一种半导体抛光液的旋转输送装置的制作方法

本实用新型涉及半导体抛光的技术领域，尤其涉及一种半导体抛光液的旋转输送装置。

背景技术：

半导体的化学机械抛光工序中的旋转臂机构作为一个在晶圆研磨过程中输送抛光液的装置，对晶圆研磨品质起着至关重要的作用，但是，旋转臂每次在维护保养后，都需要根据制程重新复位旋转角度，保证流出的抛光液能流到一个精确的位置。

现有技术中，每次调整旋转臂的旋转角度都需要人工调整，每次调整观察角度会有不同，导致旋转臂的旋转角度调整有细微的差别，这样不仅增加了调整的难度和时间，也不利于保证晶圆的研磨品质。

技术实现要素：

本实用新型主要是解决现有技术中所存在的技术问题，从而提供一种调节简单方便且复位精度高的半导体抛光液的旋转输送装置。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

本实用新型提供的半导体抛光液的旋转输送装置，其包括：

旋转臂，包括竖管、旋转头、固定平台和旋转平台，所述竖管与所述旋转头旋转连接，浆液输送管从所述竖管的底部穿入后从所述旋转头的头部穿出；所述竖管的顶部与所述固定平台固定连接，所述旋转头的底部与所述旋转平台固定连接，所述旋转平台位于所述固定平台的上方；

定位机构，包括定位孔、套管、定位销和弹性驱动单元，所述定位孔设置在所述旋转平台的尾部，所述套管固定在所述固定平台的上表面，所述定位销活动地穿设在所述套管内，所述弹性驱动单元与所述定位销相连接，且所述定位销与所述定位孔相配合；

当所述旋转臂处于维护状态时，所述弹性驱动单元拉动所述定位销远离所述定位孔，所述旋转头可相对于所述竖管自由旋转，当所述旋转臂处于工作状态时，所述旋转头相对于所述竖管旋转到初始位置，所述弹性驱动单元拉动所述定位销卡入到所述定位孔中。

进一步地，所述弹性驱动单元包括气缸、连接杆、第一滑块、第二滑块和弹簧，所述气缸固定在所述固定平台的下表面，且所述气缸的活塞杆端部与所述连接杆相连接，所述连接杆向上穿过所述固定平台和套管后与所述第一滑块相连接，所述第一滑块和第二滑块滑动地设置在所述套管内，且所述弹簧连接在所述第一滑块和第二滑块之间，所述第二滑块还与所述定位销的末端固定连接。

进一步地，所述旋转臂的尾部呈弧形。

进一步地，所述定位孔的前部设有锥形导向孔。

本实用新型的有益效果在于：通过在旋转平台的尾部设置定位孔，在固定平台的上表面设置定位销，利用弹性驱动单元控制定位销左右弹性移动，从而达到使定位销柔性的与定位孔相配合或分离的作用，其能使竖管与旋转头的复位角度保持在初始位置，减少了调整的难度和时间，且本实用新型还具有操作简单、结构小巧、安装简单、不影响原有机台功能等优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的半导体抛光液的旋转输送装置的结构示意图；

图2是本实用新型的半导体抛光液的旋转输送装置的弹性驱动单元的内部结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

参阅图1-2所示，本实用新型的半导体抛光液的旋转输送装置，其包括：

旋转臂1，包括竖管11、旋转头12、固定平台13和旋转平台14，竖管11与旋转头12旋转连接，浆液输送管2从竖管11的底部穿入后从旋转头12的头部穿出；竖管11的顶部与固定平台13固定连接，旋转头14的底部与旋转平台14固定连接，旋转平台14位于固定平台13的上方；

定位机构3，包括定位孔31、套管32、定位销33和弹性驱动单元34，定位孔31设置在旋转平台14的尾部，套管32固定在固定平台13的上表面，定位销33活动地穿设在套管32内，弹性驱动单元34与定位销33相连接，且定位销33与定位孔31相配合；

当旋转臂1处于维护状态时，弹性驱动单元34拉动定位销33远离定位孔31，旋转头12可相对于竖管11自由旋转，当旋转臂1处于工作状态时，旋转头12相对于竖管11旋转到初始位置，弹性驱动单元34拉动定位销33卡入到定位孔31中。

