接部进行临时接合。

根据上述制造方法，通过进行临时接合，能够防止第一正式接合工序时的第一对接部的开裂。

此外，较为理想的是，在所述第一正式接合工序中，将供冷却介质流动的冷却板设置于所述底部的背面侧，并一边通过所述冷却板对所述套主体和所述封闭件进行冷却，一边进行摩擦搅拌。

根据上述制造方法，能将摩擦热抑制得较低，因此，能减小因热收缩引起的液冷套的变形。

此外，较为理想的是，使所述冷却板的正面与所述底部的背面面接触。根据上述制造方法，能提高冷却效率。

此外，较为理想的是，所述冷却板具有供所述冷却介质流动的冷却流路，所述冷却流路包括沿着所述第一正式接合工序中的所述旋转工具的移动轨迹的平面形状。

根据上述制造方法，能集中地对被摩擦搅拌的部分进行冷却，因此，能进一步提高冷却效率。

此外，较为理想的是，供所述冷却介质流动的冷却流路由埋设于所述冷却板的冷却管构成。

根据上述制造方法，能容易地进行冷却介质的管理。

此外，较为理想的是，在所述第一正式接合工序中，使冷却介质在由所述套主体和所述封闭件构成的中空部中流动，并一边对所述套主体和所述封闭件进行冷却，一边进行摩擦搅拌。

根据上述制造方法，能将摩擦热抑制得较低，因此，能减小因热收缩引起的液冷套的变形。此外，能够不使用冷却板等，而是利用套主体自身进行冷却。

发明效果

根据本发明的液冷套的制造方法，能理想地对材料种类不同的铝合金进行接合。

附图说明

图1是表示本发明实施方式的正式接合用旋转工具的侧视图。

图2是正式接合用旋转工具的放大剖视图。

图3是表示正式接合用旋转工具的第一变形例的剖视图。

图4是表示正式接合用旋转工具的第二变形例的剖视图。

图5是表示正式接合用旋转工具的第三变形例的剖视图。

图6是表示本发明第一实施方式的液冷套的分解立体图。

图7是表示第一实施方式的液冷套的制造方法的载置工序的剖视图。

图8是表示第一实施方式的液冷套的制造方法的第一正式接合工序的立体图。

图9是表示第一实施方式的液冷套的制造方法的第一正式接合工序的剖视图。

图10是表示第一实施方式的液冷套的制造方法的第一正式接合工序后的剖视图。

图11是表示第一实施方式的液冷套的制造方法的第二正式接合工序的立体图。

图12是表示第一实施方式的液冷套的制造方法的第二正式接合工序的剖视图。

图13是表示现有的旋转工具的概念图。

图14是表示现有的旋转工具的概念图。

图15是表示本发明第二实施方式的液冷套的制造方法的第一正式接合工序的剖视图。

图16是表示本发明第三实施方式的液冷套的制造方法的第一正式接合工序的剖视图。

图17是表示本发明第四实施方式的液冷套的制造方法的第一正式接合工序的剖视图。

图18是表示本发明第五实施方式的液冷套的制造方法的第二正式接合工序的剖视图。

图19是表示第一实施方式的液冷套的制造方法的第一变形例的立体图。

图20a是表示第一实施方式的液冷套的制造方法的第二变形例的图，其是表示工作台的立体图。

图20b是表示第一实施方式的液冷套的制造方法的第二变形例的图，其是表示将套主体以及封闭件固定于工作台的状态的立体图。

图21是表示第一实施方式的液冷套的制造方法的第三变形例的分解立体图。

图22是表示将第一实施方式的液冷套的制造方法的第三变形例的套主体及封闭件固定于工作台的状态的立体图。

图23是表示以往的液冷套的制造方法的剖视图。

具体实施方式

适当参照附图对本发明的实施方式进行说明。首先，对本实施方式的接合方法中使用的正式接合用旋转工具(旋转工具)进行说明。正式接合用旋转工具是用于摩擦搅拌接合的工具。如图1所示，正式接合用旋转工具f例如由工具钢形成，主要由基轴部f1、基端侧销f2和前端侧销f3构成。基轴部f1是呈圆柱状，并连接于摩擦搅拌装置的主轴的部位。

基端侧销f2与基轴部f1连续，并随着朝向前端而变得尖细。基端侧销f2呈圆锥台形状。只要适当设定基端侧销f2的锥形角度a即可，但例如为135～160°。若锥形角度a小于135°或大于160°，则摩擦搅拌后的接合表面粗糙度变大。锥形角度a比后述的前端侧销f3的锥形角度b大。如图2所示，在基端侧销f2的外周面遍及整个高度方向形成有台阶状的销层差部f21。销层差部f21通过朝右环绕或朝左环绕而形成为螺旋状。也就是说，销层差部f21在俯视观察时呈螺旋状，在侧视观察时呈台阶状。在本实施方式中，使正式接合用旋转工具f朝右旋转，因此，销层差部f21设定成从基端侧向前端侧朝左环绕。

另外，较为理想的是，在使正式接合用旋转工具f朝左旋转的情况下，将销层差部f21设定为从基端侧向前端侧朝右环绕。由此，塑性流动材料被销层差部f21引导至前端侧，因此，能减少溢出到被接合金属构件的外部的金属。销层差部f21由层差底面f21a和层差侧面f21b构成。相邻的销层差部f21的各顶点f21c、f21c的距离x1(水平方向距离)是根据后述的层差角度c以及层差侧面f21b的高度y1而适当设定的。

