阴极靶装置及真空多弧离子镀膜机的制作方法

文档序号:24732372发布日期:2021-04-20 15:20阅读:148来源:国知局
阴极靶装置及真空多弧离子镀膜机的制作方法

1.本发明涉及离子镀膜技术领域,具体为阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机。


背景技术:

2.现代航空工业中使用的镀膜办法种类很多,比如电镀、喷镀、化学镀、扩散度以及轧压等。其中不少镀膜工艺已为人们掌握,并在生产中发挥了显著作用。但是,已有的镀膜工艺跟不上产品日新月异的发展,从而促使人们探索新的镀膜技术。“离子镀”就是近十几年来发展起来的一种最新的真空镀膜技术。离子镀的作用过程如下:蒸发源接阳极,工件接阴极,当通以三至五千伏高压直流电以后,蒸发源与工件之间产生弧光放电。由于真空罩内充有惰性氩气,在放电电场作用下部分氩气被电离,从而在阴极工件周围形成一等离子暗区。带正电荷的氩离子受阴极负高压的吸引,猛烈地轰击工件表面,致使工件表层粒子和脏物被轰溅抛出,从而使工件待镀表面得到了充分的离子轰击清洗。
3.但是,现有离子镀膜机将物件放置在工件上,与阴极弧靶是一个固定机构,在对于物件的不同点进行镀膜时较为繁琐的问题;因此,不满足现有的需求,对此我们提出了阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机。


技术实现要素:

4.本发明的目的在于提供阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机,以解决上述背景技术中提出的现有离子镀膜机将物件放置在工件上,与阴极弧靶是一个固定机构,在对于物件的不同点进行镀膜时较为繁琐的问题。
5.为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机,包括离子镀膜机主体钢架,所述离子镀膜机主体钢架的内部设置有固定板,所述固定板的下端面设置有螺纹杆,且螺纹杆设置有六个,六个所述螺纹杆均与离子镀膜机主体钢架的下端面螺纹连接,六个所述螺纹杆的下端面均设置有柱脚,所述离子镀膜机主体钢架的上方设置有镀膜机主体。
6.优选的,所述镀膜机主体的上端面设置有伺服电机,所述伺服电机的一侧设置有固定件,所述固定件的一侧设置有第一输送管道。
7.优选的,所述镀膜机主体的一侧设置有第二输送管道,且第二输送管道设置有两个,两个所述第二输送管道的下方均设置有第三输送管道,两个所述第二输送管道和第三输送管道之间设置有连接管道,且连接管道设置有两个。
8.优选的,所述镀膜机主体的前端面设置有运行端口,所述运行端口的前端面设置有检修挡板,所述检修挡板通过第一旋转轴与镀膜机主体转动连接,且第一旋转轴设置有两个。
9.优选的,所述检修挡板一侧设置有安装片,且安装片设置有两个,两个所述安装片的内部设置有六角铆钉,且六角铆钉设置有两个,所述检修挡板的内部设置有安装端口。
10.优选的,所述镀膜机主体的内部设置有内腔体,所述内腔体内部的上方设置有中
心转动轴,所述中心转动轴的两侧均设置有连接杆体,且连接杆体设置有两个,两个所述连接杆体通过第二旋转轴与中心转动轴转动连接,且第二旋转轴设置有两个,两个所述连接杆体的一端均设置有电镀端口,所述电镀端口通过第三旋转轴与连接杆体转动连接,且第三旋转轴设置有两个,所述内腔体内部的下方设置有固定基座,所述固定基座的上方设置有夹持机构,所述夹持机构的内部设置有安装腔体,所述夹持机构内壁的四周均设置有弹簧机构,且弹簧机构设置有四个,所述安装腔体的内部设置有防滑贴片。
11.与现有技术相比,本发明的有益效果是:1、本发明通过在镀膜机主体上设置的伺服电机,以及在镀膜机主体内部设置的中心转动轴、第二旋转轴和第三旋转轴,让物件放置在工件上的时候,可以让操作杆体对物件的任意角度进行电镀操作,加大操作的便捷性。
12.2、通过在夹持机构的内部设置的弹簧机构,让物件放置在夹持机构内部的安装腔体后,四周可以通过弹簧机构进行有效的夹紧,减少脱落的几率,而在安装腔体中设置的防滑贴片,加大了腔体与物件间的摩擦力,从而使得固定更加牢靠。
附图说明
13.图1为本发明的整体结构示意图;图2为本发明的内部结构示意图;图3为本发明的夹持机构局部放大图;图中:1、离子镀膜机主体钢架;2、固定板;3、螺纹杆;4、柱脚;5、镀膜机主体;6、伺服电机;7、固定件;8、第一输送管道;9、运行端口;10、检修挡板;11、安装片;12、六角铆钉;13、第一旋转轴;14、安装端口;15、第二输送管道;16、连接管道;17、第三输送管道;18、内腔体;19、中心转动轴;20、第二旋转轴;21、连接杆体;22、第三旋转轴;23、电镀端口;24、固定基座;25、夹持机构;26、安装腔体;27、弹簧机构;28、防滑贴片。
具体实施方式
14.下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
15.请参阅图1

