多层式屏蔽的制作方法

本发明提供一种多层式屏蔽，特别是指一种在oled面板蒸镀制程中所使用的多层式屏蔽。

背景技术：

请参阅图1，图1所绘示为金属屏蔽10的示意图。有机发光oled(organiclight-emittingdiode)面板被喻为次世代面板，其具有为自发光、广视角、高对比度、高反应速率、高彩饱和度等特性，故全球无不对oled面板寄以厚望。目前生产oled面板主要技术为真空蒸镀制程。此技术是将气化材料(例如为有机材料或金属材料)放置于可加热的坩锅内，并在高度真空的条件下，将坩锅升温加热使该气化材料升华，让该气化材料沉积于特定的基板8上，以形成一均匀薄膜。上述中，还须将有开孔(图像开口)的金属屏蔽10(metalmask)放置在一基板(未绘示)下，以控制该气化材料分布。详细来说，该气化材料就只会沉积在没有被金属屏蔽10所盖住的部位，且在该基板上形成必要的图案。

金属屏蔽10的组件包括多个金属薄片11与一金属框架12，金属薄片11具有多个开口区域13，且每一个开口区域13是经由多个图像开口130所组成。为防止重力对金属薄片11所产生的下垂变形量，须对金属薄片11施以平行张力，以形成表面平整，再固定于金属框架12。其中，金属薄片11是以电铸或化学蚀刻方式所制成。接着，利用张网设备将每一个金属薄片11的两端施以平行张力，以达到金属薄片11的表面平整后，并与金属框架12进行对准。之后，以雷射焊接方式将每一个金属薄片11固定于金属框架12，以完成整个金属屏蔽10。此过程即为业界所习知的张网制程，因为在oled的真空蒸镀制程中，为达到所要求的生产精度规格，金属薄片11的上缘必须平整密贴于该基板的下缘。因此，张网制程的张力控制的是让金属薄片11的形成表面平整的重要因素。然而，金属薄片11会因其开口区域13内的图像开口130会让金属薄片11成为非均一的薄片，所以在张力拉伸的过程中，容易造成应力不均或应力集中的现象，而使金属薄片11发生边缘翘曲或图像开口130产生变形，而增加张网制程的困难。

若使用较厚金属薄片11或允许较大间距的图像开口130，都可以在张网制程中减少金属薄片11发生边缘翘曲或图像开口130变形的现象。然而，使用较厚金属薄片11，意味着蒸镀死角(deadspace)也会变大，会使真空蒸镀制程中所产生的阴影效应(shadoweffect)更为显著，而无法生产高画素oled面板。

此外，当金属屏蔽10用于生产高画素oled面板时，则金属薄片11的图像开口130的间距会变得更小，以达到高分辨率画质的目的。然而，间距小的图像开口130会使金属薄片11的整体结构强度变得脆弱。在原先相同张力下，间距小的图像开口130更容易产生形变或断裂的现象，导致无法生产高画素oled面板。

此外，现有的金属屏蔽10多为镍、铁、钴等相关金属合金所制成。因此，若温度高于摄氏60度时，金属薄板11的热膨胀变形也成为提高oled面板分辨率的另一项技术瓶颈。

因此，如何让金属薄片在张网制程中平整其表面，及让小间距的图像开口不易产生形变或断裂的改善，是实现高画素的oled面板的生产重要课题，更是本领域具有通常知识的人值得去思量地。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种多层式屏蔽，多层式屏蔽能让小间距的图像开口不易产生形变或断裂的改善，实现高画素的oled面板的生产。

本发明的多层式屏蔽包括一金属框架、至少一第一金属薄片及至少一第二薄片。第一金属薄片固设于该金属框架内，第一金属薄片包括多个第一开口区域。第二薄片重叠于该第一金属薄片，该第二薄片包括多个第二开口区域，且每一个第二开口区域经由多个第二图像开口所组成。其中，当第二薄片重叠于该第一金属薄片时，第二开口区域重叠于该第一开口区域。

