反应室观测窗及使用其的反应室的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种反应室观测窗，供装设于反应室腔体侧壁上，包含遮板与透明板。遮板连接于反应室腔体侧壁并具有第一观测口及一外侧面；透明板设置于该外侧面的一侧，并自该外侧面覆盖第一观测口。透明板上并定义至少一第一观测区与一第二观测区，该第一观测区与该第二观测区至少部分不重叠。透明板相对于遮板定义至少一第一观测位置及一第二观测位置；当透明板位于第一观测位置时，其第一观测区覆盖第一观测口，当透明板位于第二观测位置时，其第二观测区覆盖第一观测口。本发明的反应室观测窗，具有较长的使用效期、较佳的镀材防着或防镀能力且具有较佳的玻璃利用率。
【专利说明】反应室观测窗及使用其的反应室
【技术领域】
[0001]本发明有关于一种观测窗结构；具体而言，本发明有关于一种用于反应室且具挡止结构的观测窗。
【背景技术】
[0002]观测窗可装设于容器、腔体、或者房室的壁上，藉此使用者或操作者得以看到容器内、腔体内、或者房室内的情况如反应情形、制造过程、机器的运作。特别是当该反应、该制造、或者该运作中的机器可能因该容器、腔体、或房室的开启而受到影响时，观测窗帮助外部的使用者或操作者判断空间内部的情形而作出反应。举例来说，该腔体可为蒸镀机腔体；工作人员可由观测窗观察蒸镀过程。
[0003]然而，在蒸镀的过程中，镀着材料可能附着于观测窗上，使得工作人员不再能透过观测窗看见腔体内的情形。为避免此一状况，可将一种具有遮板的观测窗装设在腔体上。如图1A所示，公知观测窗8包含第一遮板2、第二遮板4、以及窗玻璃6。第一遮板2、第二遮板4、以及窗玻璃6依序排列，其中第一遮板2设置于第二遮板4朝向腔体内的一侧而至少具有全开及全闭两种状态，如图1B所示。第一遮板的全闭是指其遮蔽第二遮板4与窗玻璃6，其中第二遮板4与窗玻璃6全部投影于第一遮板2 ;当第一遮板2全开时,暴露窗玻璃6的至少一部分，使工作人员得经由窗玻璃6看见腔体内部。另一方面，第二遮板4由两约呈半圆形的片体组成；两半圆 形片体的至少其一可相对另一者转动，如图1B所示，因此工作人员可经由窗玻璃6透过片体之间约呈扇形的缺口看见腔体内部，其中第二遮板4在扇形缺口以外的部分遮挡窗玻璃6，藉以在第一遮板2全开时避免镀着材料附着或镀上窗玻璃6。然而，镀着材料仍可经由第二遮板4与窗玻璃6之间的间隙g抵达窗玻璃上，因此防止镀材附着或镀上窗玻璃的效果有待改善。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于提供一种反应室观测窗，具有较长的使用效期。
[0005]本发明的另一目的在于提供一种反应室观测窗，具有较佳的镀材防着或防镀能力。
[0006]本发明的另一目的在于提供一种反应室观测窗，具有较佳的玻璃利用率。
[0007]本发明提供一种反应室观测窗，供装设于反应室腔体侧壁上，包含遮板与透明板。遮板连接于反应室腔体侧壁并具有第一观测口及一外侧面；透明板设置于该外侧面的一侦牝并自该外侧面覆盖第一观测口。透明板上并定义至少一第一观测区与一第二观测区，该第一观测区与该第二观测区至少部分不重叠。透明板相对于遮板定义至少一第一观测位置及一第二观测位置；当透明板位于第一观测位置时，其第一观测区覆盖第一观测口，当透明板位于第二观测位置时，其第二观测区覆盖第一观测口。
[0008]本发明提供一种反应室，包含反应腔体侧壁及前述反应室观测窗。反应腔体侧壁具有观测孔，可供反应室观测窗的遮板位于其内且连接于反应腔体侧壁。[0009]以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1A-1C所示为公知观测窗的示意图；
[0011]图2所示为本发明反应室观测窗实施例的分解图；
[0012]图3A~3D所示为本发明反应室观测窗实施例的示意图；
[0013]图4为图2所示实施例的组合侧视图；
[0014]图5所示为本发明反应室观测窗另一实施例的分解图；
[0015]图6为图5所示实施例的组合图；
[0016]图7所示为图6所示实施例沿A-A线的剖视图；
[0017]图8所示为本发明反应室实施例的局部分解图；
[0018]图9A所示本发明反应室实施例的局部剖视图；