只要适当设定层差侧面f21b的高度y1即可，但例如设定为0.1～0.4mm。若高度y1小于0.1mm，则接合表面粗糙度会变大。另一方面，若高度y1大于0.4mm，则存在接合表面粗糙度变大的倾向，同时有效层差部数量(与被接合金属构件接触的销层差部f21的数量)也减少。

只要适当设定层差底面f21a与层差侧面f21b所成的层差角度c即可，但例如设定为85～120°。在本实施方式中，层差底面f21a与水平面平行。层差底面f21a也可以从工具的转轴向外周方向在相对于水平面-5°～15°内的范围内倾斜(水平面的下方为负，水平面的上方为正)。距离x1、层差侧面f21b的高度y1、层差角度c以及层差底面f21a相对于水平面的角度适当设定为在进行摩擦搅拌时，塑性流动材料不会滞留并附着于销层差部f21的内部，而是排出到外部，并且能通过层差底面f21a对塑性流动材料进行按压，以减小接合表面粗糙度。

如图1所示，前端侧销f3与基端侧销f2连续地形成。前端侧销f3呈圆锥台形状。前端侧销f3的前端为与转轴垂直的平坦面f4。前端侧销f3的锥形角度b比基端侧销f2的锥形角度a小。如图2所示，在前端侧销f3的外周面刻设有螺旋槽f31。螺旋槽f31既可以朝右环绕，也可以朝左环绕，但在本实施方式中使正式接合用旋转工具f朝右旋转，因此，从基端侧向前端侧朝左环绕地刻设。

另外，较为理想的是，在使正式接合用旋转工具f朝左旋转的情况下，将螺旋槽f31设定成从基端侧向前端侧朝右环绕。由此，塑性流动材料被螺旋槽f31引导至前端侧，因此，能减少溢出到被接合金属构件的外部的金属。螺旋槽f31由螺旋底面f31a和螺旋侧面f31b构成。将相邻的螺旋槽f31的顶点f31c、f31c的距离(水平方向距离)设为长度x2。将螺旋侧面f31b的高度设为高度y2。由螺旋底面f31a和螺旋侧面f31b构成的螺旋角度d例如形成为45～90°。螺旋槽f31通过与被接合金属构件接触而使摩擦热上升，并且具有将塑性流动材料引导至前端侧的作用。

正式接合用旋转工具f能适当进行设计改变。图3是表示本发明的旋转工具的第一变形例的侧视图。如图3所示，在第一变形例的正式接合用旋转工具fa中，由销层差部f21的层差底面f21a和层差侧面f21b所成的层差角度c为85°。层差底面f21a与水平面平行。这样，也可以使层差底面f21a与水平面平行，并且层差角度c在摩擦搅拌中能使塑性流动材料不滞留并附着于销层差部f21内而是排出到外部的范围内设为锐角。

图4是表示本发明的正式接合用旋转工具的第二变形例的侧视图。如图4所示，在第二变形例的正式接合用旋转工具fb中，销层差部f21的层差角度c为115°。层差底面f21a与水平面平行。这样，也可以使层差底面f21a与水平面平行，并且在作为销层差部f21发挥作用的范围内使层差角度c为钝角。

图5是表示本发明的正式接合用旋转工具的第三变形例的侧视图。如图5所示，在第三变形例的正式接合用旋转工具fc中，层差底面f21a从工具的转轴向外周方向相对于水平面朝上方倾斜10°。层差侧面f21b与铅锤面平行。这样，也可以在摩擦搅拌中能对塑性流动材料进行按压的范围内，形成为使层差底面f21a从工具的转轴向外周方向比水平面更靠上方倾斜。通过上述正式接合用旋转工具的第一变形例至第三变形例，也能起到与下述实施方式同等的效果。

[第一实施方式]

参照附图，对本发明第一实施方式的液冷套的制造方法进行详细说明。如图6所示，本实施方式的液冷套的制造方法是对套主体2和封闭件3进行摩擦搅拌接合以制造液冷套1的方法。液冷套1是将发热体(省略图示)设置在封闭件3上，并且使流体在内部流动以与发热体之间进行热交换的构件。另外，以下的说明中的“正面”是指与“背面”相反一侧的面。

在本实施方式的液冷套的制造方法中进行准备工序、载置工序、第一正式接合工序和第二正式接合工序。准备工序是准备套主体2和封闭件3的工序。套主体2主要由底部10、周壁部11和多个支柱15构成。套主体2形成为主要含有第一铝合金。第一铝合金例如使用jish5302adc12(al－si－cu系列)等铝合金铸造材料。

底部10是俯视时呈矩形的板状构件。周壁部11是从底部10的周缘部呈矩形框状立起的壁部。通过底部10和周壁部11形成凹部13。在周壁部11的内周缘形成有周壁层差部12。周壁层差部12由层差底面12a和从层差底面12a立起的层差侧面12b构成。如图7所示，层差侧面12b以从层差底面12a向开口部朝外侧扩展的方式倾斜。只要适当设定层差侧面12b的倾斜角度β即可，例如相对于铅锤面成3°～30°。另外，层差侧面12b也可以与层差底面12a垂直。