在上所述的多层式屏蔽，其中该第二薄片还包括至少一蜂窝结构；其中，当该第二薄片重叠于该第一金属薄片时，该蜂窝结构的位置不重叠于该第一开口区域。

在上所述的多层式屏蔽，其中第二薄片该蜂窝结构为常规六边形蜂窝结构、单边内凹六边形蜂窝结构或对边内凹六边形蜂窝结构。

在上所述的多层式屏蔽，其中第一金属薄片相邻的第一开口区域与第一开口区域之间包括至少一凸肋。

在上所述的多层式屏蔽，其中凸肋的横截面呈「v」字形或「u」字形的态样。

在上所述的多层式屏蔽，还包括至少一涂层，涂层则涂布于该第二薄片的上表面。

在上所述的多层式屏蔽，其中涂层为可被磁吸的铁镍合金薄层。

在上所述的多层式屏蔽，其中该第一金属薄片为invar合金(镍元素量36％的特殊钢)，且该第一金属薄片的厚度小于25um。

在上所述的多层式屏蔽，其中该第二薄片为invar合金(镍元素量36％的特殊钢)或线性热膨胀系数小于10ppm/℃的工程塑料薄膜，且该第二薄片的厚度小于10um。

在上所述的多层式屏蔽，当该第二薄片为工程塑料薄膜时，则需一可被磁吸的涂层。

在上所述的多层式屏蔽，其中工程塑料薄膜聚酰亚胺(pi)。

为让本发明的上述目的、特征和优点更能明显易懂，下文将以实施例并配合所附图示，作详细说明如下。

附图说明

图1所绘示为金属屏蔽10的示意图。

图2所绘示为第一实施例的多层式屏蔽20的结构爆炸图。

图3所绘示为蜂窝结构的放大示意图。

图4所绘示为不同形式的蜂窝结构231的示意图。

图5所绘示为第二实施例的多层式屏蔽40。

图6所绘示为第一金属薄片41的示意图。

图7所绘示为第三实施例的多层式屏蔽50。

具体实施方式

请参阅图2及图3，图2所绘示为第一实施例的多层式屏蔽20的结构爆炸图，图3所绘示为蜂窝结构231的放大示意图。多层式屏蔽20包括一金属框架22、多个第一金属薄片21及多个第二薄片23。其中，第一金属薄片21是固设于金属框架22内，第一金属薄片21包括多个第一开口区域210，且第一金属薄片例如为invar合金(镍元素量36％的特殊钢)，第一金属薄片21的厚度小于25um。此外，第二薄片23是重叠于第一金属薄片21，第二薄片例如为invar合金(镍元素量36％的特殊钢)。并且，第二薄片23包括多个第二开口区域230及至少一蜂窝结构231，每一个第二开口区域230是经由多个第二图像开口232所组成。其中，当第二薄片23重叠于第一金属薄片21时，第二开口区域230的所在位置会重叠于第一开口区域210，而蜂窝结构231的位置是不重叠于该第一开口区域210。因此，第一金属薄片21便能覆盖住蜂窝结构231。上述中，第一金属薄片21及第二薄片23均设有多个对位孔24，且当第二薄片23重叠于第一金属薄片21时，对位孔24用于帮助第一金属薄片21及第二薄片23在该张网设备进行对位。

另外，请参阅图4，图4所绘示为不同形式的蜂窝结构231的示意图，蜂窝结构231是属于一种零泊松比(poisson'sratio)的网格结构，蜂窝结构231的形式例如为常规六边形蜂窝结构、单边内凹六边形蜂窝结构或对边内凹六边形蜂窝结构(请参阅图4)。如此一来，在张力拉伸第二薄片23的过程中，蜂窝结构231可以让非受力方向的变形量减少，故第二薄片23也不易发生边缘翘曲或第二图像开口232产生形变的情况。

此外，由于第二薄片23是重叠于第一金属薄片21，所以已固设于金属框架12的第一金属薄片21在张网制程中的张力也能形成足够的支撑力来支撑第二薄片23。这样一来，第二薄片23只需考虑第二图像开口232的细致，不须考虑自体产生的下垂量的问题(第二图像开口232不易形变或断裂)。因此，第二薄片23的材质也能选用低热膨胀的工程塑料薄膜，例如线性热膨胀系数小于10ppm/℃的工程塑料薄膜，且该第二薄片23的厚度也能小于10um。这样一来，便能制作出更细致的第二图像开口232，进而达到更高画素的oled面板的生产。上述中，第二薄片22的工程塑料薄为膜聚酰亚胺(pi)。此外，本领域通常知识者能得知，第二薄片22的材质除了为工程塑料薄膜之外，也可以是业界常用的金属材质。

请参阅图5及图6，图5所绘示为第二实施例的多层式屏蔽40，图6所绘示为第一金属薄片41的示意图。多层式屏蔽40与多层式屏蔽20的差异在于：多层式屏蔽40的第一金属薄片41的第一开口区域410与第一开口区域410之间还包括一凸肋412。其中，凸肋412的横截面呈「v」字形或「u」字形的态样(在图6中是呈现「v」字形的态样)。上述中，第一金属薄片41在进行第一开口区域410制作过程前，需先避开要制作第一开口区域410的区域，在非第一开口区域410的区域先进行成型作业，使其表面产生一个的图案或线条(也就是凸肋412)，再接续制作第一开口区域410。如此一来，当第一金属薄片41的四周被施以「v」字形、「u」字形的凸肋412，能有效强化结构，以对应更大的张力。第一金属薄片此外，凸肋412还能减少第一金属薄片41的重力下垂变形量及所需补偿下垂量的水平张力。并且，当凸肋412增强第一金属薄片41的强度时，第一金属薄片41更能支撑着位于上方的第二薄片23。如此一来，也会加强多层式屏蔽40整体结构的强度。

请参阅图7，图7所绘示为第三实施例的多层式屏蔽50，多层式屏蔽50与多层式屏蔽40的差异在于：多层式屏蔽50还包括至少一涂层52，涂层52是涂布于第二薄片23的上表面。具体来说，涂层52会涂布于第二开口区域230及蜂窝结构231上，且涂层52为可被磁吸的铁镍合金薄层。此外，由于现行蒸镀机为使该基板与金属屏蔽紧密贴合，通常会使用具有电磁铁的机构让金属屏蔽更密合于该基板。因此，具有磁吸特性的涂层52(铁镍合金薄层)还可以帮助多层式屏蔽50被该电磁铁的机构所吸附。

综上所述，本发明的多层式屏蔽利用多层式的薄片结构及蜂窝结构来防止图像开口的断裂与形变，还能使用间距更小的图像开口。因此，本发明的多层式屏蔽能实现高画素的oled面板的生产良率。

上述实施例仅是为了方便说明而举例，虽遭所属技术领域的技术人员任意进行修改，均不会脱离如权利要求书中所欲保护的范围。