一种节能环保型天然气退火炉的制作方法

本实用新型涉及天然气退火炉技术领域，具体为一种节能环保型天然气退火炉。

背景技术：

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

天然气退火炉是对加工物件进行退货工序的设备，然而天然气退火炉在使用的过程中，设备会产生大量的热量，然而一般的设备不具备收集热量的功能，导致热量会散发到空气中，浪费了大量的资源，故而提出一种节能环保型天然气退火炉来解决上述问题。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种节能环保型天然气退火炉，具备回收热量，加以利用，节省能源等优点，解决了一般的设备不具备收集热量的功能，导致热量会散发到空气中，浪费了大量的资源的问题。

(二)技术方案

为实现上述回收热量，加以利用，节省能源的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种节能环保型天然气退火炉，包括炉体，所述炉体的内底壁固定安装有支撑座，所述支撑座的顶部活动连接有集渣箱，所述炉体的上下两侧内壁均通过隔板固定连接，两个所述隔板的内部开设有出渣孔，所述炉体的内壁固定安装有固定板，所述固定板的内部固定安装有通风管，所述固定板的底部且位于通风管的左右两侧均固定连接有支杆，两个所述支杆的底端均通过收集板固定连接，所述通风管的底端贯穿并延伸至收集板的底部，所述固定板的顶部且位于通风管的左右两侧均固定连接有连接杆，两个所述连接杆相对的一端均通过抽风机固定连接，所述抽风机的进风口与通风管固定连接，所述抽风机的出风口固定安装有出风管，所述固定板的顶部且位于抽风机的左右两侧均固定安装有收集箱，两个所述收集箱的内底壁均固定连接有水箱，两个所述水箱相离的一侧均固定连接有出水管，两个所述出水管相离的一端均贯穿并延伸至炉体的外部，两个所述收集箱的顶部均通过连接管固定连接，所述连接管的底部与出风管的顶端固定连接，所述炉体底部的左右两侧均固定安装有底座，两个所述底座的底部均通过底板固定连接。

优选的，两个所述支杆的顶端均与固定板底部的连接角度为九十度。

优选的，两个所述隔板呈平行状，所述隔板上出渣孔的数量不小于十个，且均匀分布在两个隔板上。

优选的，所述炉体的左侧且对应集渣箱处铰接有箱盖，所述箱盖的尺寸大于集渣箱左侧的尺寸。

优选的，所述连接管呈U形，所述连接管的外表面固定安装有套管，所述套管的顶部通过固定杆与炉体的内壁固定连接。

优选的，所述收集板呈圆锥形，所述收集箱的内表面与通风管的外表面接触，所述收集箱的内径小于收集板底部的内径。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种节能环保型天然气退火炉，具备以下有益效果：

1、该节能环保型天然气退火炉，通过炉体内部产生的热量向上移动，通过收集板和抽风机，从而方便将热量通过抽风机排入到出风管中，使热量通过连接管排入到收集箱中，使收集箱对热量进行收集，通过出水管向水箱的内部注入水，使热量与水进行热交换，在通过出水管对水加以运用，从而起到回收热量，加以利用，节省能源的目的。

2、该节能环保型天然气退火炉，通过炉体的内壁固定安装隔板，炉体内部会产生的废渣可以通过出渣孔排入到集渣箱的内部，通过炉体左侧铰接的箱盖，方便将集渣箱从炉体的内部取出，从而起到方便对废渣进行收集，方便清理的作用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中：1炉体、2支撑座、3集渣箱、4隔板、5出渣孔、6固定板、7通风管、8支杆、9收集板、10连接杆、11抽风机、12出风管、13收集箱、14 水箱、15出水管、16连接管、17底座、18底板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，一种节能环保型天然气退火炉，包括炉体1，通过炉体1内部产生的热量向上移动，通过收集板9和抽风机11，从而方便将热量通过抽风机11排入到出风管12中，使热量通过连接管16排入到收集箱13中，使收集箱13对热量进行收集，通过，出水管15向水箱14的内部注入水，使热量与水进行热交换，在通过出水管15对水加以运用，从而起到回收热量，加以利用，节省能源的目的，炉体1的左侧且对应集渣箱3处铰接有箱盖，箱盖的尺寸大于集渣箱3左侧的尺寸，炉体1的内底壁固定安装有支撑座2，支撑座2的顶部活动连接有集渣箱3，炉体1的上下两侧内壁均通过隔板4固定连接，两个隔板4呈平行状，隔板4上出渣孔5的数量不小于十个，且均匀分布在两个隔板4上，通过炉体1的内壁固定安装隔板4，炉体1内部会产生的废渣可以通过出渣孔5排入到集渣箱3的内部，通过炉体1左侧铰接的箱盖，方便将集渣箱3从炉体1的内部取出，从而起到方便对废渣进行收集，方便清理的作用，两个隔板4的内部开设有出渣孔5，炉体1的内壁固定安装有固定板6，固定板6的内部固定安装有通风管7，固定板6的底部且位于通风管7的左右两侧均固定连接有支杆8，两个支杆8的顶端均与固定板6底部的连接角度为九十度，两个支杆8的底端均通过收集板9固定连接，通风管7 的底端贯穿并延伸至收集板9的底部，收集板9呈圆锥形，收集箱13的内表面与通风管7的外表面接触，收集箱13的内径小于收集板9底部的内径，固定板6的顶部且位于通风管7的左右两侧均固定连接有连接杆10，两个连接杆10相对的一端均通过抽风机11固定连接，抽风机11的进风口与通风管7 固定连接，抽风机11的出风口固定安装有出风管12，固定板6的顶部且位于抽风机11的左右两侧均固定安装有收集箱13，两个收集箱13的内底壁均固定连接有水箱14，两个水箱14相离的一侧均固定连接有出水管15，两个出水管15相离的一端均贯穿并延伸至炉体1的外部，两个收集箱13的顶部均通过连接管16固定连接，连接管16呈U形，连接管16的外表面固定安装有套管，套管的顶部通过固定杆与炉体1的内壁固定连接，连接管16的底部与出风管12的顶端固定连接，炉体1底部的左右两侧均固定安装有底座17，两个底座17的底部均通过底板18固定连接。

综上所述，该节能环保型天然气退火炉，通过炉体1内部产生的热量向上移动，通过收集板9和抽风机11，从而方便将热量通过抽风机11排入到出风管12中，使热量通过连接管16排入到收集箱13中，使收集箱13对热量进行收集，通过出水管15向水箱14的内部注入水，使热量与水进行热交换，在通过出水管15对水加以运用，从而起到回收热量，加以利用，节省能源的目的。

并且，通过炉体1的内壁固定安装隔板4，炉体1内部会产生的废渣可以通过出渣孔5排入到集渣箱3的内部，通过炉体1左侧铰接的箱盖，方便将集渣箱3从炉体1的内部取出，从而起到方便对废渣进行收集，方便清理的作用。

需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。