3,本发明提供的一种实施例:阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机,包括离子镀膜机主体钢架1,离子镀膜机主体钢架1的内部设置有固定板2,固定板2的下端面设置有螺纹杆3,且螺纹杆3设置有六个,螺纹杆3的设置,可以有效的进行高度上的调整,六个螺纹杆3均与离子镀膜机主体钢架1的下端面螺纹连接,六个螺纹杆3的下端面均设置有柱脚4,离子镀膜机主体钢架1的上方设置有镀膜机主体5。
16.进一步,镀膜机主体5的上端面设置有伺服电机6,伺服电机6的一侧设置有固定件7,固定件7的一侧设置有第一输送管道8,伺服电机6的设置,提供转动的动力。
17.进一步,镀膜机主体5的一侧设置有第二输送管道15,且第二输送管道15设置有两个,两个第二输送管道15的下方均设置有第三输送管道17,两个第二输送管道15和第三输送管道17之间设置有连接管道16,且连接管道16设置有两个,连接管道16的设置,让管道进行连接。
18.进一步,镀膜机主体5的前端面设置有运行端口9,运行端口9的前端面设置有检修
挡板10,检修挡板10通过第一旋转轴13与镀膜机主体5转动连接,且第一旋转轴13设置有两个,第一旋转轴13的设置,让转动较为便捷。
19.进一步,检修挡板10一侧设置有安装片11,且安装片11设置有两个,两个安装片11的内部设置有六角铆钉12,且六角铆钉12设置有两个,检修挡板10的内部设置有安装端口14,六角铆钉12的设置,让安装更加的牢靠。
20.进一步,镀膜机主体5的内部设置有内腔体18,内腔体18内部的上方设置有中心转动轴19,中心转动轴19的两侧均设置有连接杆体21,且连接杆体21设置有两个,两个连接杆体21通过第二旋转轴20与中心转动轴19转动连接,且第二旋转轴20设置有两个,两个连接杆体21的一端均设置有电镀端口23,电镀端口23通过第三旋转轴22与连接杆体21转动连接,且第三旋转轴22设置有两个,内腔体18内部的下方设置有固定基座24,固定基座24的上方设置有夹持机构25,夹持机构25的内部设置有安装腔体26,夹持机构25内壁的四周均设置有弹簧机构27,且弹簧机构27设置有四个,安装腔体26的内部设置有防滑贴片28,防滑贴片28的设置,可以有效的加大物件与工价之间连接的摩擦力。
21.工作原理:使用时,将检修挡板10通过第一旋转轴13转动打开,将物件放置在夹持机构25工件内部,通过弹簧机构27的伸缩对物件进行牢靠的固定,而在夹持机构25内的安装腔体26中设置的防滑贴片28,可以有效的加大物件与工价之间连接的摩擦力,而在镀膜机主体5上设置的伺服电机6,可以依靠中心转动轴19进行水平角度的调整,而设置的第二旋转轴20和第三旋转轴22,可以有效调节电镀物件镀膜角度。
22.对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
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