专利名称：精密零件的清洗方法
技术领域：
本发明涉及一种清洗方法，尤其涉及一种精密零件的清洗方法。
背景技术：
精密零部件表面特别是经过抛光过的金属铝合金表面在经过湿法清洗时，经常会出现 水痕的现象，其本身就会造成零件表面污染，同时改变了精密零部件的表面特征。
现有技术中，水痕可通过金属抛光液等去除，但是使用抛光液的同时可能破坏了零部 件表面的损伤和整体均匀性。
发明内容
本发明的目的是提供一种既能有效除去水痕，又不会损伤零件表面的精密零件的清洗 方法。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的 本发明的精密零件的清洗方法，包括步骤
A、 用无尘纸蘸有机溶剂擦拭精密零件表面；
B、 采用超声清洗精密零件表面；
C、 采用醋酸铵、醋酸和硫酸铝的混合溶液清洗精密零件表面。
由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的精密零件的清洗方法，由于先 用无尘纸蘸有机溶剂擦拭精密零件表面；再用用超声清洗精密零件表面；再用采用醋酸 铵、醋酸和硫酸铝的混合溶液清洗精密零件表面。既能有效除去水痕，又不会损伤零件表 面。
具体实施例方式
本发明的精密零件的清洗方法，其较佳的具体实施方式
是，包括，
步骤l、用无尘纸蘸有机溶剂擦拭精密零件表面。所述的有机溶剂可以是异丙醇、乙 醇或丙酮中的一种或多种，也可以是其它的有机溶剂。
步骤2、采用超声清洗精密零件表面。
可以首先用20 — 30千赫的超声，在水温小于等于20'C的18兆去离子水中进清洗20 — 30 分钟；
再用35 — 45千赫的超声，在水温为40 — 70。C的18兆去离子水中进行清洗20 — 30分钟。 采用超声清洗时，超声能量密度小于等于30瓦/加仑。 根据需要也可以采用其它的超声清洗的工艺。
步骤3、采用醋酸铵、醋酸和硫酸铝的混合溶液清洗精密零件表面，混合溶液中各组 份的含量为1%-2%醋酸铵，5%-6%醋酸，3%_4%硫酸铝。
在步骤1之前，可以首先用超纯水对精密零件表面进行喷淋，并用氮气将精密零件表 面吹干。
同样步骤3之后，也可以用超纯水对精密零件表面进行喷淋，并用氮气将精密零件表 面吹干，再进行烘干。烘干的温度为80 12(TC，时间为1 1.5小时。
一个具体实施例，清洗半导体加工设备腔室内的阳极氧化层，包括步骤
1、 在室温下使用超纯水(电阻》18Q/cm)喷淋阳极氧化层表面至少5分钟，可去除 表面一些吸附性较低的颗粒污染物，然后用带有过滤器(0.05-0.1 ym)的氮气枪吹干表 面。
2、 使用电子级异丙醇来去除腔室阳极氧化层表面的有机杂质，其他的有机溶剂如果 符合要求也可以使用，如乙醇、丙酮等，但前提是不能造成阳极氧化件的再次污染；再用 超纯水冲洗，并用N2枪吹干。
3、 放入超声槽中以较低频率(10-26KHz)进行大颗粒的去除，超声20分钟，超纯水 水温为20。C以下，超声能量密度小于30瓦/加仑，零件与托板之间垫有无尘布以防止水 印。超声槽中的超纯水在空气中暴露时间超过20分钟，需要更换，超水中溶有C02量随着时 间的延长，其与貼结合生成恥03也会增加，在超声波清洗的情况下，可能会使零部件表面 产生水痕；同时，以较低的温度下进行超声波清洗，可大大降低水痕产生的可能。
4、 零件放入超声槽中以较高频率(30-45KHz)进行精洗，超声20-30分钟，18兆去离 子水水温为40-7(TC，超声能量密度小于30瓦/加仑，零件与托板之间垫有无尘布以防止水 印。具体与步骤3相似。
