PVD电弧离子镀检测烧弧装置的制作方法

本实用新型属于PVD电弧离子镀技术领域，尤其涉及一种PVD电弧离子镀过程检测烧弧的PVD电弧离子镀检测烧弧装置。

背景技术：

多弧离子镀是PVD技术中应用最广泛的一种，过程是在真空条件下，利用气体放电使工作气体或蒸发物质部分离化，在工作气体离子或被蒸发物质的离子轰击作用下，把蒸发材料或者反应后的物质沉积在被镀物品表面的过程。其蒸发结构有水冷阴极、引弧电极、磁场、屏蔽罩等组成。其中屏蔽罩起到约束弧斑，避免弧斑运行到靶的侧面及阴极座的重要装置，其与靶的间隙约在1毫米左右，太小或者太大都会引起不良后果，鉴于离子镀过程中是采用低电压高电流的方式来维持弧光放电过程，如果在屏蔽罩和靶之间由于膜层沉积累或膜层掉入形成短路，会使弧斑跑到屏蔽罩上放电蒸发，烧融屏蔽罩（无冷却水）甚至绝缘材料，使杂质材料蒸发出来，导致膜层不良。

为此，市场上需要一种可以及时检测到烧弧现象，以切断电源，避免屏蔽罩和其他部件烧融的PVD电弧离子镀检测烧弧装置。

技术实现要素：

针对上述不足，本实用新型的目的在于，提供一种结构设计巧妙、合理，能检测到烧弧现象，以及时切断电源，避免屏蔽罩和其他部件烧融的PVD电弧离子镀检测烧弧装置。

为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案是：一种PVD电弧离子镀检测烧弧装置，其包括绝缘座、直流中间继电器、引入电杆、连接片和连接螺杆，连接片的一端通过连接螺杆固定在屏敝罩的边缘，所述绝缘座对应连接片的另一端位置固定在弧靶底座上，该绝缘座上设有用来安装所述引入电杆的安装孔，引入电杆固定该安装孔上，且该引入电杆的一端与连接片的另一端相连接，引入电杆的另一端与直流中间继电器相连接，直流中间继电器与电弧电源相连接。

作为本实用新型的一种改进，所述直流中间继电器的工作线圈负极端与引入电杆相连接，直流中间继电器的工作线圈正极端与真空炉体相连接，直流中间继电器的输出端与电弧电源相连接。

作为本实用新型的一种改进，所述直流中间继电器与电弧电源的连接线路上设有辅助触点。

作为本实用新型的一种改进，所述安装孔的孔壁上设有内螺纹，引入电杆的中部设有该内螺纹相适配的外螺纹，引入电杆拧入内螺纹后，并使该引入电杆的一端面顶压在连接片的另一端内表面上。

作为本实用新型的一种改进，所述连接片的一端设有与所述连接螺杆相连接的螺纹孔，所述屏敝罩的边缘位置设有与所述连接螺杆相连接的螺纹孔。

本实用新型的有益效果为：本实用新型的结构设计巧妙、合理，在工作状态下，电弧靶和绝缘座相对于真空炉体的电压约为20～25V之间。正常状态下，屏蔽罩和引入电杆对真空炉体无电压，直流中间继电器不动作；当屏蔽罩有烧弧现象时，直流中间继电器动作，进而切断电弧电源的控制线路，电弧靶停止工作，避免了烧弧现象进一步发生，不仅可以避免屏蔽罩完全烧熔的问题，减少损失，还可以避免烧到绝缘材料，不产生大量杂质气体，避免工件污染，另外整体结构简单，易于实现，利于广泛推广应用。

下面结合附图与实施例，对本实用新型进一步说明。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

实施例：参见图1，本实施例提供的一种PVD电弧离子镀检测烧弧装置，其包括绝缘座1、直流中间继电器2、引入电杆3、连接片4和连接螺杆5，真空炉体6的炉壁上通过弧靶底座7设置有电弧靶8，在电弧靶8的周缘位置设有屏敝罩9。所述连接片4的一端设有与所述连接螺杆5相连接的螺纹孔，屏敝罩9的边缘位置设有与所述连接螺杆5相连接的螺纹孔。使连接片4上的螺纹孔与屏敝罩9上的螺纹孔相对正，然后将连接螺杆5依次拧入连接片4上的螺纹孔与屏敝罩9上的螺纹孔，实现通过连接螺杆5将连接片4的一端固定在屏敝罩9的边缘位置，所述绝缘座1对应连接片4的另一端位置固定在弧靶底座7上。具体的，在弧靶底座7上设有用来安装绝缘座1的装配孔，绝缘座1通过螺纹配合方式或过盈配合方式固定在弧靶底座7的装配孔上，然后再在绝缘座1和弧靶底座7的配合之间涂覆有绝缘密封胶。

所述绝缘座1上设有用来安装所述引入电杆3的安装孔，所述安装孔的孔壁上设有内螺纹，引入电杆3的中部设有该内螺纹相适配的外螺纹，引入电杆3拧入内螺纹后，并使该引入电杆3的一端面顶压在连接片4的另一端内表面上。所述直流中间继电器2的工作线圈负极端与引入电杆3相连接，直流中间继电器2的工作线圈正极端与真空炉体6相连接，直流中间继电器2的输出端与电弧电源10相连接。

工作时，电弧靶8和绝缘座1相对于真空炉体6的电压约为20～25V之间。正常状态下，屏蔽罩和引入电杆3对真空炉体6无电压，直流中间继电器2不动作；当屏蔽罩有烧弧现象时，也就是屏蔽罩与电弧靶8有了短路现象时，导致其与电弧靶8的电位相等，通过连接片4和引入电杆3的电传导后，直流中间继电器2线圈上有20V左右的电压，直流中间继电器2动作，进而切断电弧电源的控制线路，电弧靶8停止工作，有效避免了烧弧现象进一步发生，确保使用安全。较佳的，还在所述直流中间继电器2与电弧电源的连接线路上设有辅助触点10，作为控制回路电源开关使用。当辅助触点10闭合时，PVD电弧离子镀检测烧弧装置工作。当辅助触点11断开时，PVD电弧离子镀检测烧弧装置停止工作。给使用带来方便，满足不同的使用需求。

根据上述说明书的揭示和教导，本实用新型所属领域的技术人员还可以对上述实施方式进行变更和修改。因此，本实用新型并不局限于上面揭示和描述的具体实施方式，对本实用新型的一些修改和变更也应当落入本实用新型的权利要求的保护范围内。此外，尽管本说明书中使用了一些特定的术语，但这些术语只是为了方便说明，并不对本实用新型构成任何限制，采用与其相同或相似结构的其它装置，均在本实用新型保护范围内。