一种导向机构及抛光设备的制作方法

文档序号:22529172发布日期:2020-10-17 01:18阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种导向机构,其特征在于,所述导向机构(1)包括:

底座(11);

支撑杆(12),设置于所述底座(11)的顶部;

轴承(13),所述轴承(13)套接于所述支撑杆(12)上;及

抵接部件(14),所述抵接部件(14)固定连接于所述支撑杆(12)的顶部,并将所述轴承(13)的内圈夹持固定于所述抵接部件(14)和所述底座(11)之间。

2.根据权利要求1所述的导向机构,其特征在于,所述支撑杆(12)沿轴线方向的尺寸不大于所述轴承(13)的轴向尺寸;

所述抵接部件(14)沿径向的尺寸不大于所述轴承(13)的外圈滚道直径。

3.根据权利要求1所述的导向机构,其特征在于,所述底座(11)包括:

第一圆台;

锥台,所述锥台的大径端与所述第一圆台连接;及

第二圆台,与所述锥台的小径端连接,所述第二圆台的直径大于所述支撑杆(12)的直径,所述轴承(13)的底面支撑于所述第二圆台的上端。

4.一种抛光设备,其特征在于,所述抛光设备包括如权利要求1-3中任一项所述的导向机构(1),还包括:

抛光轮(2),所述抛光轮(2)能够绕自身轴线旋转,所述抛光轮(2)中心设置有凹槽,所述底座(11)固定于所述凹槽内,且所述轴承(13)至少部分露出所述凹槽;

抛光组件(5),所述抛光组件(5)设置于所述抛光轮(2)上方,用于将待抛光件压至所述抛光轮(2)表面;

连接组件(4),所述连接组件(4)底端套接于所述轴承(13)外侧,且所述连接组件(4)的底端的外侧与所述抛光组件(5)配合,以实现所述抛光组件(5)的定位。

5.根据权利要求4中所述的抛光设备,其特征在于,所述抛光组件(5)包括:

抛光头(51),所述抛光头(51)能够将待抛光件压至所述抛光轮(2)表面;

第一驱动机构,输出端与所述抛光头(51)连接,所述第一驱动机构能够驱动所述抛光头(51)沿竖直方向运动,并绕所述抛光头(51)自身轴线以相对所述抛光轮(2)反向旋转。

6.根据权利要求5所述的抛光设备,其特征在于,所述连接组件(4)包括:

加工轮(41),套设于所述轴承(13)的外圈,所述加工轮(41)外侧与所述抛光头(51)抵接;

第二驱动机构,输出端与所述加工轮(41)连接,所述第二驱动机构能够驱动所述加工轮(41)相对抛光头(51)反向旋转,以使所述加工轮(41)配合所述抛光头(51)旋转。

7.根据权利要求6中所述的抛光设备,其特征在于,所述加工轮(41)的外侧设置为弹性部,所述弹性部外侧能够与所述抛光头(51)抵接。

8.根据权利要求5所述的抛光设备,其特征在于,所述抛光组件(5)还包括:

承载盘(52),设置于所述抛光头(51)的底面,所述承载盘(52)能够固定所述待抛光件,以通过所述抛光头(51)实现待抛光件的抛光。

9.根据权利要求5-8中任一项所述的抛光设备,其特征在于,所述抛光设备还包括顶板(3),所述连接组件(4)顶端固定于所述顶板(3)底面的中心位置,所述抛光组件(5)设置多个,多个所述抛光组件(5)围绕所述连接组件(4)的周向间隔排列并连接于所述顶板(3)底面。

10.根据权利要求5-8中任一项所述的抛光设备,其特征在于,所述抛光设备还包括冲洗组件(6),所述冲洗组件(6)能够冲洗所述抛光轮(2)表面。


技术总结
本实用新型公开了一种导向机构及抛光设备,涉及晶圆片制造技术领域。该导向机构包括底座、轴承以及设置于底座顶部的支撑杆,轴承套接于支撑杆上,导向机构还包括抵接部件,抵接部件固定连接于支撑杆的顶部,并将轴承的内圈夹持固定于抵接部件和底座之间。当将导向机构的底座和轴承外圈分别连接于两个相对旋转部件时,通过导向机构作为两部件间的相对旋转介质,能够实现两个旋转部件的旋转导向,保证两部件的稳定旋转。抛光设备包括导向机构,还包括抛光轮、抛光组件和连接组件。通过将导向机构的底座和轴承外圈分别连接相对旋转的抛光轮和连接组件,实现抛光轮与连接组件的旋转导向,进而保证抛光组件在连接组件的限制下稳定旋转。

技术研发人员:李洪亮;姚钉丁;沈思情;张俊宝;陈猛
受保护的技术使用者:上海超硅半导体有限公司;重庆超硅半导体有限公司
技术研发日:2020.02.14
技术公布日:2020.10.16
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