[0019]图9B与IOA~IOB所示为本发明反应室其他实施例的局部剖视图；以及
[0020]图11所示为本发明反应室另一实施例的示意图。
[0021]其中，附图标记
[0022]10反应室观测窗
[0023]100 遮板
[0024]130 第一观测口
[0025]150外侧面
[0026]200透明板
[0027]210第一观测区
[0028]2沈第二观测区
[0029]300 轴杆
[0030]330 螺纹
[0031]360环状突缘
[0032]371、372 容置槽
[0033]400观测窗本体
[0034]430 第二观测口
[0035]450 侧壁
[0036]470中心孔
[0037]610第一密封环
[0038]620第二密封环
[0039]70反应室
[0040]700反应腔体侧壁
[0041]710观测孔
[0042]712内壁面
[0043]714外壁面
[0044]800 盖板
[0045]90 隔板[0046]2第一遮板
[0047]4第二遮板
[0048]6窗玻璃
[0049]8观测窗
[0050]Pl第一观测位置
[0051]P2第二观测位置
[0052]C 圆心
[0053]G 间隙
[0054]g 间隙
【具体实施方式】
[0055]下面结合附图和具体实施例对本发明技术方案进行详细的描述，以更进一步了解本发明的目的、方案及功效，但并非作为本发明所附权利要求保护范围的限制。
[0056]如图2所示实施例，本发明的反应室观测窗包含遮板100与透明板200，且可供装设于一壁上，如反应腔体的侧壁上。以图8与9A所示为例，反应腔体侧壁700可形成有孔，且反应室观测窗10设置于反应腔体侧壁700上形成有孔之处，其中该孔例如为观测孔710。反应室观测窗10的遮板100可为不透明板体亦可为透明板体，且一般是朝向腔体内而设置。透明板200设置于遮板100背向腔体的一侧；此外，遮板100可直接或间接连接于壁/反应腔体侧壁。
[0057]再者，反应室观测窗10进一步包含轴杆300，贯穿遮板100及透明板200 ;遮板100及透明板200并可藉由轴杆300而连接。举例来说，轴杆300穿过透明板200与遮板100的中心。此外，轴杆300可决定透明板200相对于遮板100的位置，或者限制透明板200相对遮板100运动的范围。
[0058]详细来说，如图3A所示，遮板100具有第一观测口 130及外侧面150，其中所谓「观测口」可为例如形成于遮板100上，且使用者的目光可通过的穿孔。作为观测口的穿孔较佳具有封闭的边缘，即观测口较佳不开口于遮板100的边缘；此外，考量使用者的视线，观测口可形成各种形状，但较佳为圆形。以图8与9A所示为例，当反应室观测窗10装设于反应腔体的侧壁700形成有该孔如观测孔710之处，观测口如第一观测口 130包含在孔的范围内且不为反应腔体侧壁700所遮挡；其中遮板100较佳以其接近外缘至最外缘的部分直接或间接连接于反应室腔体侧壁。透明板200设置于遮板100的外侧面150的一侧，并覆盖第一观测口 130，其中透明板200较佳并且紧贴遮板100的外侧面150设置，且外侧面150上较佳可设有如不织布等纤维层或其他可清洁透明板200表面的材料，以在透明板200与遮板100相对旋转时同时洁透明板200表面。
[0059]如图3B所示，透明板200上定义至少二个至少部分不重叠的观测区，举例来说，定义有第一观测区210与第二观测区220 ;以图所示为例，第一观测区210与第二观测区220相邻而不重叠。此外，透明板200于遮板100的外侧面150的设置并定义了透明板200相对于遮板100的观测位置。透明板200相对于遮板100不同的观测位置可藉由例如透明板200相对于遮板100的移动或转动而得；如图3B所示，透明板200具有至少一第一观测位置P1。以图所示为例，当透明板200位于第一观测位置Pl时，透明板200以第一观测区210覆盖第一观测口 130 ;换句话说，透明板200的观测区因第一观测口 130而存在，且第一观测口 130的形状及大小大致可决定观测区的形状与大小。