如图6所示，支柱15从底部10垂直地立起。支柱15的根数并不受特别限制，但在本实施方式中形成有四根。此外，支柱15的形状在本实施方式中为圆柱状，但也可以是其他形状。在支柱15的前端形成有呈锥台形状的突出部16。通过在支柱15的端面形成有突出部16，以形成支柱层差部17。支柱层差部17由层差底面17a和从层差底面17a立起的层差侧面17b构成。层差侧面17b以随着朝向支柱15的前端而前端变细的方式倾斜。只要适当设定层差侧面17b的倾斜角度δ即可，在本实施方式中，例如相对于铅锤面成3°～30°。

如图7所示，支柱层差部17的层差底面17a形成于与周壁层差部12的层差底面12a相同的高度位置。此外，突出部16的端面16a形成于与周壁部11的周壁端面11a相同的高度位置。另外，套主体2也可以例如与底部10和周壁部11分体形成，并通过密封构件将他们密封而一体形成。

如图6所示，封闭件3是将套主体2的开口部封闭的板状构件。封闭件3为载置于周壁层差部12的大小。封闭件3的板厚比层差侧面12b的高度尺寸大。封闭件3形成为主要含有第二铝合金。第二铝合金是硬度比第一铝合金的硬度低的材料。第二铝合金例如通过jisa1050、a1100、a6063等铝合金延展材料形成。封闭件3的板厚适当设定为在后述的第一正式接合工序后不会产生金属不足的程度。

在封闭件3形成有多个孔部4。孔部4形成于与支柱15的突出部16对应的位置。孔部4呈圆柱状的中空部，且为供突出部16插入的大小。

如图7所示，载置工序是将封闭件3载置于套主体2的工序。在载置工序中，将封闭件3的背面3b载置于层差底面12a。由此，使层差侧面12b与封闭件3的外周侧面3c对接以形成第一对接部j1。第一对接部j1可包括层差侧面12b与封闭件3的外周侧面3c面接触的情况以及像本实施方式这样以隔开截面呈大致v字状的间隙的方式对接的情况这两种情况。此外，使层差底面12a与封闭件3的背面3b对接以形成第二对接部j2。

此外，通过载置工序使支柱层差部17的层差侧面17b与孔部4的孔壁4a对接，以形成第三对接部j3。第三对接部j3可包括如本实施方式这样以隔开截面呈大致v字状的间隙的方式对接的情况。此外，使封闭件3的背面3b与支柱层差部17的层差底面17a对接以形成第四对接部j4。

如图8所示，第一正式接合工序是使用正式接合用旋转工具f对第一对接部j1进行摩擦搅拌接合的工序。在第一正式接合工序中，将朝右旋转的正式接合用旋转工具f插入到设定于封闭件3的正面3a的开始位置sp，并一边使塑性流动材料流入第一对接部j1的间隙，一边使正式接合用旋转工具f相对于封闭件3向右绕转地移动。在正式接合用旋转工具f的移动轨迹上，因摩擦搅拌后的金属固化而形成塑性化区域w1。

如图9所示，在第一正式接合工序中，在使基端侧销f2以及前端侧销f3与封闭件3接触的状态、且使基端侧销f2以及前端侧销f3与层差侧面12b不接触的状态下进行摩擦搅拌。此外，正式接合用旋转工具f的插入深度是在使基端侧销f2的外周面与封闭件3的正面3a接触并且使前端侧销f3与层差底面12a不接触的状态下进行摩擦搅拌。此外，基端侧销f2的外周面与周壁端面11a不接触。另外，前端侧销f3的外周面与套主体2不接触的状态还可以包括前端侧销f3与层差侧面12b之间的距离为零的情况。

若从层差侧面12b至前端侧销f3的外周面的距离过远，则第一对接部j1的接合强度降低。从层差侧面12b至前端侧销f3的外周面的分开距离l只要根据套主体2和封闭件3的材料适当设定即可，但较为理想的是在像本实施方式这样使前端侧销f3的外周面与层差侧面12b不接触、且使前端侧销f3的平坦面f4与层差底面12a不接触的情况下，例如设定为0≤l≤0.5mm，更为理想的是设定为0≤l≤0.3mm。

在使正式接合用旋转工具f绕封闭件3绕转一周后，使塑性化区域w1的始端与终端重合。正式接合用旋转工具f也可以在封闭件3的正面3a中逐渐上升而拔出。图10是本实施方式的第一正式接合工序后的接合部的剖视图。塑性化区域w1以第一对接部j1为界形成于封闭件3一侧。[0058]

如图11及图12所示，第二正式接合工序是使用正式接合用旋转工具f对第三对接部j3进行摩擦搅拌接合的工序。在第二正式接合工序中，如图11所示，将朝右旋转的基端侧销f2以及前端侧销f3插入到设定于封闭件3的正面3a的开始位置sp，并一边使塑性流动材料流入第三对接部j3的间隙，一边沿着孔部4的孔壁4a旋转一周。在正式接合用旋转工具f的移动轨迹中，因摩擦搅拌后的金属固化而形成有塑性化区域w2。

如图12所示，在第二正式接合工序中，在使基端侧销f2以及前端侧销f3与封闭件3接触的状态、且使基端侧销f2以及前端侧销f3与层差侧面17b不接触的状态下进行摩擦搅拌。此外，正式接合用旋转工具f的插入深度是在使基端侧销f2的外周面与封闭件3的正面3a接触并且使前端侧销f3与层差底面17a不接触的状态下进行摩擦搅拌。此外，使突出部16的端面16a与基端侧销f2的外周面不接触。另外，前端侧销f3与突出部16不接触的状态还可以包括前端侧销f3与层差侧面17b之间的距离为零的情况。

