一种凸轮结构插板阀装置的制作方法

本发明涉及插板阀技术领域，特别涉及一种凸轮结构插板阀装置。

背景技术：

目前在真空磁控溅射镀膜工艺中，主要有单箱体真空磁控溅射镀膜机和连续真空磁控溅射镀膜生产线。而在连续真空磁控溅射镀膜生产线中：进口室、进口过渡室、进口主室调节段，出口室、出口过渡室、出口主室调节段大部分使用转板阀装置和插板阀装置来进行隔离。

在连续真空磁控溅射镀膜装置中，大部分使用转板阀装置和插板阀装置来进行进、出口隔离，而以前的插板阀都是使用的气缸或波纹管驱动结构，因温度、疲劳、外力等作用下，造成气缸密封川老化漏气、波纹管疲劳破裂，极易造成内部泄漏，瞬间破坏箱体真空度，使分子泵跳停，损坏分子泵，箱体内的产品全部报废，在实际应用存在很大隐患，同時，也解決了内部泄漏致使檢漏仪不易檢測的問題。因此为了解决这一问题，设计一种凸轮结构插板阀装置是非常有必要的。

技术实现要素：

本发明要解决现有技术中的在连续真空磁控溅射镀膜装置中，大部分使用转板阀装置和插板阀装置来进行进、出口隔离，而以前的插板阀都是使用的气缸或波纹管驱动结构，因温度、疲劳、外力等作用下，造成气缸密封川老化漏气、波纹管疲劳破裂，极易造成内部泄漏，瞬间破坏箱体真空度，使分子泵跳停，损坏分子泵，箱体内的产品全部报废，在实际应用存在很大隐患的技术问题，提供一种凸轮结构插板阀装置。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案具体如下：

一种凸轮结构插板阀装置，包括:

插板阀；

第一真空箱体，所述第一真空箱体安裝于插板阀上；

第二真空箱体，所述第二真空箱体安裝于插板阀上；

所述第一真空箱体、第二真空箱体与插板阀两端面密封连接。

优选的，所述插板阀包括：阀体、门阀安装板、门阀板组件、插入动作机构、凸轮张开机构、冷却结构、密封结构、固定结构、一对导杆座、一对导杆以及一对导杆轴承套；

所述门阀安装板安裝于阀体侧上表面，且所述门阀安装板与阀体端面密封连接，所述门阀板组件安裝于安装板上，所述插入动作机构安裝与安装板上，且所述插入动作机构与门阀板组件相连接，所述凸轮张开机构安裝于门阀板组件上，且所述凸轮张开机构与门阀板组件相连接，所述冷却结构安裝于阀体上，所述密封结构安置于阀体兩端表面和一侧表面上，所述固定结构开设于阀体兩端表面和一侧表面上，一对所述导杆座安裝于门阀安装板上，所述导杆安裝于相对应的导杆座上，一对所述导杆轴承套安裝于门阀板组件上，且每个所述导杆与相对应的导杆轴承套相连接。

优选的，所述门阀板组件包括：门阀压板、门阀侧板、复位弹簧组件、凸轮组件、凸轮轴固定块、门阀密封板以及门阀平整调节螺栓组；

所述门阀侧板安裝于导杆轴承套上，所述复位弹簧组件安裝于门阀压板和门阀密封板上，所述凸轮轴固定块安裝于门阀侧板内侧表面上，每个所述凸轮组件安裝于相对应的所述凸轮轴固定块上，所述门阀密封板通过复位弹簧组件对门阀压板连接固定，所述门阀平整调节螺栓组安裝于凸轮轴固定块上。

优选的，所述插入动作机构包括：三个固定架、三个ucf轴承座、插入动力马达座、插入动力马达、联轴组件、插入动力转动轴、插入到位感应器、插入复位感应器、一对磁流体、一对伞形齿轮组、一对扭力限制联轴器、一对感应器丝杆以及一对感应器丝杆螺母；

