一种提高钼管靶材密度机构的制作方法

1.本实用新型涉及钼管靶材密度机构领域，特别涉及一种提高钼管靶材密度机构。


背景技术：

2.钼管靶材密度机构为一种能够提高钼管靶材中钼的密度的装置，由真空气密箱、激光枪和化料台等组成，放置于宽阔干燥的场地内，具备较好的提纯效果，钼靶材特性主要有高熔点、高电导率、较低的比阻抗、较好的耐腐蚀性以及良好的环保性能，钼靶材中钼的纯度高达99.9％，由于其优异的机械和化学性能，让钼靶材在制造业中得到了广泛的应用，钼靶材广泛用于导电玻璃、stn/tn/tft
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lcd、光学玻璃、离子镀膜等行业，适用所有平面镀膜及旋转镀膜系统，广泛应用于各个领域；然而现有的钼管靶材密度机构在使用时存在一定的弊端，由于其高纯度得不到较好的提炼，往往导致靶材质量容易出现问题，以及钼金属的熔化处理不够全面，并且熔化钼的环境不能达到在干燥的情况下进行。


技术实现要素：

3.本实用新型的主要目的在于提供一种提高钼管靶材密度机构，可以有效解决背景技术中的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
5.一种提高钼管靶材密度机构，包括真空气密箱，所述真空气密箱下表面固定安装有进水孔，所述真空气密箱位于进水孔前方固定安装有废气排放口，所述真空气密箱位于废气排放口前方固定安装有出料管，所述真空气密箱位于出料管前方固定安装有出水孔，所述出料管下端固定安装有防堵阀，所述真空气密箱上表面固定安装有送料管，所述送料管上端螺旋连接有密封盖，所述真空气密箱位于送料管前方固定安装有激光枪，所述真空气密箱位于激光枪前方固定安装有抽气孔，所述真空气密箱位于送料管后方固定安装有充气孔，所述真空气密箱内部固定安装有化料台，所述化料台上端开设有弧形化料口，所述化料台位于弧形化料口下方固定安装有小孔下放板，所述小孔下放板下方固定安装有强电磁台，所述强电磁台上端开设有液态金属存放皿，所述强电磁台中部固定安装有环形定位台，所述强电磁台外侧位于化料台内部开设有输气孔。
6.优选的，所述真空气密箱下表面位于边缘处固定安装有支撑腿，所述密封盖下端固定安装有环形支撑柱。
7.优选的，所述出水孔下端固定安装有一号水管，所述进水孔下端固定安装有二号水管，所述激光枪上端固定连接有穿线管。
8.优选的，所述强电磁台位于液态金属存放皿下方和出料管固定连接，所述输气孔下端和废气排放口固定连接。
9.优选的，所述化料台下端和真空气密箱固定连接，所述密封盖通过环形支撑柱和真空气密箱固定连接。
10.优选的，所述出水孔和进水孔通过降温水管固定连接，所述支撑腿数量共有三个，
所述激光枪和所述穿线管数量均为四个。
11.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
12.本实用新型中，通过设置的激光枪，激光枪可以通过通过所发出的激光对钼粉进行能量转换，激光枪数量共有四个，同时照到钼粉上，钼粉被瞬间熔化，保证了反应的迅速进行，从而使得钼粉中的其他杂质可以被有效的气化，通过设置的进水孔和出水孔，进水孔和出水孔配合缠绕在化料台下半部分上的水管，能够将装置的热能转化，热水则从出水孔流出，可以保证从出料管流出的液态钼更快速的成型冷却，且可有效防止装置因过热而发生意外，通过设置的强电磁台，强电磁台可以有效防止温度已经降低的熔融钼凝固，且能够进一步熔化钼，双重的熔化除杂反应之后，钼金属的纯度会进一步被提升，从而达到了更高密度的钼靶材。
附图说明
13.图1为本实用新型一种提高钼管靶材密度机构的主视图；
14.图2为本实用新型一种提高钼管靶材密度机构的剖面结构图；
15.图3为本实用新型一种提高钼管靶材密度机构的顶面结构图；
16.图4为本实用新型一种提高钼管靶材密度机构的底面结构图。
17.图中：1、真空气密箱；101、支撑腿；102、环形支撑柱；2、出料管；3、出水孔；301、一号水管；4、进水孔；401、二号水管；5、废气排放口；6、送料管；7、激光枪；701、穿线管；8、抽气孔；9、充气孔；10、密封盖；11、化料台；12、弧形化料口；13、小孔下放板；14、输气孔；15、液态金属存放皿；16、环形定位台；17、强电磁台；18、防堵阀。