在使正式接合用旋转工具f绕孔部4绕转一周后，使塑性化区域w2的始端与终端重合。正式接合用旋转工具f也可以在封闭件3的正面3a中逐渐上升而拔出。从支柱层差部17的层差侧面17b至前端侧销f3的外周面之间的分开距离l设定为与第一正式接合工序相同。

根据以上说明的本实施方式的液冷套的制造方法，通过封闭件3和基端侧销f2以及前端侧销f3的摩擦热而对第一对接部j1中的主要封闭件3一侧的第二铝合金进行搅拌来使其塑性流动化，从而能在第一对接部j1处对层差侧面12b与封闭件3的外周侧面3c进行接合。此外，使基端侧销f2以及前端侧销f3与仅封闭件3接触来进行摩擦搅拌，因此，第一铝合金几乎不会从套主体2混入到封闭件3中。由此，在第一对接部j1处主要是封闭件3一侧的第二铝合金被摩擦搅拌，因此，能抑制接合强度的降低。此外，由于使套主体2的层差侧面12b朝外侧倾斜，因此，能在不导致接合强度降低的情况下容易地避免基端侧销f2以及前端侧销f3与套主体2的接触。此外，由于使封闭件3的板厚增大，并且使塑性流动材料流入第一对接部j1的间隙，因此，能防止接合部处的金属不足。

在此，如图13所示，若为现有的旋转工具900，则由于未通过轴肩部对被接合金属构件910的正面进行按压，因此，存在凹槽(由被接合金属构件的正面和塑性化区域的正面构成的凹槽)变大，并且接合表面粗糙度变大这样的问题。此外，存在在凹槽的附近形成有隆起部(与接合前相比被接合金属构件的表面隆起的部位)的问题。另一方面，若如图14的旋转工具901那样使旋转工具901的锥形角度e2比旋转工具900的锥形角度e1大，则与旋转工具900相比，能对被接合金属构件910的正面进行按压，因此，凹槽会变小，隆起部也会变小。然而，向下的塑性流动变强，因此，在塑性化区域的下部容易形成吻接(日文：キッシングボンド)。

与此相对的是，本实施方式的正式接合用旋转工具f构成为包括基端侧销f2和前端侧销f3，上述前端侧销f3的锥形角度比基端侧销f2的锥形角度a小。由此，容易将正式接合用旋转工具f插入到封闭件3中。此外，由于前端侧销f3的锥形角度b小，因此，能容易地将正式接合用旋转工具f插入到封闭件3的较深位置处。此外，由于前端侧销f3的锥形角度b小，因此，与旋转工具901相比，能抑制向下的塑性流动。因而，能防止在塑性化区域w1的下部形成有吻接。另一方面，由于基端侧销f2的锥形角度a大，因此，与现有的旋转工具相比，即使被接合金属构件的厚度、接合的高度位置发生变化，也能稳定地接合。

此外，能通过基端侧销f2的外周面对塑性流动材料进行按压，因此，能减小形成于接合表面的凹槽，并且能消除或减小形成于凹槽附近的隆起部。此外，台阶状的销层差部f21浅且出口大，因此，利用层差底面f21a对塑性流动材料进行按压，同时使塑性流动材料易于排出到销层差部f21的外部。因而，即使通过基端侧销f2对塑性流动材料进行按压，塑性流动材料也不易附着于基端侧销f2的外周面。由此，能减小接合表面粗糙度，并且能理想地使接合品质稳定。

此外，在第一正式接合工序中，使套主体2的层差侧面12b朝外侧倾斜，因此，能容易地避免前端侧销f3与套主体2的接触。此外，在本实施方式中，使层差侧面12b的倾斜角度β(参照图7)与前端侧销f3的倾斜角度α相同(参照图1)相同(使层差侧面12b与前端侧销f3的外周面平行)，因此，能在避免前端侧销f3与层差侧面12b接触的同时尽可能地使前端侧销f3与层差侧面12b靠近。

此外，在第一正式接合工序中，只要适当设定正式接合用旋转工具f的旋转方向和行进方向即可，但将正式接合用旋转工具f的旋转方向和行进方向设定成使形成于正式接合用旋转工具f的移动轨迹的塑性化区域w1中的、套主体2一侧成为剪切侧，而使封闭件3一侧成为流动侧。通过设定成使套主体2一侧成为剪切侧，从而使得基端侧销f2以及前端侧销f3在第一对接部j1的周围处的搅拌作用变大，能期待第一对接部j1处的温度上升，并能在第一对接部j1处更可靠地对层差侧面12b与封闭件3的外周侧面3c进行接合。

另外，剪切侧(advancingside：行进侧)是指旋转工具的外周相对于被接合部的相对速度为在旋转工具的外周处的切线速度的大小上加上移动速度的大小后的值的一侧。另一方面，流动侧(retreatingside：回退侧)是指通过使旋转工具朝旋转工具的移动方向的相反方向转动，从而使旋转工具相对于被接合部的相对速度变低的一侧。