[0060]在本发明较佳实施例中，透明板200可相对遮板100进行同轴转动。举例来说，透明板200可以其中心作为转动轴心；其中当透明板200及遮板100皆为圆形时，则较佳透明板200的圆心迭合于遮板100的圆心而紧贴设置于外侧面150。当透明板200及遮板100皆为圆形，且透明板200的径长小于遮板100的径长时，遮板100的外侧面150的最外缘部分较佳伸出透明板200的周缘，此时遮板100可以其外侧面150接近外缘至最外缘的部分直接或间接连接于反应室腔体的侧壁，无碍透明板200的转动。
[0061]较佳来说，如图3B~3D所示，以圆心C作为转动轴心的透明板200有沿着圆周方向排列的第一观测区210与第二观测区220;当透明板200转动时，各观测区在圆周方向上相对遮板100的第一观测口 130移动。以图所示为例，当透明板200位于如图3B所示的第一观测位置Pl时，透明板200标记有黑色三角形的一第一观测区210覆盖第一观测口 130 ；当透明板200自第一观测位置Pl逐渐旋转至位于第二观测位置P2时(可见黑色三角形位置的改变，如图3B~3D所示)，透明板200 —第二观测区220覆盖第一观测口 130，如图3D所示。
[0062]图3B~3D示意透明板200具有不相重叠但彼此紧邻的第一观测区210与第二观测区220时的情形；其中第一观测区210与第二观测区220的数量可依第一观测口 130的大小而不同。如图所示，透明板200上定义有六个观测区，包含交互排列的第一观测区210及第二观测区220 ;此时，透明板200的60度转动可使其自第一观测位置Pl旋转至位于第二观测位置P2。在其 他实施例中，透明板200可有部分重叠的第一观测区210与第二观测区220，此时透明板200更小角度的转动(例如小于60度)即可使其自第一观测位置Pl旋转至位于第二观测位置P2。
[0063]如图4所示，反应室观测窗10的轴杆300贯穿遮板100及透明板200。进一步来说，轴杆300穿透透明板200作为转动轴心的中心；此外，轴杆300可进一步穿透遮板100的中心。轴杆300并可决定透明板200相对于遮板100的位置，或者限制透明板200相对遮板100运动的范围。在透明板200与遮板100皆为圆形且透明板200的径长小于遮板100的径长的例子中，无论透明板200旋转至哪一位置，透明板200不会超出遮板100的周缘，且遮板100的最外缘部分皆伸出透明板200的周缘一特定的距离。
[0064]轴杆300可包含径向伸出的环状突缘360，位于透明板200相对于遮板100的另一侧。如图2与4所示，当轴杆300贯穿遮板100及透明板200且与该两者连接时，环状突缘360可推抵透明板200 ;此外，举例来说，轴杆300上可形成有螺纹330，供紧固元件如螺帽自轴杆300邻近遮板100的一端套入轴杆300而与之螺合，并与环状突缘360 —同使遮板100与透明板200呈彼此紧贴的状态。反应室观测窗10可进一步包含密封材如第一密封环610设置于环状突缘360与透明板200间。第一密封环610会受到透明板200与环状突缘360的挤压，贴触透明板200，藉此加强环状突缘360与透明板200间的密合度。当轴杆300以其轴心旋转时，可带动第一密封环610连动透明板200相对遮板100旋转；其中第一密封环610与透明板200间的摩擦力大于透明板200与外侧面150间的摩擦力。环状突缘360上可形成容置槽371供容纳第一密封环610 ;藉此，第一密封环610可较佳地定位于环状突缘360上，另一方面，可增加第一密封环610与环状突缘360的接触面积。[0065]再者，轴杆300的旋转可藉由使用者的操作而实现，其中当反应室观测窗10装设于反应腔体的侧壁上时，轴杆300的操作端可位在远离遮板100的一端。另一方面，使用者可操作轴杆300来改变透明板200覆盖第一观测口 130的区域，例如将透明板200由第一观测位置Pl改为在第二观测位置P2 ;藉此，与第一观测区210至少部分不重叠的第二观测区220覆盖第一观测口 130。当透明板200的一观测区镀上或附着有例如镀着材料时，转动透明板200可将该观测区移离开第一观测口 130，并使未镀上/着上镀着材料的观测区覆盖第一观测口 130，即减低更换观测窗或透明板的频率。