具体实施方式
18.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
19.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
20.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
21.如图1
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4所示，一种提高钼管靶材密度机构，包括真空气密箱1，真空气密箱1下表面固定安装有进水孔4，真空气密箱1位于进水孔4前方固定安装有废气排放口5，真空气密箱1位于废气排放口5前方固定安装有出料管2，真空气密箱1位于出料管2前方固定安装有出水孔3，出料管2下端固定安装有防堵阀18，真空气密箱1上表面固定安装有送料管6，送料管6上端螺旋连接有密封盖10，真空气密箱1位于送料管6前方固定安装有激光枪7，真空气
密箱1位于激光枪7前方固定安装有抽气孔8，真空气密箱1位于送料管6后方固定安装有充气孔9，真空气密箱1内部固定安装有化料台11，化料台11上端开设有弧形化料口12，化料台11位于弧形化料口12下方固定安装有小孔下放板13，小孔下放板13下方固定安装有强电磁台17，强电磁台17上端开设有液态金属存放皿15，强电磁台17中部固定安装有环形定位台16，强电磁台17外侧位于化料台11内部开设有输气孔14，真空气密箱1达到真空状态，待抽气完成之后，封闭抽气孔8，再通过充气孔9进行充氩气，如此可以保证真空气密箱1内部干燥，对钼金属起到了一个烘干作用，强电磁台17可以在液态金属温度降低时仍保持液态，对下一步液态金属入模具起到了很大的帮助，强电磁台17的电磁感应原理可以进一步熔化金属并提纯金属材料，双重的熔化除杂反应之后，钼金属的纯度会进一步被提升，从而达到了更高密度的钼靶材；
22.真空气密箱1下表面位于边缘处固定安装有支撑腿101，密封盖10下端固定安装有环形支撑柱102；出水孔3下端固定安装有一号水管301，进水孔4下端固定安装有二号水管401，激光枪7上端固定连接有穿线管701；强电磁台17位于液态金属存放皿15下方和出料管2固定连接，输气孔14下端和废气排放口5固定连接；化料台11下端和真空气密箱1固定连接，密封盖10通过环形支撑柱102和真空气密箱1固定连接；出水孔3和进水孔4通过降温水管固定连接，支撑腿101数量共有三个，激光枪7和穿线管701数量均为四个，装置内部缠绕在化料台11下半部分上的水管会对装置进行降温热转换，热水则从出水孔3流出，装置使用时，废气排放口5是被封闭的，使用结束后会被打开进行杂物释放。
23.需要说明的是，本实用新型为一种提高钼管靶材密度机构，在使用时，首先把真空气密箱1内部的空气通过抽气孔8进行抽气，使得真空气密箱1达到真空状态，待抽气完成之后，封闭抽气孔8，再通过充气孔9进行充氩气，如此可以保证真空气密箱1内部干燥，对钼金属起到了一个烘干作用，也有效防止了提纯的金属被氧化，同时防止真空气密箱1受到大气压作用而变形，接着通过送料管6填充钼粉，钼粉进入到弧形化料口12内部，接着被通电的激光枪7将光束打到投放入弧形化料口12内部的钼粉上，激光枪7数量共有四个，同时照到钼粉上，钼粉被瞬间熔化，一些杂质则被气化，得到熔融状态的钼之后，会顺着弧形化料口12向下经过小孔下放板13的小孔均匀的流到液态金属存放皿15内，液态金属存放皿15周围固定安装有强电磁台17，强电磁台17可以在液态金属温度降低时仍保持液态，对下一步液态金属入模具起到了很大的帮助，强电磁台17的电磁感应原理可以进一步熔化金属并提纯金属材料，双重的熔化除杂反应之后，钼金属的纯度会进一步被提升，从而达到了更高密度的钼靶材，被除杂后的液态金属直接通过出料管2流到所需的模具中进行塑形，在此过程中，会对装置的进水孔4进行通水，装置内部缠绕在化料台11下半部分上的水管会对装置进行降温热转换，热水则从出水孔3流出，装置使用时，废气排放口5是被封闭的，使用结束后会被打开进行杂物释放。
24.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。