此外，通过进行第二正式接合工序，能提高套主体2与封闭件3的接合强度。此外，在第二正式接合工序中，在使基端侧销f2以及前端侧销f3与支柱层差部17的层差侧面17b不接触的状态下进行摩擦搅拌。由此，通过封闭件3与基端侧销f2以及前端侧销f3的摩擦热使第三对接部j3中的、主要靠封闭件3一侧的第二铝合金被搅拌而塑形流动化，从而能在第三对接部j3处对支柱层差部17的层差侧面17b与封闭件3的孔部4的孔壁4a进行接合。

此外，使基端侧销f2以及前端侧销f3与仅封闭件3接触来进行摩擦搅拌，因此，第一铝合金几乎不会从套主体2混入到封闭件3中。由此，在第三对接部j3处主要是封闭件3一侧的第二铝合金被摩擦搅拌，因此，能抑制接合强度的降低。此外，使支柱层差部17的层差侧面17b以前端变细的方式倾斜，因此，能在不导致接合强度降低的情况下容易地避免基端侧销f2以及前端侧销f3与套主体2的接触。此外，由于使封闭件3的板厚增大，并且使塑性流动材料流入第三对接部j3的间隙，因此，能防止接合部处的金属不足。

此外，在第二正式接合工序中，使支柱层差部17的层差侧面17b以前端变细的方式倾斜，因此，能容易地避免前端侧销f3与套主体2的支柱15的接触。此外，在本实施方式中，使层差侧面17b的倾斜角度δ(参照图7)与前端侧销f3的倾斜角度α(参照图1)相同(使层差侧面17b与前端侧销f3的外周面平行)，因此，能在避免前端侧销f3与层差侧面17b接触的同时，尽可能地使前端侧销f3与层差侧面17b靠近。

另外，在第二正式接合工序中，在使基端侧销f2以及前端侧销f3与层差侧面17b不接触的状态、且使前端侧销f3的平坦面f4与支柱层差部17的层差底面17a接触的状态下进行摩擦搅拌。由此，能提高第四对接部j4的接合强度。

此外，由于使封闭件3的板厚比层差侧面12b的高度尺寸大，因此，能防止第一对接部j1以及第三对接部j3处的金属不足。此外，通过使封闭件3的板厚增大，与板厚薄的情况相比，能提高与发热体之间的热交换效率。

此外，套主体2的第一铝合金是硬度比封闭件3的第二铝合金的硬度高的材料。由此，能提高液冷套1的耐久性。此外，较为理想的是，将套主体2的第一铝合金设为铝合金铸造材料，将封闭件3的第二铝合金设为铝合金延展材料。通过将第一铝合金设为例如jish5302adc12等al－si－cu系列铝合金铸造材料，从而能提高套主体2的铸造性、强度、被切削性等。此外，通过将第二铝合金设为例如jisa1000系列或a6000系列，从而能提高加工性和导热性。

另外，既可以先进行第一正式接合工序，也可以先进行第二正式接合工序。此外，也可以在进行第一正式接合工序之前，通过摩擦搅拌或焊接对第一对接部j1进行临时接合。通过进行临时接合，能在第一正式接合工序、第二正式接合工序时防止各对接部的开裂。

[第二实施方式]

接着，对本发明第二实施方式的液冷套的制造方法进行说明。在第二实施方式的液冷套的制造方法中进行准备工序、载置工序、第一正式接合工序和第二正式接合工序。在第二实施方式中，准备工序、载置工序及第二正式接合工序与第一实施方式相同，因此省略说明。此外，在第二实施方式中，以与第一实施方式不同的部分为中心进行说明。

在第二实施方式的第一正式接合工序中，如图15所示，在使正式接合用旋转工具f沿第一对接部j1相对移动时，在一边使前端侧销f3与层差侧面12b稍微接触，一边使基端侧销f2的外周面与封闭件3的正面3a接触的状态下进行摩擦搅拌。此外，在第一正式接合工序中，使基端侧销f2的外周面与周壁端面11a不接触，且使前端侧销f3与层差底面12a不接触。

在此，将前端侧销f3的外周面与层差侧面12b的接触量设为偏置量n。较为理想的是，在如本实施方式那样使前端侧销f3的外周面与层差侧面12b稍微接触且使前端侧销f3的平坦面f4与层差底面12a不接触的情况下，将偏置量n设定在0＜n≤0.5mm之间，更为理想的是设定在0＜n≤0.25mm之间。

在本实施方式的第一正式接合工序中，保持使前端侧销f3的外周面与层差侧面12b稍微接触，因此，能可靠地对第一对接部j1进行接合，并且能尽可能减少第一铝合金从套主体2向封闭件3的混入。

此外，在本实施方式的第一正式接合工序中，使层差侧面12b与前端侧销f3的外周面平行，因此，能使前端侧销f3与层差侧面12b的接触量在整个高度方向上均匀。由此，即使在使前端侧销f3的外周面与周壁层差部12的层差侧面12b稍微接触的情况下，由于塑性流动材料被高平衡性地搅拌，因此，能抑制接合部的强度降低。

此外，与第一实施方式相同，能通过基端侧销f2的外周面对塑性流动材料进行按压，因此，能减小形成于接合表面的凹槽，并且能消除或减小形成于凹槽附近的隆起部。因此，能减小接合表面粗糙度，并且能理想地使接合品质稳定。

[第三实施方式]

