蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备的制作方法

本公开涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备。

背景技术

随着显示技术的发展，具有更快反应速度和更高对比度的有机发光二极管显示器件的用途愈加广泛，且其制作工艺也越来越引起了人们的重视。其中，蒸镀是一种比较成熟的制作有机发光二极管显示器件的工艺，且已经运用于量产。

在蒸镀过程中，常常需要移动坩埚，以使坩埚中的液体可以沉积在不同的基板上。但是，在移动坩埚的过程中，容纳于蒸镀坩埚中的液体会发生震荡，进而对蒸镀速率的稳定性和镀膜的均一性造成影响。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现要素：

本公开的目的在于提供一种蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备，能够减弱液体的震荡幅度，还能够提高使用灵活性。

根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀坩埚。所述蒸镀坩埚包括埚体和多个隔板。所述埚体具有容置腔，所述容置腔具有开放端。多个所述隔板可拆卸地设于所述容置腔中，并沿预设方向分布，以将所述容置腔分隔为多个容置空间。

在本公开的一种示例性实施例中，所述埚体包括底壁和两端开放的筒状侧壁，所述底壁与所述筒状侧壁的一端连接以形成所述容置腔，多个所述隔板均与所述筒状侧壁和所述底壁接触。

在本公开的一种示例性实施例中，多个所述隔板均与所述筒状侧壁的内表面滑动连接。

在本公开的一种示例性实施例中，所述筒状侧壁的内表面设有多个滑槽，多个所述隔板能够一一对应地与多个所述滑槽滑动配合。

在本公开的一种示例性实施例中，所述筒状侧壁的内表面设有多个凸棱，多个所述滑槽一一对应地形成于多个所述凸棱。

在本公开的一种示例性实施例中，每个所述隔板设有通道。

在本公开的一种示例性实施例中，相邻的所述隔板上的所述通道在预设方向上错开设置。

在本公开的一种示例性实施例中，所述隔板靠近所述底壁的边缘具有缺口，所述通道由所述缺口和所述底壁围设而成。

根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀源装置，包括上述任一项所述的蒸镀坩埚。

根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀设备，包括上述的蒸镀源装置。

本公开相比现有技术的有益效果在于：

一方面，通过用隔板将容置腔分隔为多个容置空间，进而使存在于容置腔中的液体被收容于多个容置空间，而单个容置空间内的液体质量轻，惯性小，从而降低了液体重心的偏移程度，减弱了液体的震荡幅度；另一方面，由于隔板可拆卸地设于埚体的容置腔中，从而能够方便调节隔板的数量，提高使用灵活性。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

通过参照附图来详细描述其示例性实施例，本公开的上述和其它特征及优点将变得更加明显。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为相关技术中蒸镀坩埚的示意图；

图2为相关技术中蒸镀坩埚的工作示意图；

图3为本公开实施方式中蒸镀坩埚的示意图；

图4为图3中蒸镀坩埚的俯视图；

图5为图4的a-a剖视图；

图6为图4所示的b处放大图；

图7为图6的分解示意图；

图8为本公开实施方式中隔板和底壁的示意图。

图中：1、第一位置；2、第二位置；3、第一基板；4、第二基板；5、埚体；501、筒状侧壁；502、底壁；6、隔板；7、凸棱；8、通道；9、滑槽。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施例使得本公开将全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法等。在其它情况下，不详细示出或描述公知技术方案以避免模糊本公开的各方面。

用语“一”、“该”和“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。

如图1和图2所示，在相关的制备有机发光二极管显示器件的工艺中，需要对第一基板3和第二基板4进行镀膜。因此，需要蒸镀坩埚在第一位置1和第二位置2间移动。但是，蒸镀坩埚在加速及减速过程中，蒸镀坩埚中的液体的重心会发生偏移，从而导致液体发生震荡、飞溅，进而对蒸镀速率的稳定性和镀膜的均一性造成影响。

为了解决上述问题，本公开实施方式提供一种蒸镀坩埚。如图3至图5所示，该蒸镀坩埚可以包括埚体5和多个隔板6。其中：

埚体5可以具有容置腔。该容置腔可以具有开放端。多个隔板6可拆卸地设于容置腔中，并可以沿预设方向分布，以将容置腔分隔为多个容置空间。

本公开实施方式的蒸镀坩埚通过用隔板6将容置腔分隔为多个容置空间，进而使存在于容置腔中的液体被收容于多个容置空间，而单个容置空间内的液体质量轻，惯性小，从而降低了液体重心的偏移程度，减弱了液体的震荡幅度，降低了液体震荡对蒸镀速率和镀膜均一性的影响。同时，由于隔板6可拆卸地设于埚体5的容置腔中，从而能够方便调节隔板6的数量，提高使用灵活性。

