一种点蒸发源的制作方法

本实用新型涉及显示装置的制造技术领域，更具体地，涉及一种点蒸发源。

背景技术：

随着有机发光二极管显示(oled)技术的不断发展，oled显示器件制作工艺越来越趋于成熟。oled器件的制作主要有蒸镀、旋涂、喷墨打印等多种方式，其中，蒸镀方式是将装有镀膜材料的蒸发源放置在真空设备内，将镀膜材料进行蒸发喷出，使之在基板表面形成薄膜，蒸镀方式作为一种比较成熟的制备方法，已经运用于量产。

目前，现有点蒸发源结构的加热装置通过穿丝工艺制备，不仅工艺复杂，效率低，而且易造成保持架破碎。

技术实现要素：

本实用新型实施例提供了一种点蒸发源，解决现有结构制备工艺复杂、效率低且易造成保持架破碎的问题。

为了达到上述目的，本实用新型实施例提供的点蒸发源至少包括加热装置，加热装置包括固定组件和多个重复单元构成的加热丝，重复单元包括两个间隔的直线部和与两个直线部端部连接的连接部，固定组件至少包括保持架和间隔件，保持架设置有多个容置重复单元两个直线部的通孔，间隔件设置有多个卡设在两个直线部之间的凸起。

可选地，保持架为环状结构，通孔沿保持架周向均匀分布。

可选地，通孔为腰型孔，腰型孔的半径与加热丝的半径适配。

可选地，间隔件包括环形部，凸起设置于环形部上并向环形部中心位置延伸。

可选地，保持架和间隔件为一组，固定组件至少包括两组保持架和间隔件，重复单元的两个端部位置分别至少设置一组保持架和间隔件。

可选地，固定组件包括固定底盘和设置于固定底盘上的定位柱，定位柱包括定位台阶，保持架上设置供定位柱穿过的保持架定位孔，保持架卡接在定位台阶上。

可选地，定位柱包括多节，多节半径依次增大，相邻两节的连接位置形成定位台阶。

可选地，加热丝为多组并沿定位柱的延伸方向设置，保持架和间隔件为多组，每组加热丝与至少一组保持架和间隔件配合。

可选地，还包括具有至少一端开口的冷却腔的冷却装置，加热装置设置于冷却腔内，冷却装置包括水冷套，水冷套包括内套和外套，内套和外套的端部密封连接，内套和外套之间形成过水夹层，水冷套的出水管和进水管位于水冷套远离开口的一端，出水管位于过水夹层内的端口靠近水冷套的开口并设置斜切角。

可选地，水冷套远离开口的一端设置固定柱，水冷套通过固定柱固定在蒸发腔室内。

本实用新型实施例提供了一种点蒸发源，点蒸发源的加热装置采用保持架和间隔件固定加热丝，保持架和间隔件共同防止加热丝变形错位，避免了穿丝工艺，不仅简化了制备工艺，提升了制造效率，而且避免了保持架的破碎，有效解决现有结构制备工艺复杂、效率低且易造成保持架破碎的问题。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图用来提供对本实用新型技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本实用新型的技术方案，并不构成对本实用新型技术方案的限制。

图1为本实用新型一示例性实施例提供的点蒸发源的结构图；

图2为本实用新型一示例性实施例提供的点蒸发源的加热装置的结构图；

图3为本实用新型一示例性实施例提供的点蒸发源的保持架和间隔件组合图；

图4为本实用新型一示例性实施例提供的点蒸发源的间隔件的结构图；

图5为本实用新型一示例性实施例提供的点蒸发源的保持架的结构图；

图6为本实用新型一示例性实施例提供的点蒸发源的加热装置安装过程图；

图7为本实用新型一示例性实施例提供的点蒸发源的冷却装置的结构图。

附图标记

10—点蒸发源；100-冷却装置；110-外套；

120-内套；130-法兰；140-入水管；

150-出水管；200-加热装置；210-加热丝；

211-直线部；212-连接部；220-保持架；

221-通孔；222-保持架定位孔；223-保持架第二安装孔；

230-间隔件；231-环形部；232-凸起；

233-间隔件定位孔；234-间隔件第二安装孔；240-定位柱；

241-定位台阶；250-固定底盘；251-过线孔；

252-第一安装孔；300-真空法兰；311-入水管接头；

312-出水管接头；321-正导电电极；322-负导电电极；

331-第一热电偶接头；332-第二热电偶接头；410-边缘热电偶；

420-中心热电偶；500-保温层；600-卡接件。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下文中将结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。

在一示例性实施例中，本实用新型实施例提供了一种点蒸发源10，如图1和图2所示，至少包括加热装置200，加热装置200为待蒸发材料提供热源，使得蒸发坩埚内的蒸发材料蒸发，加热装置200包括固定组件和多个重复单元构成的加热丝210。