三个所述固定架安裝于门阀安装板上，每个所述ucf轴承座安裝于相对应的固定架上，所述插入动力马达座安裝于门阀安装板上，所述插入动力马达安裝于插入动力马达座上，所述联轴组件安裝于插入动力马达上，所述插入到位感应器和插入复位感应器安裝于固定架上，的感应器安裝滑槽块上，所述插入动力转动轴安裝于ucf轴承座上，所述插入动力转动轴一端与联轴组件连接，且所述插入动力转动轴另一端与感应器丝杆相连接，一对所述磁流体安裝于门阀安装板上，一对所述伞形齿轮组一端安装于插入动力转动轴上，一对所述伞形齿轮组另一端安裝于磁流体上，一对所述扭力限制联轴器一端与磁流体相连接，一对所述扭力限制联轴器另一端与感应器丝杆相连接，一对所述感应器丝杆螺母安裝于门阀侧板上，且每个所述感应器丝杆与相对应的感应器丝杆螺母相连接。

优选的，所述凸轮张开机构包括：若干凸轮张开组件；

所述凸轮张开组件安裝于门阀安装板上，且所述凸轮张开组件与凸轮组件相连接。

优选的，所述凸轮张开组件包括：支撑板、气缸安装座、气缸、ucp轴承座、齿轮、直齿条、导轮、磁流体、联轴器、花键轴、花键套、墨铜轴套、凸轮到位感应器以及凸轮复位感应器；

所述气缸安装座安裝于支撑板上，所述气缸安裝于气缸安装座上，所述ucp轴承座安裝于支撑板上，所述磁流体安裝于门阀安装板上，所述联轴器与磁流体一端连接，所述花键套安裝于联轴器上，所述磁流体一端穿过ucp轴承座并穿过支撑板与齿轮连接，且所述花键轴另一端与凸轮组件相连接，所述花键套套装于花键轴上，所述石墨铜轴套套装于花键轴上，所述凸轮组件套装于花键轴上，所述直齿条安裝于支撑板上，且所述齿轮与直齿条相契合，所述导轮安裝于支撑板上，且所述导轮与直齿条相匹配，所述凸轮到位感应器安裝于气缸上，所述凸轮复位感应器安裝于气缸上。

优选的，所述冷却结构包括：一对阀体冷却铜水管；

一对所述阀体冷却铜水管安置于阀体兩端面表面。

优选的，所述密封结构包括：三個箱体密封槽；

所述箱体密封槽开设于阀体兩端面表面和侧表面。

优选的，所述固定结构包括：若干箱体连接紧固螺栓孔；

若干所述箱体连接紧固螺栓孔开设于阀体兩端面表面和侧表面。

本发明具有以下的有益效果：

本发明通过把传统的立式连续真空磁控溅射镀膜生产线的插板门阀中张开动力都是使用气缸或波纹管驱动结构更改为凸轮结构，解决了门阀因气缸或波纹管在门阀内内漏问题，改善了检漏条件，生产工艺及产品镀膜环境，提升了镀膜产品品质，使真空镀膜产品更具竞争力，此技术的应用将使连续真空磁控溅射镀膜线的稳定性和真空环境得到质的提升。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

