一种研磨装置的制作方法

本实用新型涉及研磨设备技术领域，尤其涉及一种研磨装置。

背景技术：

现有技术中研磨装置中研磨盘的平面度调整精度较低，且无法实现多个方向的平面度的调整，难以满足研磨装置的使用需求，无法保证研磨装置的稳定运行。为解决上述问题，需在研磨装置上设置调平机构以达到研磨盘的高精度平面度调整。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提出一种研磨装置，能够实现研磨装置的高精度平面度调节以及多个方向的平面度调节，并使调平后的研磨装置满足设备生产使用需求。

为实现上述技术效果，本实用新型的研磨装置的技术方案如下：

一种研磨装置，包括：研磨机构，所述研磨机构被配置为研磨零件；支撑架，所述支撑架设置在外部平台上，所述支撑架与所述研磨机构相连且被配置为支撑所述研磨机构；法兰盘，所述法兰盘的两端分别与所述研磨机构和所述支撑架相连；第一调平机构，所述第一调平机构为多个，多个所述第一调平机构均与所述研磨机构相连，多个所述第一调平机构被配置为调整所述研磨机构相对于所述法兰盘的平面度；第二调平机构，所述第二调平机构为多个，多个所述第二调平机构均与所述支撑架相连，多个所述第二调平机构被配置为调整所述支撑架相对于所述外部平台的平面度。

在一些实施例中，所述第一调平机构包括：第一调平件，所述第一调平件穿设在所述法兰盘上且所述第一调平件止抵在所述研磨机构上；第一紧固件，所述第一紧固件套设在所述第一调平件上，所述第一紧固件被配置为锁紧所述第一调平件；第一锁紧件，所述第一锁紧件穿设在所述第一调平件上，且所述第一锁紧件与所述研磨机构相连以锁紧所述研磨机构。

在一些实施例中，所述第一调平件为螺柱，所述第一紧固件为螺母，所述法兰盘上设有与所述螺柱配合的第一螺纹孔。

在一些实施例中，所述第一锁紧件为螺钉，所述研磨机构上设有与所述螺钉配合的第二螺纹孔，所述螺柱上设有第一配合通孔，所述螺钉配合在所述第一配合通孔内。

在一些实施例中，所述法兰盘的横截面为圆形，多个所述第一调平机构沿其轴线方向均匀间隔分布。

在一些实施例中，所述第二调平机构均包括：第二调平件，所述第二调平件穿设在所述支撑架上且所述第二调平件止抵在所述外部平台上；第二紧固件，所述第二紧固件套设在所述第二调平件上，所述第二紧固件被配置为锁紧所述第二调平件；第二锁紧件，所述第二锁紧件穿设在所述第二调平件上，且所述第二锁紧件与所述外部平台相连以将所述支撑架锁紧在所述外部平台上。

在一些实施例中，所述第二调平件为螺柱，所述第二紧固件为螺母，所述支撑架上设有与所述螺柱配合的第三螺纹孔。

在一些实施例中，所述第二锁紧件为螺钉，所述外部平台上设有与所述螺钉配合的第四螺纹孔，所述螺柱上设有第二配合通孔，所述螺钉配合在所述第二配合通孔内。

在一些实施例中，所述支撑架包括支撑框，多个所述第二调平机构间隔分布在支撑框上。

本实用新型的有益效果为：使用第二调平机构对支撑架完成初步平面度调节，使支撑架相对外部平台具有低误差的平面度，同时也使得与支撑架相连的法兰盘和研磨机构相对外部平台具有低误差的平面度；再使用第一调平机构直接对研磨机构完成平面度调节，使得研磨机构相对法兰盘具有高精度的平面度；且第一调平机构和第二调平机构均为多个，能够完成支撑架和研磨机构的多方向平面度调节，最终使研磨装置达到设备生产使用需求。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是本实用新型具体实施方式提供的研磨装置的立体结构示意图；

图2是本实用新型具体实施方式提供的研磨机构和法兰盘的立体结构示意图；

图3是本实用新型具体实施方式提供的研磨机构和法兰盘的内部结构示意图；

图4是图3中a处的局部放大示意图；

图5是本实用新型具体实施方式提供的第二调平组件在支撑架中的内部结构示意图。

附图标记

1、研磨机构；11、第二螺纹孔；

2、支撑架；21、支撑框；22、第三螺纹孔；

3、法兰盘；31、第一螺纹孔；

4、第一调平机构；41、第一调平件；411、第一配合通孔；42、第一紧固件；43、第一锁紧件；

5、第二调平机构；51、第二调平件；511、第二配合通孔；52、第二紧固件；53、第二锁紧件。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、“左”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