下面对本公开实施方式的蒸镀坩埚的各部分进行详细说明：

如图3至图5所示，埚体5可以包括筒状侧壁501和底壁502。该筒状侧壁501的两端可以为开放端，且一个开放端可以与底壁502连接，以形成容置腔。其中：

该筒状侧壁501可以由耐高温材料制备而成，以延长筒状侧壁501在高温蒸镀环境下的工作寿命。该耐高温材料可以为石墨或氮化硼，但不以此为限，还可以为白金等其它材料。该筒状侧壁501的横截面可以为矩形，当然，该横截面还可以为圆形、梯形等，在此不再一一列举。此外，本公开实施方式对筒状侧壁501的壁厚不做特殊限定。

该底壁502也可以由耐高温材料制备而成。该底壁502可以与筒状侧壁501的材料相同，也可以不同。举例而言，该底壁502的材料为氮化硼。该底壁502的形状可以与筒状侧壁501的横截面的形状一致，其尺寸可等于或大于筒状侧壁501的横截面的尺寸，以使筒状侧壁501的横截面在底壁502上的正投影不伸出底壁502的边缘。

容置腔由筒状侧壁501与底壁502围设而成，可用于容纳液体。其中，容置腔的内壁可以设有不沾涂层，方便操作人员在蒸镀完成后对容置腔的内壁进行清洁，避免不同的蒸镀材料互相污染，影响蒸镀膜的质量。其中，该不沾涂层可以为聚四氟乙烯涂层，但不以此为限，还可以为陶瓷涂层等。

筒状侧壁501的开放端与底壁502可以密封连接，以避免容置腔中的液体漏液。例如，该筒状侧壁501的开放端与底壁502的连接面之间涂有耐高温密封胶。当然，该筒状侧壁501的开放端与底壁502还可以通过焊接等其它方式实现密封连接。在本公开其它实施方式中，该筒状侧壁501还可以与底壁502一体成型，在此不对其一体成型方式做特殊限定。

如图3至图5所示，隔板6可设于容置腔中，以将容置腔分隔为多个容置空间。隔板6可以由石墨或磷化硅制备而成，以使其具有良好的耐高温性能，当然，隔板6还可以由碳化硼或氮化硅等其它具有良好耐高温性能的材料制备而成。隔板6可以为平板，但不以此为限，还可以为弧形板等，只要能将容置腔分隔为多个容置空间即可。此外，该隔板6的数量可以为一个、两个或三个，但不以此为限，还可以是更多个，且多个隔板6可以沿着预设方向分布。该预设方向可以与底壁502平行。在本公开其它实施方式中，该预设方向还可以垂直于底壁502。

上述的隔板6可以与筒状侧壁501和底壁502均接触。其中，该隔板6可以与底壁502垂直，当然，也可以不垂直。在隔板6与筒状侧壁501和底壁502均接触时，隔板6远离底壁502的边缘距底壁502的距离可以与筒状侧壁501的高相同，但不以此为限，也可以小于筒状侧壁501的高或大于筒状侧壁501的高。需要说明的是，隔板6远离底壁502的边缘距底壁502的距离应避免该边缘被容置腔中的液体所淹没。在本公开其它实施方式中，该隔板6可以仅与上述的筒状侧壁501接触，而不与底壁502接触。其中，该隔板6可以与底壁502平行，当然，该隔板6也可以不与底壁502平行。

以由底壁502和横截面为矩形的筒状侧壁501围设而成的容置腔为例，该容置腔内设有三个平板，该三个平板均与上述的筒状侧壁501和底壁502接触，且均与底壁502垂直，同时还沿与底壁502平行的方向分布。其中，与底壁502平行的方向可以为筒状侧壁501的横截面的长度方向，以将容置腔在横截面的长度方向上分隔为四个容置空间。此时，当蒸镀坩埚沿着横截面的长度方向移动时，所设置的平板能够降低容置腔中的液体的震荡幅度。当然，与底壁502平行的方向可以为筒状侧壁501的横截面的宽度方向，可以将容置腔在横截面的宽度方向上分隔为四个容置空间。此时，当蒸镀坩埚沿着与横截面的宽度方向移动时，所设置的平板能够降低容置腔中的液体的震荡幅度。