接着，对本发明第三实施方式的液冷套的制造方法进行说明。在第三实施方式的液冷套的制造方法中进行准备工序、载置工序、第一正式接合工序和第二正式接合工序。在第三实施方式中，准备工序、载置工序及第二正式接合工序与第一实施方式相同，因此省略说明。此外，在第三实施方式中，以与第一实施方式不同的部分为中心进行说明。

在第三实施方式的第一正式接合工序中，如图16所示，在使正式接合用旋转工具f沿着第一对接部j1相对移动时，在使前端侧销f3的外周面与层差侧面12b不接触且使前端侧销f3的平坦面f4与层差底面12a稍微接触的状态下进行摩擦搅拌接合。

根据第三实施方式，能获得与第一实施方式大致同等的效果。另外，在使前端侧销f3的平坦面f4与层差底面12a接触的状态下进行摩擦搅拌接合，因此，能提高第二对接部j2的接合强度。此外，保持前端侧销f3与层差底面12a稍微接触，因此，能尽可能地防止第一铝合金从套主体2混入到封闭件3中。

[第四实施方式]

接着，对本发明第四实施方式的液冷套的制造方法进行说明。在第四实施方式的液冷套的制造方法中进行准备工序、载置工序、第一正式接合工序和第二正式接合工序。在第四实施方式中，准备工序、载置工序及第二正式接合工序与第一实施方式相同，因此省略说明。此外，在第四实施方式中，以与第一实施方式不同的部分为中心进行说明。

如图17所示，在第四实施方式的第一正式接合工序中，在一边使前端侧销f3的外周面与层差侧面12b稍微接触，一边使前端侧销f3的平坦面f4与层差底面12a稍微接触的状态下进行摩擦搅拌。此外，在本实施方式的第一正式接合工序中，在通过基端侧销f2的外周面对封闭件3的正面3a进行按压的状态下进行摩擦搅拌。前端侧销f3与层差侧面12b之间的偏置量n只要设定为与第二实施方式相同即可。

根据第四实施方式，能获得与第二实施方式大致同等的效果。此外，通过在使前端侧销f3的平坦面f4与层差底面12a接触的状态下进行摩擦搅拌，能提高第二对接部j2的接合强度。此外，保持平坦面f4与层差底面12a稍微接触，因此，能尽可能地防止第一铝合金从套主体2混入到封闭件3中。

[第五实施方式]

接着，对本发明第五实施方式的液冷套的制造方法进行说明。在第五实施方式的液冷套的制造方法中进行准备工序、载置工序、第一正式接合工序和第二正式接合工序。在第五实施方式中，准备工序、载置工序及第一正式接合工序与第一实施方式相同，因此省略说明。

如图18所示，在第五实施方式的第二正式接合工序中，在一边使基端侧销f2以及前端侧销f3与支柱层差部17的层差侧面17b稍微接触，一边使前端侧销f3的平坦面f4与层差底面17a分开的状态下进行摩擦搅拌。基端侧销f2与封闭件3的正面3a接触，但与突出部16的端面16a并不接触。在第二正式接合工序中，一边使塑性流动材料流入第三对接部j3的间隙，一边进行摩擦搅拌。前端侧销f3的外周面f10与层差侧面17b的接触量适当设定即可，但较为理想的是，设定成与第二实施方式的第一正式接合工序的偏置量n(参照图15)相同。

根据第五实施方式，也能获得与第一实施方式大致同等的效果。根据第五实施方式的第二正式接合工序，通过将支柱15与封闭件3接合，能牢固地进行接合。此外，保持使前端侧销f3与支柱层差部17的层差侧面17b稍微接触，因此，能尽可能地减少第一铝合金从套主体2向封闭件3的混入。由此，在第三对接部j3处主要是封闭件3一侧的第二铝合金被摩擦搅拌，因此，能抑制接合强度的降低。

另外，在第五实施方式的第二正式接合工序中，也可以在使平坦面f4与支柱层差部17的层差底面17a稍微接触的状态下进行摩擦搅拌。也就是说，在本实施方式的第二正式接合工序中，也可以一边使前端侧销f3的外周面与层差侧面17b稍微接触、一边使平坦面f4与层差底面17a稍微接触。由此，能在尽可能地减少第一铝合金从套主体2向封闭件3混入的同时，还将第四对接部j4牢固地接合。

[第一实施方式的第一变形例]

接着，对第一实施方式的第一变形例的液冷套的制造方法进行说明。如图19所示，在第一变形例中，在使用冷却板进行临时接合工序、第一正式接合工序和第二正式接合工序这点上与第一实施方式不同。在第一实施方式的第一变形例中，以与第一实施方式不同的部分为中心进行说明。

在第一实施方式的第一变形例中，在进行固定工序时，将套主体2固定于工作台k上。工作台k由呈长方体的基板k1、形成于基板k1的四角的夹子k3以及配设在基板k1内部的冷却管wp构成。工作台k将套主体2限制成无法移动，并且是作为权利要求书中的“冷却板”发挥作用的构件。

冷却管wp是埋设在基板k1内部的管状构件。在冷却管wp的内部流通有对基板k1进行冷却的冷却介质。对冷却管wp的配设位置、也就是供冷却介质流动的冷却流路的形状没有特别限制，但在该第一变形例中呈沿着第一正式接合工序中的正式接合用旋转工具f的移动轨迹的平面形状。即，在俯视观察时，以使冷却管wp与第一对接部j1大致重合的方式配设冷却管wp。