[0066]本发明实施例的反应室观测窗10进一步包含观测窗本体,如图5~8所不,设置于透明板200相对于遮板100之另一侧。观测窗本体400可具有一面延伸方向实质与遮板100及透明板200平行，并且具有第二观测口 430与遮板100的第一观测口 130对应，其中第二观测口 430较佳大于第一观测口 130。再者，观测窗本体400可与遮板100相连，例如观测窗本体400部分朝遮板100延伸而与遮板100抵接；其中遮板100与观测窗本体400的连接处较佳以其接近外缘至最外缘的部分较佳。在本发明中，包含遮板100、透明板200，以及观测窗本体400的反应室观测窗10可供装设于一壁上，如反应腔体的侧壁上；其中遮板100及/或观测窗本体400可直接或间接与该壁/反应腔体侧壁连接，例如当反应室观测窗10由遮板100及/或观测窗本体400固定于壁/反应腔体侧壁上的情况。
[0067]另一方面，遮板100与观测窗本体400的至少其一具有侧壁朝另一者延伸，并封闭遮板100及观测窗本体400间间隙的侧边。如图5~8所示实施例，观测窗本体400具有侧壁450。观测窗本体400并以其侧壁450朝向透明板200及遮板100的方式，来设置于透明板200相对于遮板100的另一侧。较佳而言，侧壁450将延伸经过透明板200的侧缘外而抵达遮板100的外侧面150接近外缘至最外缘的部分；换句话说，透明板200投影在遮板100的范围内，且周围有侧壁450将其框在其中。例如在透明板200及遮板100皆为圆形，且透明板200的径长小于遮板100的径长的实施例中，当透明板200的圆心C迭合于遮板100的圆心C而设置于遮板100的外侧面150时，透明板200投影在遮板100的范围内。
·[0068]观测窗本体400的形状不限，然而在本发明较佳实施例中，侧壁450可进一步形成有与透明板200或透明板200与遮板100相应的形状。举例来说，在透明板200及遮板100皆为圆形的实施例中，侧壁450较佳为圆形；当侧壁450的内壁面围成的圆大于该透明板200且小于遮板100，以及侧壁450外壁面围成的圆小于遮板100的投影范围时，可供用来将透明板200框在其中，并抵接于遮板100的外侧面150接近外缘至最外缘的部分。此外，当侧壁450接抵遮板100时，侧壁450相对遮板100较佳呈直立延伸状态，且围构等径的圆。
[0069]在其他实施例中，侧壁或可形成于遮板100的外侧面而向观测窗本体400延伸。当透明板200紧贴设置于遮板100的外侧面150时，遮板100的侧壁较佳将透明板200框在其中。
[0070]本发明实施例的反应室观测窗10进一步包含轴杆穿透观侧窗本体400。轴杆穿透观侧窗本体400后可供与透明板200或透明板200与遮板100连接；藉此，该轴杆的旋转可带动透明板200旋转，或/及藉以决定观测窗本体400与透明板200或透明板200与遮板100的相对位置。
[0071]在本发明较佳实施例中，穿透反应室观侧窗10的轴杆可为贯穿遮板100及透明板200的轴杆300，亦即以单一轴杆300贯穿遮板100、透明板200、以及观测窗本体400。在遮板100、透明板200、以及观测窗本体400之间的相对位置依据轴杆300贯穿遮板100、透明板200、及/或观测窗本体400的部位而确定之下，本发明反应室观测窗便于在前述壁或反应腔体的侧壁上的装设。较佳而言，观测窗本体400形成有中心孔470，且轴杆300通过中心孔470设置，亦即轴杆300较佳位于包含遮板100、透明板200、以及观测窗本体400的反应室观侧窗10的中心。此设计的结果通常包含令反应室观侧窗10的重心位于其中心位置，便于反应室观侧窗10的装设。
[0072]此外，如前所述，轴杆300形成的螺纹可供紧固元件如螺帽套入轴杆300而与之螺合。如图5~8所示实施例，螺帽自轴杆300邻近观测窗本体400的一端套入轴杆300，并使观测窗本体400具有其侧壁450接抵遮板100的状态。此外，如图7所示，环状突缘360可位于前述间隙G内；在其他实施例中，观测窗本体400或可于朝向透明板200的一侧形成有容置槽容纳该环状突缘360。