隔板6可固定设于容置腔中，当然，隔板6也可以可拆卸地设于容置腔内，从而可以灵活地调整容置腔中隔板6的数量，并方便对隔板6进行维护和保养，延长隔板6的使用寿命。

一实施方式中，在隔板6与筒状侧壁501和底壁502均接触时，隔板6可以与筒状侧壁501的内表面滑动连接，并能够通过容置腔的开放端滑入容置腔内，以与底壁502接触。当然，该隔板6也能够通过容置腔的开放端从容置腔内滑出。其中，该筒状侧壁501的内表面设有滑槽，该隔板6能够与该滑槽滑动配合。当然，该隔板6也可以设有滑槽，该筒状侧壁501的内表面可以设有与该滑槽配合的凸起。

具体而言，如图6和图7所示，该筒状侧壁501的内表面设有多个凸棱7，每个凸棱7上都形成有滑槽9。其中，该凸棱7可以沿筒状侧壁501的轴线方向延伸，该滑槽9可以与筒状侧壁501的轴线平行。隔板6能够通过滑槽9远离底壁502的一端滑入或滑出滑槽9。该凸棱7的长度可等于筒状侧壁501的高度或小于筒状侧壁501的高度，凸棱7的高度和宽度在此不做特殊限定。该凸棱7的横截面可以为矩形或梯形，但不以此为限，还可以为三角形等其它形状。该凸棱7的数量可以与隔板6数量相同，当然，也可以大于隔板6的数量。该凸棱7可以由钛合金制备而成，以使其具有较高的强度和良好的耐高温性能，在本公开其它实施方式中，该凸棱7还可以由碳纤维等其它材料制备而成。此外，该凸棱7可以通过焊接连接于筒状侧壁501，但不以此为限，也可以通过粘结或卡接等其它方式连接于筒状侧壁501，当然，凸棱7与筒状侧壁501也可以一体成型，在此不对其一体成型方式做特殊限定。

在另一实施方式中，该容置腔的底壁502可以设有销钉，该隔板6可以设有能够与销钉配合的销孔。通过该销钉和销孔的配合，从而能够将隔板6设于容置腔中。该销钉的数量可以为两个、三个或多个，具体可根据隔板6的尺寸而定，隔板6的尺寸越大，所需的销钉的数量越多。在本公开其它实施方式中，该隔板6还可以通过其它方式可拆卸地设于容置腔内，在此不再一一列举。

如图8所示，隔板6设有通道8，以连通相邻的容置空间，进而能够使容纳于相邻的容置空间内的液体可以进行质量传递和热量传递。一个隔板6上的通道8数量可以为一个、两个或四个，当然，也可以是更多个，具体可根据质量传递和热量传递的要求而定。其中，质量传递和热量传递所要求的速度越大，隔板6上通道8的数量可越多。当然，在通道8的数量不变的情况下，可以通过调节通道8的尺寸来达到质量传递和热量传递的要求。需要说明的是，隔板6上的通道8数量不应过多，避免过多的通道8数量降低隔板6对液体的防震荡效果。在一个隔板6上的通道8数量为一个时，该通道8可以靠近隔板6的边缘，当然，也可以远离隔板6的边缘。其中，在隔板6与筒状侧壁501和底壁502均接触时，该通道8可以位于隔板6靠近底壁502的边缘；在隔板6仅与筒状侧壁501接触而不与底壁502接触时，该通道8可以位于远离隔板6的边缘，例如，隔板6的中心部位。具体而言，在隔板6在容置腔中与筒状侧壁501和底壁502均接触，隔板6靠近底壁502的边缘具有缺口，该通道8由该缺口和底壁502围设而成。此外，相邻的隔板6上的通道8在预设方向上错开设置，从而增大了液体从一个通道8到达另一个通道8的距离，在流速不变的情况下延长了液体之间接触时间，进而能够使质量传递和热量传递可以充分进行。

本公开实施方式还提供一种蒸镀源装置。该蒸镀源装置包括上述任一实施方式所述的蒸镀坩埚。同时，还可以包括加热器。该加热器可以用于加热蒸镀坩埚中的液体。当然，还可以包括其它部件，在此不再详述。本公开实施方式的蒸镀源装置采用的蒸镀坩埚与上述蒸镀坩埚的实施方式中的蒸镀坩埚相同，因此，具有相同的有益效果，在此不再赘述。

本公开实施方式还提供一种蒸镀设备。该蒸镀设备包括上述实施方式所述的蒸镀源装置。当然，该蒸镀设备还可以包括蒸镀室，用于容纳蒸镀源装置，但不以此为限，还可以包括气泵等其他部件，在此不再一一列举。本公开实施方式的蒸镀设备采用的蒸镀源装置与上述蒸镀源装置的实施方式中的蒸镀源装置相同，因此，具有相同的有益效果，在此不再赘述。

本领域技术人员在考虑说明书及实践后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由所附的权利要求指出。