在第一变形例的临时接合工序、第一正式接合工序和第二正式接合工序中，在将套主体2固定在工作台k之后，一边使冷却介质在冷却管wp中流动，一边进行摩擦搅拌接合。由此，能将摩擦搅拌时的摩擦热抑制得较低，因此，能减小因热收缩引起的液冷套1的变形。此外，在该第一变形例中，在俯视观察时，冷却流路与第一对接部j1(临时接合用旋转工具及正式接合用旋转工具f的移动轨迹)重合，因此，能够集中对产生摩擦热的部分进行冷却。由此，能提高冷却效率。此外，由于配设冷却管wp以供冷却介质流通，因此，冷却介质的管理变得容易。此外，由于工作台k(冷却板)与套主体2面接触，因此，能提高冷却效率。

另外，也可以使用工作台k(冷却板)对套主体2及封闭件3进行冷却，并且一边使冷却介质在套主体2的内部流动，一边进行摩擦搅拌接合。

[第一实施方式的第二变形例]

接着，对第一实施方式的第二变形例的液冷套的制造方法进行说明。如图20a及图20b所示，在第一实施方式的第二变形例中，在使套主体2的正面侧及封闭件3的正面3a呈凸状的方式弯曲的状态下进行第一正式接合工序和第二正式接合工序这点上与第一实施方式不同。在该第二变形例中，以与第一实施方式不同的部分为中心进行说明。

在该第二变形例中，如图20a所示，使用工作台ka。工作台ka由呈长方体的基板ka1、形成于基板ka1的中央的间隔件ka2和形成于基板ka1的四角的夹子ka3构成。间隔件ka2可以与基板ka1为一体，也可以分体。

在该第二变形例的固定工序中，如图20b所示，通过夹子ka3将进行了临时接合工序而一体化的套主体2及封闭件3固定于工作台ka。通过临时接合工序形成有塑性化区域w。

在将套主体2及封闭件3固定于工作台ka时，套主体2的底部10、周壁端面11a和封闭件3的正面3a以朝上方呈凸状的方式弯曲。更详细而言，套主体2的壁部11a的第一边部21、壁部11b的第二边部22、壁部11c的第三边部23和壁部11d的第四边部24以呈曲线的方式弯曲。

在该第二变形例的第一正式接合工序和第二正式接合工序中，使用正式接合用旋转工具f进行摩擦搅拌接合。在第一正式接合工序和第二正式接合工序中，预先对套主体2及封闭件3中的至少任一方的变形量进行测量，一边根据上述变形量对基端侧销f2以及前端侧销f3的插入深度进行调节，一边进行摩擦搅拌接合。也就是说，以使正式接合用旋转工具f的移动轨迹为曲线的方式使其沿套主体2的周壁端面11a及封闭件3的正面3a的曲面移动。由此，能够使塑性化区域的深度和宽度恒定。

因摩擦搅拌接合的热输入而在塑性化区域发生热收缩，使得液冷套1的封闭件3一侧可能会变形成凹状，但根据该第二变形例的第一正式接合工序和第二正式接合工序，预先呈凸状地固定套主体2及封闭件3，以使拉伸应力作用于周壁端面11a和正面3a，因此，能够通过利用摩擦搅拌接合后的热收缩使液冷套1平坦。

此外，在利用以往的旋转工具进行正式接合工序的情况下，若套主体2及封闭件3翘曲为凸状，则旋转工具的轴肩部会与套主体2及封闭件3接触，从而存在操作性差的问题。但是，在该第二变形例的正式接合用旋转工具f中由于不存在轴肩部，因此，即使在套主体2及封闭件3翘曲为凸状的情况下，正式接合用旋转工具f的操作性也良好。

另外，关于套主体2及封闭件3的变形量的测量，只要使用公知的高度检测装置即可。此外，例如也可以使用装备有检测装置的摩擦搅拌装置，一边对套主体2或封闭件3的变形量进行检测，一边进行第一正式接合工序和第二正式接合工序，上述检测装置对从工作台ka到套主体2和封闭件3中的至少任一方的高度进行检测。

此外，在该第二变形例中，以第一边部21～第四边部24全都为曲线的方式使套主体2及封闭件3弯曲，但并不限定于此。例如，也可以以使第一边部21和第二边部22为直线、以使第三边部23和第四边部24为曲线的方式使套主体2及封闭件3弯曲。此外，例如，也可以以使第一边部21和第二边部22为曲线、第三边部23和第四边部24为直线的方式使套主体2及封闭件3弯曲。

此外，在该第二变形例中，根据套主体2或封闭件3的变形量改变基端销f2及前端侧销f3的高度位置，但也可以将基端侧销f2及前端侧销f3相对于工作台ka的高度设为恒定，并进行第一正式接合工序和第二正式接合工序。

此外，只要能以套主体2及封闭件3的正面侧呈凸状的方式进行固定，则间隔件ka2可以是任意形状。此外，只要能以套主体2及封闭件3的正面侧呈凸状的方式进行固定，则也可以省略间隔件ka2。此外，正式接合用旋转工具f例如也可以安装于在前端包括主轴单元等旋转驱动机构的机器人臂上。根据上述结构，能以各种各样的角度容易地改变正式接合用旋转工具f的旋转中心轴。