如图1、图2和图6所示，加热丝210反复回转形成多个重复单元，加热丝210两端要预留一定长度并与真空法兰300上的正导电电极321和负导电电极322连接。加热丝210的整体结构为环形结构，环形结构内部形成加热腔，蒸发坩埚放置在环形结构内。加热丝210可以采用钨丝、钼丝或镍合金丝等。具体的，如图2所示，加热丝210的重复单元按偶数对称设计，多个重复单元等间距的排列。重复单元包括连接部212和两个间隔的直线部211，连接部212与两个直线部211的端部连接，形成类似u型的结构。可选的，两个直线部211平行设置，连接部212为弧形结构，弧形结构的两端与平行设置的直线部211的位于同侧的端部连接。

固定组件用于固定加热丝210，防止加热丝210变形错位。固定组件至少包括保持架220和间隔件230。其中：

保持架220为环形结构，保持架220的周向上设置多个通孔221，每个通孔221容置一个重复单元，即重复单元从通孔221穿过。保持架220采用绝缘材料制成，例如可以采用陶瓷材料制成，陶瓷材料绝缘性能好、耐高温以及在高温下的形变小。具体的，如图2和图5所示，通孔221沿保持架220周向均匀分布。通孔221的数量与加热丝210重复单元的数量相同，并且通孔221的间距与重复单元的间距相适应。可选的，通孔221为条形孔，优选的，通孔221为腰型孔，腰型孔的半径与加热丝210的半径适配。这样，当加热丝210限位在间隔件230和通孔221之间时，可以防止加热丝210位移过大造成的加热不均匀。需要说明的时，腰型孔的半径与加热丝210的半径适配可以理解为腰型孔的半径与加热丝210的半径相同或腰型孔的半径比加热丝210的半径略大。腰型孔的横截面是由两条平行线和设置于两条平行线端部的两个半圆围成。

间隔件230设置有多个卡设在两个直线部211之间的凸起232。凸起232与通孔221的位置对应。间隔件230可以固定在保持架220上。凸起232两侧的距离与重复单元的两个直线部211的间距适配，其中，间隔件230两侧指的是间隔件230与重复单元直线部211相邻的侧面。间隔件230采用与保持架220相同的材料制成，当然也可以选择不同的绝缘材料制成。具体的，如图2-图4所示，间隔件230包括环形部231，凸起232设置于环形部231并向环形部231中心位置延伸，凸起232的数量与通孔221的数量相同，并且凸起232的位置与通孔221的位置对应。多个凸起232形成锯齿结构。凸起232卡入到重复单元的两个直线部211之间。每个凸起232的两侧之间的距离小于通孔221和两个直线部211的差。间隔件230可以位于保持架220的上端也可以位于保持架220的下端。当然，间隔件230也可以为多个条形结构，每一个条形结构固定在保持架220上，条形结构的端部构成凸起，具体实现形式在此不做限定。

进一步的，如图2和图3所示，保持架220和间隔件230为一组，固定组件至少包括两组保持架220和间隔件230，重复单元的两个端部位置分别至少设置一组保持架220和间隔件。具体的，如图2所示，保持架220和间隔件230为一组，固定组件包括三组保持架220和间隔件230，其中两组设置与重复单元的端部，另外一组设置在重复单元的中部位置。这样可以更近一步的提升加热丝210的形状稳定性，防止加热丝210变形错位，保证加热丝210加热的均匀性。

如图2和图6所示，固定组件还包括固定底盘250和固定于固定底盘250上的定位柱240，定位柱240包括定位台阶241，保持架220上设置供定位柱240穿过的保持架定位孔222，保持架220卡接在定位台阶241上。固定底盘250通过支架固定在蒸发腔室内。具体的，如图6所示，定位柱240包括多节，多节半径依次增大，相邻两节的连接位置形成定位台阶241。保持架220上设置保持架定位孔222，保持架定位孔222的孔径根据需要固定的位置进行设置，例如，如果定位柱240为两节，那么保持架定位孔222的半径应该大于等于半径较小的一节，小于半径较大的一节。当保持架220为多个时，定位台阶241的数量至少与保持架220的数量对应，在本实施例中，定位柱240的数量为三个，保持架220为三个，定位柱240上至少包括4节，位于最上端的一节的半径最小，每一节的长度根据保持架220的位置决定。在本实施例中，定位柱240采用绝缘材料制成，机械加工成定位台阶，每个定位台阶定位一个保持架220，保持架220设计的保持架定位孔222的孔径大于对应的定位柱240的轴径，且小于定位柱240下端轴径。固定底盘250为圆盘形，定位柱240设置在固定底盘250周向的三等分点上，固定底盘250的中部位置设置中心热电偶420的第一安装孔252，靠近边缘的位置还设置有供加热丝210两端穿过的过线孔251。固定底盘250和保持架220上均设置有供边缘热电偶410穿过的第二安装孔。如图5所示，保持架220上的第二安装孔记为保持架第二安装孔223。中心热电偶420用于测量加热装置200中心位置的温度，边缘热电偶410用于测量加热装置200加热丝210位置的温度。中心热电偶420与真空法兰300上的第一热电偶接头331连接。边缘热电偶410与真空法兰300上的第二热电偶接头332连接。需要说明的是，当间隔件230包括环形部231时，间隔件230的环形部231上也对应设置间隔件定位孔233和间隔件第二安装孔234结构，在此不做具体限定。