本实用新型中，通过在旋转平台14的尾部设置定位孔31，在固定平台13的上表面设置定位销33，利用弹性驱动单元34控制定位销33左右弹性移动，从而达到使定位销33柔性的与定位孔31相配合或分离的作用，其能使竖管11与旋转头12的复位角度保持在初始位置，减少了调整的难度和时间，且本实用新型还具有操作简单、结构小巧、安装简单、不影响原有机台功能等优点。

具体地，弹性驱动单元34包括气缸341、连接杆342、第一滑块343、第二滑块344和弹簧345，气缸341固定在固定平台13的下表面，且气缸341的活塞杆端部与连接杆342相连接，连接杆342向上穿过固定平台13和套管32后与第一滑块343相连接，第一滑块343和第二滑块344滑动地设置在套管32内，且弹簧345连接在第一滑块343和第二滑块344之间，第二滑块344还与定位销33的末端固定连接。

本实用新型中，当旋转臂1处于维护状态时，气缸341的活塞杆伸出，带动第一滑块343向右移动，然后，在弹簧345的作用下，拉动定位销33远离定位孔31。而当旋转臂1处于工作状态时，气缸341的活塞杆缩回，带动第一滑块343向左移动，然后，在弹簧345的作用下，拉动定位销33卡入到定位孔31中。

优选地，为了减小定位销33卡入到定位孔31过程中的干涉，旋转臂1的尾部呈弧形。

优选地，为了提高定位效率，定位孔31的前部设有锥形导向孔35。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。

技术特征：

1.一种半导体抛光液的旋转输送装置，其特征在于，包括：

旋转臂，包括竖管、旋转头、固定平台和旋转平台，所述竖管与所述旋转头旋转连接，浆液输送管从所述竖管的底部穿入后从所述旋转头的头部穿出；所述竖管的顶部与所述固定平台固定连接，所述旋转头的底部与所述旋转平台固定连接，所述旋转平台位于所述固定平台的上方；

定位机构，包括定位孔、套管、定位销和弹性驱动单元，所述定位孔设置在所述旋转平台的尾部，所述套管固定在所述固定平台的上表面，所述定位销活动地穿设在所述套管内，所述弹性驱动单元与所述定位销相连接，且所述定位销与所述定位孔相配合；

当所述旋转臂处于维护状态时，所述弹性驱动单元拉动所述定位销远离所述定位孔，所述旋转头可相对于所述竖管自由旋转，当所述旋转臂处于工作状态时，所述旋转头相对于所述竖管旋转到初始位置，所述弹性驱动单元拉动所述定位销卡入到所述定位孔中。

2.如权利要求1所述的半导体抛光液的旋转输送装置，其特征在于，所述弹性驱动单元包括气缸、连接杆、第一滑块、第二滑块和弹簧，所述气缸固定在所述固定平台的下表面，且所述气缸的活塞杆端部与所述连接杆相连接，所述连接杆向上穿过所述固定平台和套管后与所述第一滑块相连接，所述第一滑块和第二滑块滑动地设置在所述套管内，且所述弹簧连接在所述第一滑块和第二滑块之间，所述第二滑块还与所述定位销的末端固定连接。

3.如权利要求2所述的半导体抛光液的旋转输送装置，其特征在于，所述旋转臂的尾部呈弧形。

4.如权利要求1所述的半导体抛光液的旋转输送装置，其特征在于，所述定位孔的前部设有锥形导向孔。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体抛光液的旋转输送装置，其包括：旋转臂，包括竖管、旋转头、固定平台和旋转平台，竖管与旋转头旋转连接，浆液输送管从竖管的底部穿入后从旋转头的头部穿出；竖管的顶部与固定平台固定连接，旋转头的底部与旋转平台固定连接，旋转平台位于固定平台的上方；定位机构，包括定位孔、套管、定位销和弹性驱动单元，定位孔设置在旋转平台的尾部，套管固定在固定平台的上表面，定位销活动地穿设在套管内，弹性驱动单元与定位销相连接。本实用新型能使竖管与旋转头的复位角度保持在初始位置，减少了调整的难度和时间，且本实用新型还具有操作简单、结构小巧、安装简单、不影响原有机台功能等优点。

技术研发人员：彭代全
受保护的技术使用者：上海裕诗实业有限公司
技术研发日：2020.05.27
技术公布日：2021.01.05