下面参考图1-图5描述本实用新型实施例的研磨装置的具体结构。

如图1-图5所示，本实用新型的研磨装置包括研磨机构1、支撑架2、法兰盘3、第一调平机构4和第二调平机构5。研磨机构1被配置为研磨零件。支撑架2设置在外部平台上，支撑架2与研磨机构1相连且被配置为支撑研磨机构1。法兰盘3的两端分别与研磨机构1和支撑架2相连。第一调平机构4为多个，多个第一调平机构4均与研磨机构1相连，多个第一调平机构4被配置为调整研磨机构1相对于法兰盘3的平面度。第二调平机构5为多个，多个第二调平机构5均与支撑架2相连，多个第二调平机构5被配置为调整支撑架2相对于外部平台的平面度。

可以理解的是，现有技术中研磨装置中研磨盘的平面度调整精度较低，且无法实现多个方向的平面度的调整，难以满足研磨装置的使用需求，无法保证研磨装置的稳定运行。为解决上述问题，需在研磨装置上设置调平机构以达到研磨盘的高精度平面度调整。具体地，如图1-图2所示，研磨装置包括研磨机构1、支撑架2、法兰盘3、第一调平机构4和第二调平机构5。第一调平机构4为多个，多个第一调平机构4均与研磨机构1和法兰盘3相连，且多个第一调平机构4均能调整研磨机构1中研磨盘相对于法兰盘3的平面度。第二调平机构5为多个，多个第二调平机构5均与支撑架2相连，多个第二调平机构5均能调整支撑架2相对于外部平台的平面度。

在研磨装置的水平调节过程中，首先使用第二调平机构5调整支撑架2与外部平台的平面度，由于研磨机构1通过法兰盘3连接在支撑架2上，研磨机构1的平面度也会随着支撑架2的平面度的变化而变化。当支撑架2相对于外部平台具有低误差的平面度时，研磨机构1也将具有低误差的平面度。此时使用第二调平机构5将支撑架2固定在外部平台上，然后使用第一调平机构4进行研磨机构1相对于法兰盘3的平面度。当使用第一调平机构4将研磨机构1上研磨盘的表面偏摆率调节到0.05mm以内时，即完成了研磨机构1的平面度调整，实现了研磨装置的高精度平面度调节。此外，由于第一调平机构4和第二调平机构5均为多个，因此使用多个第一调平机构4和多个第二调平机构5能完成支撑架2和研磨机构1在多个方向上的平面度调节。经过上述平面度调节，能够达到研磨盘的高精度平面度调整的目的，使其达到生产使用需求，从而提高研磨装置的研磨精度和研磨效率。

在一些实施例中，如图3、图4所示，第一调平机构4包括第一调平件41、第一紧固件42和第一锁紧件43。第一调平件41穿设在法兰盘3上且第一调平件41止抵在研磨机构1上。第一紧固件42套设在第一调平件41上，第一紧固件42被配置为锁紧第一调平件41。第一锁紧件43穿设在第一调平件41上，且第一锁紧件43与研磨机构相连以锁紧研磨机构。

可以理解的是，在调整研磨机构1相对于法兰盘3的平面度时，第一调平机构4中的第一调平件41能够止抵在研磨机构1上，并且使得研磨机构1与法兰盘3之间具有不同的距离。调节第一调平件41的过程中，使用千分表对研磨盘上研磨面的平面度进行校验，当研磨面上对应第一调平件41的位置的水平面误差在允许范围内时，使用套设在第一调平件41上的第一紧固件42将第一调平件41锁紧。具体地，当研磨机构1的研磨盘表面偏摆率调节到0.05mm以内时，即可使用第一紧固件42将第一调平件41锁紧。同时，为了防止研磨机构1与法兰盘3之间产生相对位移，使用穿设在第一调平件41中的第一锁紧件43与研磨机构1相连以锁紧研磨机构1，达到了保证研磨面上对应第一调平件41的位置的水平面误差在允许范围内的目的。当每个第一调平件41将研磨机构1锁紧时，即可完成整个研磨机构1的平面度调整。使用第一调平机构4能够快速完成研磨机构1的平面度调整，从而提高研磨装置的使用效率。

在一些实施例中，第一调平件41为螺柱，第一紧固件42为螺母，法兰盘3上设有与螺柱配合的第一螺纹孔31。

可以理解的是，为了加强第一调平件41、第一紧固件42和法兰盘3之间的连接关系，上述连接关系中均使用螺纹连接。具体地，第一调平件41为螺柱，第一紧固件42为螺母，螺母能够与螺柱配合并将螺柱锁紧。法兰盘3上设有与螺柱配合的第一螺纹孔31，当螺母锁紧螺柱时，螺柱与法兰盘3之间的螺纹配合使得螺柱在法兰盘3中难以产生相对位移。上述连接关系能够提高第一调平机构4对研磨机构1的调平效果，从而提高研磨装置的使用效率。