下面通过本实施例点蒸发源10中加热装置200的制备过程，进一步说明本实用新型的技术方案。

如图6所示，先将加热丝210按u型往复绕制成形，加热丝210按偶数对称设计，两端要预留一定长度；采用3根定位柱240，3根定位柱240圆周均匀分布在固定底盘250上。保持架220和间隔件230为一组，加热丝210由三组保持架220和间隔件230进行定位。将最下层保持架220的通孔221先套入加热丝210，然后固定在定位柱240的定位台阶241上，随后安装间隔件230，且间隔件230的凸起232插入到加热丝210重复单元两个直线部211之间；以此类推，完成第二组和第三组保持架220和间隔件230组的安装，最后实现加热丝210的固定，加热丝210组装完成。

需要说明的是，加热丝210可以为多组，每组加热丝210沿着定位柱240的延伸方向设置，保持架220和间隔件230为多组，每组加热丝210与至少一组保持架220和间隔件230配合。这样设置有利于加热装置200加热分区控制。

本实用新型实施例通过将原有的单一的开圆孔的保持架220改成保持架220和间隔件230。具有多个重复单元的加热丝210中的每一个重复单元可以容置在保持架220上设置通孔221内，每一个重复单元的两个直线部211之间卡入间隔件230上设置的凸起232，保持架220和间隔件230共同防止加热丝210变形错位，进而可以采用先将加热丝210按u型往复绕制成形，然后装配到保持架220上的制备工序，避免了原加热丝210边绕线边穿孔的穿丝过程，简化了点蒸发源10的制备工艺，提升了点蒸发源10的制造效率。同时，保持架220一般采用陶瓷材料制成，陶瓷材料易碎，采用本点蒸发源10的结构可以避免保持架220的破碎。

在一示例性实施例中，如图7所示，点蒸发源还包括冷却装置100，冷却装置100主要防止加热装置200的高温辐射到腔室其它部位，避免引起温度升高。冷却装置100包括冷却腔，冷却腔可以是一端开口，固定组件和加热装置200设置在冷却腔内，放置待蒸发材料的蒸发坩埚可以通过开口放入到加热装置200内。冷却装置100可以采用循环水浴或油浴，在此不做限定。水冷套远离开口的一端设置固定柱，水冷套通过固定柱固定在蒸发腔室内。具体的，如图1所示，冷区组件采用循环水浴，冷却装置100包括水冷套。水冷套为圆筒状。水冷套内部形成水循环通道。水冷套的上端为开口端，水冷套的出水管150和入水管140设置在水冷套的下端，即远离水冷套开口的一端。水冷套的出水管150和入水管140分别与设置于真空法兰300上对应的出水管接头312和入水管接头311连接，真空法兰300用于与蒸发腔的腔体连接。水冷套可以采用不锈钢或铝合金等导热性好的材料制成，在此不做限定。

可选的，水冷套包括内套120和外套110，内套120和外套110的端部密封连接，内套120内侧形成冷却腔，冷却腔至少上端开口，内套120和外套110之间形成过水夹层160，水冷套的出水管150从水冷套远离开口的一端插入到过水夹层160内，出水管150的位于过水夹层160的端口靠近水冷套的开口。具体的，水冷套采用焊接方式，上下法兰130与内套120、外套110焊接成筒状结构，内套120和外套110之间的过水夹层160走水。水冷套的出水管150和进水管140位于水冷套远离开口的一端，出水管150插入到过水夹层160内，出水管150的位于过水夹层160内的端口靠近水冷套的开口。为了出水管150顶部与上法兰130位置过近，造成出水管150堵塞，出水管150的位于过水夹层160的端口设置斜切角。可选的，斜切角为40°～60°。优选的，斜切角为45°。冷水套的下法兰上设置三根固定柱，冷水套通过固定柱固定在蒸发腔室内。

进一步的，如图1所示，点蒸发源10包括保温层500，设置于加热装置200和冷却装置100之间。保护层500包覆在保持架220的外围，保温层500保温的同时，也可以防止保持架220向上移动。保温层500采用钨、钼或钽等耐高温金属制成，通过热反射的形式对加热装置200进行保温。具体的，保温层500为圆桶状，保温层500的桶径与保持架220的外径适配，保温层500的底部设置固定孔，保温层500的底部和固定组件的固定底盘通过穿过固定孔和第一安装孔252的卡接件600固定连接，中心热电偶420从卡接件600的中心穿过。

在本实用新型中的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“一侧”、“另一侧”、“一端”、“另一端”、“边”、“相对”、“四角”、“周边”、““口”字结构”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的结构具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“直接连接”、“间接连接”、“固定连接”、“安装”、“装配”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；术语“安装”、“连接”、“固定连接”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

虽然本实用新型所揭露的实施方式如上，但所述的内容仅为便于理解本实用新型而采用的实施方式，并非用以限定本实用新型。任何本实用新型所属领域内的技术人员，在不脱离本实用新型所揭露的精神和范围的前提下，可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化，但本实用新型的专利保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定为准。