[0073]反应室观测窗10可进一步包含密封材如第二密封环620设置于轴杆300与观测窗本体400之间；且当轴杆300通过中心孔470时，第二密封环620实质位于轴杆300与中心孔470的内壁间。第二密封环620会受到轴杆300与中心孔470的内壁的挤压，且贴触轴杆300与中心孔470的内壁，藉此加强轴杆300与观测窗本体400间的密合度。当轴杆300旋转时，第二密封环620维持轴杆300与观测窗本体400间的气密性。环状突缘360上可形成容置槽372供容纳第二密封环620 ;藉此，第二密封环620可较佳地定位于轴杆300上，另一方面，可增加第二密封环620与轴杆300的接触面积。
[0074]如前所述，「观测口」为遮板100上或观测窗本体400上使用者的目光可通过的孔。当反应室观测窗10装设于反应腔体的侧壁上时，使用者透过反应室观测窗10而可见到腔体内的景象；其中使用者的目光依序通过第二观测口 430、透明板200、以及第一观测口 130。在本发明较佳实施例中，反应室观测窗10包含观测口盖板800，其可盖合第二观测口 430，其效果可包含例如隔开透明板200及使用者所在的外部环境；观测口盖板800并可于观测窗本体400相反于透 明板200的一侧盖合于第二观测口 430，其效果可包含例如便于使用者操作盖合或更换。此外，观测口盖板800可为透明，并可固定盖合第二观测口 430。
[0075]如图8所示，本发明的反应室70包含前述的反应室观测窗10 ;该反应室70形成腔体，且该反应腔体具有一反应腔体侧壁700，其上设置有反应室观测窗10。
[0076]进一步来说，反应腔体侧壁700具有观测孔710。当反应室观测窗10装设于该反应腔体侧壁700时，反应室观测窗10的至少部分与反应腔体侧壁700连接。反应室观测窗10可与反应腔体侧壁700连接于反应腔体侧壁700的内壁面及/或外壁面，及/或连接于观测孔710的孔壁。在图9A所示的实施例中，观测窗本体400大体上嵌设于观测孔710内，遮板100则伸入腔体内且与反应腔体侧壁700的内壁面712连接；其中遮板100以其接近外缘至最外缘的部分连接于反应腔体侧壁700的内壁面712。
[0077]在其他实施例中，如图9B所示，观测窗本体400的部分如包含侧壁450的部分，与遮板100 —同嵌设于观测孔710内；其中遮板100以其接近外缘至最外缘的部分连接于观测孔710的孔壁，且透明板200亦位于观测孔710内。此外，观测窗本体400具有侧壁450的一侧则可贴设于反应腔体侧壁700的外壁面714，减少空间的占用。
[0078]在其他实施例中，如图1OA所示实施例，反应室观测窗10的观测窗本体400大体上嵌设于观测孔710内而与反应腔体侧壁700连接；其侧壁450以及与侧壁450抵接的遮板100则伸入腔体内。此时，遮板100藉由观测窗本体400而与反应腔体侧壁700间接连接。除了嵌设于观测孔710内，反应室观测窗10亦可对应观测孔710设置于反应腔体侧壁700上。如图1OB所示实施例，反应室观测窗10藉其遮板100连接于反应腔体侧壁700的外壁面714 ;其中遮板100以其接近外缘至最外缘的部分连接于反应腔体侧壁700的外壁面 714。
[0079]在图11所示的实施例中，反应室70可进一步包含隔板90设置于遮板100朝向腔体内的一侧。隔板90可相对反应室观测窗10移动或转动，藉以遮蔽遮板100及透明板200，或使遮板100及透明板200可面朝腔体内。 [0080]当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
【权利要求】
1.一种反应室观测窗，供装设于一反应腔体侧壁上，其特征在于，该反应室观测窗包含: 一遮板，连接于该反应腔体侧壁，并具有一第一观测口及一外侧面；以及一透明板，设置于该外侧面之一侧，并自该外侧面覆盖该第一观测口 ；其中，该透明板上定义至少一第一观测区与一第二观测区，且该第一观测区与该第二观测区至少部分不重置; 其中，该透明板相对于该遮板定义至少一第一观测位置及一第二观测位置；当该透明板位于该第一观测位置时，该透明板以该第一观测区覆盖该第一观测口 ；当该透明板位于该第二观测位置时，该透明板以该第二观测区覆盖该第一观测口。
2.如权利要求1所述的反应室观测窗，其特征在于，该透明板紧贴于该外侧面上。