图1为本发明的一种凸轮结构插板阀装置的结构示意图；

图2为本发明的插板阀的主视三维图；

图3为本发明的插板阀的后视三维图；

图4为本发明的插板阀的结构示意图；

图5为本发明的插板阀的主视图；

图6为本发明的插板阀的左示意图；

图7为本发明的插板阀的右示意图；

图8为本发明的插入动作机构的三维视图；

图9为本发明的插入动作机构的右侧视图；

图10为本发明的插入动作机构的左侧视图；

图11为本发明的插入动作机构的局部示意图；

图12为本发明的凸轮张开机构的三维视图；

图13为本发明的凸轮张开机构的主视图；

图14为本发明的凸轮张开机构的局部示意图；

图15为本发明的门阀板组件的结构示意图；

图16为本发明的门阀板组件的俯视图；

图17为本发明的门阀板组件的侧视图；

图18为本发明的门阀板组件的局部示意图；

图19为本发明的门阀板组件的三维视图；

图20为本发明的磁流体的结构示意图。

图中的附图标记表示为：

1、插板阀；2、第一真空箱体；3、第二真空箱体；4、阀体冷却铜水管；5、箱体密封槽；6、箱体连接紧固螺栓孔；11、阀体；12、门阀安装板；13、门阀板组件；14、插入动作机构；15、凸轮张开机构；16、冷却结构；17、密封结构；18、导杆座；19、导杆；20、导杆轴承套；131、门阀压板；132、门阀侧板；133、复位弹簧组件；134、凸轮组件；135、凸轮轴固定块；136、门阀密封板；137、门阀平整调节螺栓组；141、固定架；142、ucf轴承座；143、插入动力马达座；144、插入动力马达；145、联轴组件；146、插入动力转动轴；147、插入到位感应器；148、插入复位感应器；149、磁流体；150、伞形齿轮组；151、扭力限制联轴器；152、丝杆；153、丝杆螺母；161、支撑板；162、气缸安装座；163、气缸；164、ucp轴承座；165、齿轮；166、直齿条；167、导轮；168、联轴器；169、花键轴；170、花键套；171、墨铜轴套；172、凸轮到位感应器；173、凸轮复位感应器。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-20，一种凸轮结构插板阀装置，包括:插板阀1；第一真空箱体2，所述第一真空箱体2安裝于插板阀1上；第二真空箱体3，所述第二真空箱体3安裝于插板阀1上；所述第一真空箱体2、第二真空箱体3与插板阀1两端面密封连接。

所述插板阀1包括：阀体11、门阀安装板12、门阀板组件13、插入动作机构14、凸轮张开机构15、冷却结构16、密封结构17、固定结构、一对导杆座18、一对导杆19以及一对导杆轴承套20；所述门阀安装板12安裝于阀体11侧上表面，且所述门阀安装板12与阀体11端面密封连接，所述门阀板组件13安裝于安装板12上，所述插入动作机构14安裝与安装板12上，且所述插入动作机构14与门阀板组件13相连接，所述凸轮张开机构15安裝于门阀板组件13上，且所述凸轮张开机构15与门阀板组件13相连接，所述冷却结构16安裝于阀体11上，所述密封结构17安置于阀体11兩端表面和一侧表面上，所述固定结构开设于阀体11兩端表面和一侧表面上，一对所述导杆座18安裝于门阀安装板12上，所述导杆19安裝于相对应的导杆座18上，一对所述导杆轴承套20安裝于门阀板组件13上，且每个所述导杆19与相对应的导杆轴承套20相连接。

所述门阀板组件13包括：门阀压板131、门阀侧板132、复位弹簧组件133、凸轮组件134、凸轮轴固定块135、门阀密封板136以及门阀平整调节螺栓组137；所述门阀侧板132安裝于导杆轴承套20上，所述复位弹簧组件133安裝于门阀压板131和门阀密封板136上，所述凸轮轴固定块135安裝于门阀侧板132内侧表面上，每个所述凸轮组件134安裝于相对应的所述凸轮轴固定块135上，所述门阀密封板136通过复位弹簧组件133对门阀压板131连接固定，所述门阀平整调节螺栓组137安裝于凸轮轴固定块135上。

所述插入动作机构14包括：三个固定架141、三个ucf轴承座142、插入动力马达座143、插入动力马达144、联轴组件145、插入动力转动轴146、插入到位感应器147、插入复位感应器148、一对磁流体149、一对伞形齿轮组150、一对扭力限制联轴器151、一对感应器丝杆152以及一对感应器丝杆螺母153；三个所述固定架141安裝于门阀安装板12上，每个所述ucf轴承座142安裝于相对应的固定架141上，所述插入动力马达座143安裝于门阀安装板12上，所述插入动力马达144安裝于插入动力马达座143上，所述联轴组件145安裝于插入动力马达144上，所述插入到位感应器147和插入复位感应器148安裝于固定架141上，的感应器安裝滑槽块183上，所述插入动力转动轴146安裝于ucf轴承座142上，所述插入动力转动轴146一端与联轴组件145连接，且所述插入动力转动轴146另一端与感应器丝杆152相连接，一对所述磁流体149安裝于门阀安装板12上，一对所述伞形齿轮组150一端安装于插入动力转动轴146上，一对所述伞形齿轮组150另一端安裝于磁流体149上，一对所述扭力限制联轴器151一端与磁流体149相连接，一对所述扭力限制联轴器151另一端与感应器丝杆152相连接，一对所述感应器丝杆螺母153安裝于门阀侧板132上，且每个所述感应器丝杆152与相对应的感应器丝杆螺母153相连接。