5、 在含有1%_5%的醋酸铵、1%_10%的醋酸、1%-8。/。的硫酸铝溶液中浸泡5-10min后，用 粗糙度较低的菜瓜布或无尘布擦拭，再用超纯水冲洗。其中醋酸钹与醋酸形成酸性的缓蚀 液去除铝合金表面的污染物，硫酸铝可抑制和防止铝合金表面铝的溶解。采用此清洗液不 仅可有效的清洗铝部件非保护处理的表面，特别是密封面上，不会产生清洗后的表面粗糙 度变化的问题而影响密封性能。清洗液中各组分更合适的含量为1%-2%醋酸铵、5%-6%醋
酸、3%-4%硫酸铝。
6、 超纯水喷淋陶瓷零部件表面，并用带有过滤器的N2枪吹干零部件表面，无尘布擦拭。
7、 在80 120'C的温度下，烘干1.5 2. 5小时。
本发明先用无尘纸蘸有机溶剂擦拭精密零件表面；再用用超声清洗精密零件表面；再 用采用醋酸铵、醋酸和硫酸铝的混合溶液清洗精密零件表面。是一种快速而简便的水痕去 除和避免水痕的有效方法，既能有效除去水痕，又不会损伤零件表面。主要适用于半导体 加工设备中铝合金零部件的清洗，也适用于对其它精密零件的清洗。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任 何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都 应涵盖在本发明的保护范围之内。
权利要求
1、一种精密零件的清洗方法，其特征在于，包括步骤A、用无尘纸蘸有机溶剂擦拭精密零件表面；B、采用超声清洗精密零件表面；C、采用醋酸铵、醋酸和硫酸铝的混合溶液清洗精密零件表面。
2、 根据权利要求l所述的精密零件的清洗方法，其特征在于，所述的步骤A之前，首 先用超纯水对精密零件表面进行喷淋，并用氮气将精密零件表面吹干。
3、 根据权利要求l所述的精密零件的清洗方法，其特征在于，所述的有机溶剂包括以 下至少一种溶剂异丙醇、乙醇、丙酮。
4、 根据权利要求l所述的精密零件的清洗方法，其特征在于，所述的步骤C之后还包 括，用超纯水对精密零件表面进行喷淋，并用氮气将精密零件表面吹干，再进行烘干。
5、 根据权利要求4所述的精密零件的清洗方法，其特征在于，所述对精密零件表面进 行烘干的温度为80 12(TC，时间为1 1. 5小时。
6、 根据权利要求l所述的精密零件的清洗方法，其特征在于，所述的歩骤B包括，首 先用20 — 30千赫的超声清洗20 — 30分钟，再用35 — 45千赫的超声清洗20 — 30分钟。
7、 根据权利要求6所述的精密零件的清洗方法，其特征在于，所述采用20 — 30千赫的 超声清洗时，在水温小于等于2(TC的18兆去离子水中进行。
8、 根据权利要求6所述的精密零件的清洗方法，其特征在于，所述采用35 — 45千赫的 超声清洗时，在水温为40 — 70。C的18兆去离子水中进行。
9、 根据权利要求1或6所述的精密零件的清洗方法，其特征在于，采用超声清洗时， 超声能量密度小于等于30瓦/加仑。
10、 根据权利要求l所述的精密零件的清洗方法，其特征在于，所述的醋酸铵、醋酸和 硫酸铝的混合溶液中各组份的含量为1%_2%醋酸铵，5%-6%醋酸，3%-4%硫酸铝。
全文摘要
本发明公开了一种精密零件的清洗方法，首先用无尘纸蘸有机溶剂擦拭精密零件表面；然后用超声清洗精密零件表面；再用采用醋酸铵、醋酸和硫酸铝的混合溶液清洗精密零件表面，清洗前后用超纯水进行清洗。这是一种快速而简便的水痕去除和避免水痕的有效方法，既能有效除去水痕，又不会损伤零件表面。主要适用于半导体加工设备中铝合金零部件的清洗，也适用于对其它精密零件的清洗。
文档编号C23G1/02GK101381877SQ200710121340
公开日2009年3月11日 申请日期2007年9月4日 优先权日2007年9月4日
发明者朱哲渊, 翔 童 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司