3.如权利要求1所述的反应室观测窗，其特征在于，进一步包含: 一轴杆，穿透该透明板及该遮板的中心，其中该轴杆包含径向伸出的一环状突缘位于该透明板相对于该遮板的另一侧；以及 一第一密封环，设置于该环状突缘及该透明板间，并为该环状突缘及该透明板所挤压；其中，当该轴杆旋转时，即带动该第一密封环连动该透明板相对于该遮板旋转。
4.如权利要求3所述的反应室观测窗，其特征在于，该透明板紧贴于该外侧面上，且该第一密封环与该透明板间的摩擦力大于该透明板及该外侧面间的摩擦力。
5.如权利要求1所述 的反应室观测窗，其特征在于，该第一观测口为该遮板上边缘封闭的一穿孔。
6.如权利要求1所述的反应室观测窗，其特征在于，该透明板以接近外缘的部分直接或间接地连接于该反应室腔体侧壁。
7.如权利要求6所述的反应室观测窗，其特征在于，进一步包含一观测窗本体设置于该透明板相对于该遮板的另一侧，该观测窗本体具有一第二观测口与该第一观测口相对应；其中，该遮板以接近外缘的部分连接该观测窗本体，以间接连接至该反应室腔体侧壁。
8.如权利要求7所述的反应室观测窗，其特征在于，该遮板及该观测窗本体至少其一具有一侧壁朝另一者延伸，并封闭该遮板及该观测窗本体间间隙的侧边。
9.如权利要求7所述的反应室观测窗，其特征在于，进一步包含 一轴杆，穿透该观测窗本体的一中心孔；以及 一第二密封环，设置于该轴杆及该中心孔的内壁间，并为该轴杆及该中心孔的内壁所挤压；其中，当该轴杆旋转时，该第二密封环维持该轴杆及该观测窗本体间的气密性。
10.如权利要求7所述的反应室观测窗，其特征在于，进一步包含一观测口盖板，自该观测窗本体相反于该透明板的一侧盖合于该第二观测口 ；其中该观测口盖板为透明。
11.一种反应室，其特征在于，包含: 一反应腔体侧壁，具有一观测孔； 一遮板，位于该观测孔内且连接于该反应腔体侧壁，并具有一第一观测口及一外侧面；以及 一透明板，位于该观测孔内且设置于该外侧面的一侧，并自该外侧面覆盖该第一观测口 ；其中，该透明板上定义至少一第一观测区与一第二观测区，且该第一观测区与该第二观测区至少部分不重叠；其中，该透明板相对于该遮板定义至少一第一观测位置及一第二观测位置；当该透明板位于该第一观测位置时，该透明板以该第一观测区覆盖该第一观测口 ；当该透明板位于该第二观测位置时，该透明板以该第二观测区覆盖该第一观测口。
12.如权利要求11所述的反应室，其特征在于，该透明板紧贴于该外侧面上。
13.如权利要求11所述的反应室，其特征在于，进一步包含 一轴杆，穿透该透明板及该遮板的中心，其中该轴杆包含径向伸出的一环状突缘位于该透明板相对于该遮板的另一侧；以及 一第一密封环，设置于该环状突缘及该透明板间，并为该环状突缘及该透明板所挤压；其中，当该轴杆旋转时，即带动该第一密封环连动该透明板相对于该遮板旋转。
14.如权利要求13所述的反应室，其特征在于，该透明板紧贴于该外侧面上，且该第一密封环与该透明板间的摩擦力大于该透明板及该外侧面间的摩擦力。
15.如权利要求11所述的反应室，其特征在于，该第一观测口为该遮板上边缘封闭的一穿孔。
16.如权利要求11所述的反应室，其特征在于，该透明板以接近外缘的部分直接或间接地连接于该反应室腔体侧壁。
17.如权利要求16所述的反应室，其特征在于，进一步包含一观测窗本体设置于该透明板相对于该遮板的另一侧并连接该反应室腔体侧壁，该观测窗本体具有一第二观测口与该第一观测口相对应；其中，该遮板以接近外缘的部分连接该观测窗本体，以间接连接至该反应室腔体侧壁。
18.如权利要求17所述的反应室，其特征在于，该遮板及该观测窗本体至少其一具有一侧壁朝另一者延伸，并封闭该遮板及该观测窗本体间间隙的侧边。`
19.如权利要求17所述的反应室，其特征在于，进一步包含 一轴杆，穿透该观测窗本体的一中心孔；以及 一第二密封环，设置于该轴杆及该中心孔的内壁间，并为该轴杆及该中心孔的内壁所挤压；其中，当该轴杆旋转时，该第二密封环维持该轴杆及该观测窗本体间的气密性。
20.如权利要求17所述的反应室，其特征在于，进一步包含一观测口盖板，自该观测窗本体相反于该透明板的一侧盖合于该第二观测口 ；其中该观测口盖板为透明。
【文档编号】C23C14/52GK103789742SQ201310697991
【公开日】2014年5月14日 申请日期:2013年12月18日 优先权日:2013年8月13日
【发明者】江淋梁 申请人:友达光电股份有限公司