一种对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置的制作方法

文档序号:15012852发布日期:2018-07-24 22:52阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置,其包括靶材、镀膜室壳体、镀膜室门、加热管、工件架,其中,镀膜室壳体与镀膜室门结合形成镀膜室,镀膜室包括多个平行于所述镀膜室的中心轴线并且依次邻接的矩形面,靶材与靶材加热管间隔分布在镀膜室的多个矩形面上,靶材与镀膜室的外壁可拆卸式连接,加热管连接于所述镀膜室的内壁;镀膜室壳体内具有镀膜室底板,镀膜室底板上安装有与电机连接的齿轮轴,齿轮轴的两侧分别设有导轨,所述工件架底部设有滑轮和驱动杆,所述工件架通过所述滑轮滑动到所述导轨上从而进入所述镀膜室,并且所述镀膜室底板上的所述齿轮轴与所述工件架底部的所述驱动杆连接并传递动力,实现所述工件架的旋转运动。

技术研发人员:吴雁;王犁;王彦瑞;王开发;张而耕
受保护的技术使用者:上海应用技术大学
技术研发日:2018.04.02
技术公布日:2018.07.24
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