一种镀膜防污染辅助装置的制作方法

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜防污染辅助装置。

背景技术：

众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能，真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺；

镀膜机使用一段时间后需要对内腔进行清洁，但是现有技术中大多是通过擦拭的方法进行清洁，灰尘清除的效果不是很好，真空镀膜设备在进行镀膜的时候，灰尘落在基板上，灰尘会影响镀膜的效果和质量。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种镀膜防污染辅助装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种镀膜防污染辅助装置，包括镀膜室，所述镀膜室的内部设置有抽气口与进气口，且抽气口位于进气口的一侧，所述镀膜室外壁的两侧均设置有进出口，所述镀膜室外壁的两侧靠近进出口的位置均对称连接有电动推杆，且电动推杆位于进出口的上方，所述电动推杆加长杆的端部固定连接有衔接杆，所述衔接杆远离电动推杆的一端焊接有箱体，且箱体穿过进出口延伸至镀膜室内，所述箱体外壁远离衔接杆的一侧沿高度方向连接有固定板，所述箱体内壁的一侧靠近固定板的位置连接有滑轨，所述滑轨上滑动连接有滑块，所述箱体的内部设置有齿轮，所述齿轮的中心轴固定连接有凸轮，所述齿轮的上方设置有移动杆，所述移动杆之间设置有连接杆，所述滑块外壁的一侧固定连接有推动杆。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述箱体内壁的一侧靠近滑轨的位置沿高度方向开设有开口，所述推动杆远离滑块的一端穿过开口延伸至箱体外。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述推动杆为垂直弯折结构，且推动杆垂直方向的一端固定连接有纤维布。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述连接杆的两端均通过销轴分别与移动杆和凸轮转动连接，所述固定板外表面连接有玻璃板，且玻璃板与纤维布接触。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述移动杆与滑块固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述箱体内壁的一侧连接有伺服电机，并且伺服电机的驱动端与齿轮的中心轴固定连接。

本实用新型具有如下有益效果：该镀膜防污染辅助装置，在使用时，通过设置的齿轮、凸轮、移动杆、连接杆、滑轨、纤维布与玻璃板，齿轮转动带动凸轮转动，凸轮转动的时候会带动移动杆上下移动，移动杆带动滑块上下滑动从而使得推动杆带动纤维布在玻璃板上来回的摩擦，纤维布与玻璃板在来回摩擦的时候会产生静电，此时在静电的作用下会吸附镀膜室内的灰尘颗粒，相对减少灰尘在镀膜过程中对基板或者镀膜材料污染，提高镀膜的质量，实用性更强。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种镀膜防污染辅助装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种镀膜防污染辅助装置图1中A处的放大视图；

图3为本实用新型提出的一种镀膜防污染辅助装置箱体的侧视图。

图例说明：

1、镀膜室；2、抽气口；3、进气口；4、进出口；5、电动推杆；6、衔接杆；7、箱体；8、固定板；9、滑轨；10、滑块；11、玻璃板；12、齿轮；13、凸轮；14、移动杆；15、连接杆；16、销轴；17、推动杆；18、开口；19、纤维布。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种镀膜防污染辅助装置，包括镀膜室1，镀膜室1的内部设置有抽气口2与进气口3，且抽气口2位于进气口3的一侧，镀膜室1外壁的两侧均设置有进出口4，镀膜室1外壁的两侧靠近进出口4的位置均对称连接有电动推杆5，且电动推杆5位于进出口4的上方，电动推杆5加长杆的端部固定连接有衔接杆6，衔接杆6远离电动推杆5的一端焊接有箱体7，且箱体7穿过进出口4延伸至镀膜室1内，箱体7外壁远离衔接杆6的一侧沿高度方向连接有固定板8，箱体7内壁的一侧靠近固定板8的位置连接有滑轨9，滑轨9上滑动连接有滑块10，箱体7的内部设置有齿轮12，齿轮12的中心轴固定连接有凸轮13，齿轮12的上方设置有移动杆14，移动杆14之间设置有连接杆15，滑块10外壁的一侧固定连接有推动杆17。

箱体7内壁的一侧靠近滑轨9的位置沿高度方向开设有开口18，给推动杆17移动的空间，推动杆17远离滑块10的一端穿过开口18延伸至箱体7外；推动杆17为垂直弯折结构，且推动杆17垂直方向的一端固定连接有纤维布19，推动杆17连接纤维布19能够实现与玻璃板11的摩擦接触产生静电；连接杆15的两端均通过销轴16分别与移动杆14和凸轮13转动连接，使得凸轮13在转动的过程中能够带动移动杆14来回移动，固定板8外表面连接有玻璃板11，且玻璃板11与纤维布19接触，纤维布19与玻璃板11摩擦更容易产生静电，吸附灰尘；移动杆14与滑块10固定连接，移动杆14来回移动从而带动滑块10在滑轨9上滑动；箱体7内壁的一侧连接有伺服电机，并且伺服电机的驱动端与齿轮12的中心轴固定连接，伺服电机带动齿轮12转动，进而一步步实现纤维布19在玻璃板11上摩擦。

工作原理：在使用镀膜防污染辅助装置时，在镀膜室1使用一段时间后，启动电动推杆5，电动推杆5带动箱体7从进出口4内进入镀膜室1内，伺服电机带动齿轮12转动，齿轮12转动带动凸轮13转动，凸轮13在转动的同时在连接杆15的作用下会带动移动杆14上下移动，同时滑块10在来回滑动的过程中带动推动杆17上的纤维布19在玻璃板11上来回摩擦，纤维布19与玻璃板11来回摩擦产生静电，在静电的作用下会吸附镀膜室1内的灰尘颗粒，减少灰尘在镀膜过程中给基板和镀膜材料带来的污染，提高镀膜的质量，除尘完毕后，电动推杆5带动箱体7收回，将进出口4封闭，进行镀膜，有一定的实用性。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。