专利名称：一种有盖的蒸镀用的石英舟的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种石英舟。
技术背景目前，实验中普遍使用的石英舟没有封盖，在蒸镀过程中，药品由石英舟的开 口蒸出从而完成镀膜过程，实验后保存时，石英舟开口处易被灰尘或杂质污染镀膜 材料，通常的解决办法是使用铝箔封口，但这种方法操作麻烦，不易操作。发明内容为克服现有石英舟装备的这一缺陷和不足，本产品立足于保护和节省实验药品， 又保证产品简便易行，便于操作，弥补实验药品过快蒸发，不易保存的技术难题。 本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是-在石英舟上加装一个封盖，在封盖上中央对称开有两个或四个小孔均布。 封盖为水晶圆形封盖，封盖下侧有止口，止口与石英舟内延形成动配合。外直径为12mm的石英舟，其盖上所开的两个或四个小孔的孔径为2mm，小孔之 间距为8mm。主要用来蒸发贵重材料，例如并五苯，这样可以更容易控制它的蒸发速度，只 让材料从小孔出来，可以节约材料。实验后保存时，封盖也起到了隔离灰尘杂质的 作用，材料基本上封在样品舟中不会与空气中的水、氧发生反应。本实用新型的有益效果是在现有石英舟基础上添加新的装置，保证了现有石 英舟功能不受影响，又能起到节约药品便于保存的效果，且本产品与现有石英舟应 用范围一致，保证了良好的兼容性。
图l为现有石英舟主视图。图2为现有石英舟俯视图。图3为封盖主视图。图4为封盖俯视图。
具体实施方式
以附图为实施方式对本实用新型作进一步说明在现有的石英舟上加装一个封盖，在封盖上中央对称开有两个或四个小孔均布。 封盖为水晶圆形封盖，封盖下侧有止口，止口与石英舟内延形成动配合。对于外直 径为12ram的石英舟，其盖上所开的两个或四个小孔的孔径为2mm，小孔之间距为8mm。实验前将药品置于石英舟底部，并加封盖。对称开的两个或四个小孔，保证蒸镀过程中药品蒸汽的正常流通。 通过实验对比表明，影响蒸镀速度的首要因素为温度而非小孔直径，因此在此量级上的小孔直径对于蒸镀速度无显著影响，蒸镀过程中，药品蒸汽受封盖阻碍，只能从小孔处蒸出，比未加封盖时有效减缓蒸镀速率。
权利要求1.一种有盖的蒸镀用的石英舟，其特征是在石英舟上加装一个封盖，在封盖上中央对称开有两个或四个小孔均布。
2. 根据权利要求l所述的一种有盖的蒸镀用的石英舟，其特征是封盖为 水晶圆形封盖，封盖下侧有止口，止口与石英舟内延形成动配合。
3. 根据权利要求1或2所述的一种有盖的蒸镀用的石英舟，其特征是外直径为12mm的石英舟，其盖上所开的两个或四个小孔的孔径为2mm，小孔之间 足巨为8mm。
专利摘要一种有盖的蒸镀用的石英舟，它是在现有的石英舟上加装了一个封盖，在封盖上中央对称开有两个或四个小孔均布，封盖为水晶圆形封盖，封盖下侧有止口，止口与石英舟内延形成动配合。主要用来蒸发贵重材料，该石英舟可以控制药品的蒸发速度，只让药品从小孔蒸出，以节约材料。实验后保存药品时，封盖隔离灰尘杂质，防止药品与空气中的水、氧发生反应而变质。
文档编号C23C14/24GK201016121SQ20072010389
公开日2008年2月6日 申请日期2007年3月20日 优先权日2007年3月20日
发明者翔 万, 宋晶路, 张福俊, 远 李, 李庆彤, 贾恩博, 赵谡玲, 旭 顾 申请人:北京交通大学