[第一实施方式的第三变形例]

接着，对第一实施方式的第三变形例的液冷套的制造方法进行说明。如图21所示，在第一实施方式的第三变形例中，在准备工序中，在使套主体2及封闭件3形成为预先朝正面侧呈凸状弯曲这点上与第一实施方式不同。在第一实施方式的第三变形例中，以与第一实施方式不同的部分为中心进行说明。

在第一实施方式的第三变形例的准备工序中，以使套主体2及封闭件3的正面侧呈凸状弯曲的方式通过铸模形成。由此，套主体2形成为底部10、周壁部11分别在正面侧呈凸状。此外，封闭件3的正面3a形成为呈凸状。

如图22所示，在第三变形例中，在进行固定工序时，将临时接合的套主体2及封闭件3固定于工作台kb。工作台kb由呈长方体的基板kb1、配设于基板kb1的中央的间隔件kb2、形成于基板kb1的四角的夹子kb3和埋设于基板kb1的内部的冷却管wp构成。工作台kb将套主体2限制成无法移动，并且是作为权利要求书中的“冷却板”发挥作用的构件。

间隔件kb2由朝上方呈凸状地弯曲的曲面kb2a和在曲面kb2a的两端形成并从基板kb1立起的竖立面kb2b、kb2b构成。间隔件kb2的第一边部ka及第二边部kb为曲线，第三边部kc及第四边部kd为直线。

冷却管wp是埋设在基板kb1的内部的管状构件。在冷却管wp的内部流通有对基板kb1进行冷却的冷却介质。对冷却管wp的配设位置、也就是供冷却介质流动的冷却流路的形状没有特别限制，但在该第三变形例中呈沿着第一正式接合工序中的正式接合用旋转工具f的移动轨迹的平面形状。即，在俯视观察时，以使冷却管wp与第一对接部j1大致重合的方式配设冷却管wp。

在该第三变形例的固定工序中，通过夹子kb3将进行了临时接合而一体化的套主体2和封闭件3固定于工作台kb。更详细而言，以使套主体2的底部10的背面与曲面kb2a面接触的方式将该套主体2固定于工作台kb。当将套主体2固定于工作台kb时，以使套主体2中的、壁部11a的第一边部21和壁部11b的第二边部22为曲线，且使壁部11c的第三边部23和壁部11d的第四边部24为直线的方式弯曲。

在该第三变形例的第一正式接合工序和第二正式接合工序中，使用正式接合用旋转工具f进行摩擦搅拌接合。在第一正式接合工序和第二正式接合工序中，预先测量套主体2及封闭件3中的至少任一方的变形量，一边根据上述变形量对基端侧销f2以及前端侧销f3的插入深度进行调节，一边进行摩擦搅拌接合。也就是说，以使正式接合用旋转工具f的移动轨迹为曲线或直线的方式使其沿套主体2的周壁端面11a及封闭件3的正面3a移动。由此，能够使塑性化区域的深度和宽度恒定。

因摩擦搅拌接合的热输入而在塑性化区域发生热收缩，使得液冷套1的封闭件3一侧可能会变形成凹状，但根据该第三变形例的第一正式接合工序和第二正式接合工序，预先将套主体2及封闭件3形成为凸状，因此，能够通过利用摩擦搅拌接合后的热收缩，使液冷套1平坦。

此外，在该第三变形例中，使间隔件kb2的曲面kb2a与套主体2的底部10的呈凹状的背面面接触。由此，能一边高效地对套主体2及封闭件3进行冷却，一边进行摩擦搅拌接合。能将摩擦搅拌接合中的摩擦热抑制得较低，因此，能减小因热收缩引起的液冷套的变形。由此，在准备工序中，在将套主体2及封闭件3形成为凸状时，能减小套主体2及封闭件3的曲率。

另外，关于套主体2及封闭件3的变形量的测量，只要使用公知的高度检测装置即可。此外，例如也可以使用装备有检测装置的摩擦搅拌装置，一边对套主体2或封闭件3的变形量进行检测，一边进行正式接合工序，上述检测装置对从工作台kb到套主体2和封闭件3中的至少任一方的高度进行检测。

此外，在该第三变形例中，以使第一边部21和第二边部22为曲线的方式使套主体2及封闭件3弯曲，但并不限定于此。例如，也可以形成具备球面的间隔件kb2，使套主体2的底部10的背面与该球面面接触。在上述情况下，如果将套主体2固定在工作台kb上，则第一边部21～第四边部24全部为曲线。

此外，在该第三变形例中，根据套主体2或封闭件3的变形量改变了基端侧销f2及前端侧销f3的高度位置，但也可以使基端侧销f2及前端侧销f3相对于工作台kb的高度恒定，而进行正式接合工序。

(符号说明)

1液冷套；

2套主体；

3封闭件；

3a正面；

3b背面；

3c外周侧面；

10底部；

11周壁部；

11a周壁端面；

12周壁层差部；

12a层差底面；

12b层差侧面；

13凹部

15支柱；

16突出部

f正式接合用旋转工具(旋转工具)；

f1基轴部；

f2基端侧销；

f3前端侧销；

f4平坦面；

j1第一对接部；

j2第二对接部；

j3第三对接部；

j4第四对接部；

k工作台(冷却板)；

w1塑性化区域；

w2塑性化区域；

wp冷却管。