在一些实施例中，第一锁紧件43为螺钉，研磨机构1上设有与螺钉配合的第二螺纹孔11，螺柱上设有第一配合通孔411，螺钉配合在第一配合通孔411内。可以理解的是，为了使用第一锁紧件43将研磨机构1锁紧在法兰盘3上，将第一锁紧件43设置为螺钉，并在研磨机构1上设置与螺钉配合的第二螺纹孔11。此外，在螺柱中设置第一配合通孔411以使第一锁紧件43能够穿设在螺柱中。当使用第一调平件41调整好研磨机构1相对法兰盘3的平面度后，使用第一紧固件42将第一调平件41锁死，将螺钉穿设在第一调平件41中并与研磨机构1中的第二螺纹孔11配合，达到锁紧研磨机构1的目的，提高了研磨装置的使用效率。

在一些实施例中，如图2所示，法兰盘3的横截面为圆形，多个第一调平机构4沿其轴线方向均匀间隔分布。

可以理解的是，当研磨机构1的研磨盘沿圆周方向的平面度在误差范围内时，研磨盘中其他位置的平面度也能够得到保证。为了对研磨机构1的研磨盘沿圆周方向的平面度进行调整，使用具有圆形横截面的法兰盘3，并且将多个第一调平机构4沿法兰盘3的轴向方向均匀间隔分布。由此，可以使用多个第一调平机构4快速完成研磨机构1的平面度调整，提高了研磨装置的使用效率。

在一些实施例中，如图5所示，第二调平机构5均包括第二调平件51、第二紧固件52和第二锁紧件53。第二调平件51穿设在支撑架2上且第二调平件51止抵在外部平台上。第二紧固件52套设在第二调平件51上，第二紧固件52被配置为锁紧第二调平件51。第二锁紧件53穿设在第二调平件51上，且第二锁紧件53与外部平台相连以将支撑架2锁紧在外部平台上。

可以理解的是，在使用第二调平机构5完成研磨机构1相对于法兰盘3的平面度调整前，需要先使用第二调平机构5完成支撑架2相对于外部平台的平面度调整。具体地，在调整支撑架2相对于外部平台的平面度时，第二调平机构5中的第二调平件51能够止抵在外部平台上，并且使得支撑架2与外部平台之间具有不同的距离。调节第二调平件51的过程中，使用千分表对支撑架2的平面度进行校验，当支撑架2相对于外部平台的水平面误差在允许范围内时，使用套设在第二调平件51上的第二紧固件52将第二调平件51锁紧。同时，为了防止支撑架2与外部平台之间产生相对位移，使用穿设在调平件中的第二锁紧件53与外部平台相连以将支撑件锁紧在外部平台上，使得支撑架2相对于外部平台的平面度误差在允许范围内的目的。当每个第二调平件51将研磨机构1锁紧时，即可完成支撑架2的平面度调整。使用第二调平机构5能够快速完成支撑架2的平面度调整，从而提高研磨装置的使用效率。

在一些实施例中，第二调平件51为螺柱，第二紧固件52为螺母，支撑架2上设有与螺柱配合的第三螺纹孔22。

可以理解的是，为了加强第二调平件51、第二紧固件52和支撑架2之间的连接关系，上述连接关系中均使用螺纹连接。具体地，第二调平件51为螺柱，第二紧固件52为螺母，螺母能够与螺柱配合并将螺柱锁紧。支撑架2上设有与螺柱配合的第三螺纹孔22，当螺母锁紧螺柱时，螺柱与支撑架2之间的螺纹配合使得螺柱在支撑架2中难以产生相对位移。上述连接关系能够提高第二调平机构5对支撑架2的调平效果，从而提高研磨装置的使用效率。

在一些实施例中，第二锁紧件53为螺钉，外部平台上设有与螺钉配合的第四螺纹孔，螺柱上设有第二配合通孔511，螺钉配合在第二配合通孔511内。

可以理解的是，为了使用第二锁紧件53将支撑架2锁紧在外部平台上，将第二锁紧件53设置为螺钉，并在外部平台上设置与螺钉配合的第四螺纹孔。此外，在螺柱中设置第二配合通孔511以使第二锁紧件53能够穿设在螺柱中。当使用第二调平件51调整好支撑架2相对外部平台的平面度后，使用第二紧固件52将第二调平件51锁死，将螺钉穿设在第二调平件51中并与外部平台中的第四螺纹孔配合，达到将支撑架2锁紧在外部平台上的目的，提高了研磨装置的使用效率。

在一些实施例中，如图1所示，支撑架2包括支撑框21，多个第二调平机构5间隔分布在支撑框21上。

可以理解的是，当支撑块的平面度在误差范围内时，与支撑框21相连的支撑架2上的其他部件的平面度也能够得到保证。为了对支撑框21的平面度进行调整且使用支撑架2支撑研磨装置的其他部件，使用具有矩形截面的支撑框21，并将多个第二调平机构5设置在支撑框21的两侧。由此，可以使用多个第二调平机构5快速完成支撑架2的平面度调整，提高了研磨装置的使用效率。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。