所述凸轮张开机构15包括：若干凸轮张开组件；所述凸轮张开组件安裝于门阀安装板12上，且所述凸轮张开组件与凸轮组件134相连接。

所述凸轮张开组件包括：支撑板161、气缸安装座162、气缸163、ucp轴承座164、齿轮165、直齿条166、导轮167、磁流体149、联轴器168、花键轴169、花键套170、墨铜轴套171、凸轮到位感应器172以及凸轮复位感应器173；所述气缸安装座162安裝于支撑板161上，所述气缸163安裝于气缸安装座162上，所述ucp轴承座164安裝于支撑板161上，所述磁流体149安裝于门阀安装板12上，所述联轴器168与磁流体149一端连接，所述花键套170安裝于联轴器168上，所述磁流体149一端穿过ucp轴承座164并穿过支撑板161与齿轮165连接，且所述花键轴169另一端与凸轮组件134相连接，所述花键套170套装于花键轴169上，所述石墨铜轴套171套装于花键轴169上，所述凸轮组件134套装于花键轴169上，所述直齿条166安裝于支撑板161上，且所述齿轮165与直齿条166相契合，所述导轮167安裝于支撑板161上，且所述导轮167与直齿条166相匹配，所述凸轮到位感应器172安裝于气缸163上，所述凸轮复位感应器173安裝于气缸163上。

所述冷却结构16包括：一对阀体冷却铜水管4；一对所述阀体冷却铜水管4安置于阀体11兩端面表面。

所述密封结构17包括：三個箱体密封槽5；所述箱体密封槽5开设于阀体11兩端面表面和侧表面。

所述固定结构包括：若干箱体连接紧固螺栓孔6；若干所述箱体连接紧固螺栓孔6开设于阀体11兩端面表面和侧表面。

工作原理：

当连续真空磁控溅射镀膜生产线的入口室、入口过渡室、入口协调室、镀膜室、出口协调室、出口过渡室、出口室等各室之间因生产中的基片架需要顺序从法兰口递进时，本发明中的凸轮张开机构15的气缸163复位，带动直齿条166，直齿条166在导轮167的作用下，推动齿轮165反向旋转，通过磁流体149、ucp轴承座164、联轴器168等把旋转动作传递给凸轮组件134，凸轮组件134收缩动作，门阀密封板136和门阀压板131在复位弹簧组件133的拉力作用下向中间收缩，当插入复位感应器148信号变化后，插入动力马达144反转，在插入动作机构14的传动下，插入丝杆152反转，丝杆螺母153带动门阀板组件13后退，当插入复位感应器148信号变化时，插入动力马达144停止，插板阀1法兰口可以通过载物框架；当载物框架通过后，插入动力马达144正转，在插入动作机构14的传动下，插入丝杆152正转，丝杆螺母153带动门阀板组件13前进，当插入到位感应器147信号变化时，插入动力马达144停止，凸轮张开机构15的气缸163动作，带动直齿条166，直齿条166在导轮167的作用下，推动齿轮165正向旋转，通过磁流体149、ucp轴承座164、联轴器168等把旋转动作传递给凸轮组件134，凸轮组件134张开动作，门阀密封板136和门阀压板131在凸轮组件134的作用力下克服复位弹簧组件133的拉力作用向两侧张开，当凸轮组件134到位，感应器信号变化后，门阀密封板136在箱体密封槽5的作用下，把法兰口密封，从而让两箱体间的气氛隔离。在工作状态下，气缸163一直保持工作状态，直齿条166保持給齿轮165正向旋转力，使凸轮组件134給门阀密封板136和门阀压板131继续施以张开力矩，在凸轮组件134的作用力下克服复位弹簧组件133的拉力作用向两侧张开，使门阀密封板136具有密封所需要的压力，门阀密封板136和箱体密封槽5內的o川组成密封面并和阀体11的法兰口实现密封从而实现相邻工作真空室的气氛隔离，以保证其可靠性；

实施例一：复位弹簧组件133、凸轮组件134、凸轮轴固定块135、门阀平整调节螺栓组137等根据门阀密封板136長度和需求可適當調整數量。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。