工件盘镀膜装置的制作方法

1.本实用新型涉及光学薄膜制备技术领域，尤其涉及一种工件盘镀膜装置。


背景技术：

2.在光学薄膜制备过程中，可采用溅射法进行制备，为了保证镀膜均匀，多采用能够自转和公转的工件盘镀膜装置。在现有方案中，由于带动基片转动的自转电机需要处于真空腔内，因此自转电机使用的是真空电机。但是，真空电机的价格比普通电机贵很多，导致设备成本较高；并且，真空环境中没有空气对流，电机散热很难解决，长时间使用容易损坏，影响电机使用寿命；同时，真空电机中要使用大量润滑脂，镀膜环境中需要加热，温度高了润滑脂会污染真空环境，影响镀膜质量。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本实用新型提供一种工件盘镀膜装置，以至少部分解决现有技术中存在的问题。
4.为解决上述问题，本实用新型提供一种工件盘镀膜装置，包括：
5.真空室，所述真空室的底部安装有蒸发源和/或溅射源；
6.公转传动件，所述公转传动件设置于所述真空室内，并与设置于所述真空室外的公转电机传动连接；
7.自转电机，所述自转电机设置于所述真空室内，并通过密封件与所述真空室的其余空间相隔离，所述自转电机与所述公转传动件相连接，并随所述公转传动件绕所述公转电机的轴线公转；所述自转电机的电机线依次经所述公转传动件内部、所述公转电机的空心轴内部由导电滑环导出至所述真空室外；
8.基片，所述基片设置于所述公转传动件外，并通过自转磁流体密封轴与所述自转电机的输出轴传动连接。
9.进一步地，所述公转传动件包括：
10.公转箱体，所述自转电机安装于所述公转箱体内，所述基片安装于所述公转箱体外，所述自转磁流体密封轴穿过所述公转箱体的底壁，并将所述自转电机的输出轴与所述基片传动连接；
11.所述公转箱体形成所述密封件，所述自转电机的电机线经所述公转箱体内部进入所述公转电机的空心轴内部。
12.进一步地，所述公转传动件包括：
13.公转盘，所述公转盘与所述公转电机传动连接，所述自转电机安装于所述公转盘上。
14.进一步地，所述密封件包括：
15.电机罩，所述电机罩罩设于所述自转电机和所述自转磁流体密封轴外，所述电机罩通过波纹管与所述公转电机的空心轴相连接，所述自转电机的电机线经所述波纹管的内
部进入所述公转电机的空心轴内部。
16.进一步地，所述自转电机设置有多组，各所述自转电机分别通过所述自转磁流体密封轴与所述基片一一对应地相连接。
17.进一步地，所述公转传动件与所述公转电机的空心转子相连接，所述公转电机的定子通过公转磁流体密封轴与所述真空室相连接。
18.进一步地，还包括：
19.卡盘，所述基片通过所述卡盘可拆卸地安装于所述自转磁流体密封轴。
20.在上述一种或几种具体实施方式中，本实用新型所提供的工件盘镀膜装置具有如下技术效果：
21.该装置设置了公转传动件和将自转电机与真空室相隔离的密封件，使得所述自转电机设置于所述真空室内，并通过密封件与所述真空室的其余空间相隔离，所述自转电机的电机线依次经所述公转传动件内部、所述公转电机的空心轴内部由导电滑环导出至所述真空室外。这样，自转电机和公转传动件均通过空心轴的气连通结构与外界大气相连，使得自转电机可以采用非真空电机的形式，使用普通电机即可，从而降低了设备成本；并且，由于与大气连通，使得自转电机所处的环境存在空气对流，实现了电机散热，延长了电机的使用寿命；同时，电机环境与大气连通，与真空室隔绝，避免了润滑脂污染真空环境。
附图说明
22.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
23.图1为本实用新型所提供的工件盘镀膜装置在一种实施例中的结构示意图；
24.图2为图1所示工件盘镀膜装置的纵向剖视图；
25.图3为本实用新型所提供的工件盘镀膜装置在另一种实施例中的结构示意图；
26.图4为图3所示工件盘镀膜装置的纵向剖视图。
27.附图标记说明：
[0028]1‑
真空室
ꢀꢀ2‑
公转箱体
ꢀꢀ3‑
基片
ꢀꢀ4‑
溅射源
ꢀꢀ5‑
蒸发源
ꢀꢀ6‑
公转电机
[0029]7‑
导电滑环
ꢀꢀ8‑
电机线
ꢀꢀ9‑
公转磁流体密封轴
ꢀꢀ
10
‑
自转磁流体密封轴
[0030]
11
‑
自转电机
ꢀꢀ
12
‑
电机罩
ꢀꢀ
13
‑
波纹管
ꢀꢀ
14
‑
公转盘
具体实施方式
[0031]
下面结合附图对本实用新型实施例进行详细描述。
[0032]
需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合；并且，基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
[0033]
需要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本公开，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个
方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
[0034]
在一种具体实施方式中，如图1
‑
4所示，本实用新型提供的工件盘镀膜装置用于溅射法或蒸发法真空镀膜工艺中，其包括真空室1、公转传动件、自转电机11和基片3。其中，所述真空室1的底部安装有蒸发源5和/或溅射源4，真空室1作为镀膜的主要工作场所，通过蒸发源5和/或溅射源4向工件上喷射镀膜材料；真空室1中可仅设置蒸发源5或仅设置溅射源4，也可以既设置蒸发源5，又设置溅射源4。
[0035]
公转传动件设置于所述真空室1内，并与设置于所述真空室1外的公转电机6传动连接，公转传动件用于将真空室1外的公转电机6的运动传递给真空室1内的自转电机11，从而带动自转电机11的公转。
[0036]
上述自转电机11设置于所述真空室1内，并通过密封件与所述真空室1的其余空间相隔离；也就是说，自转电机11处于与大气的连通状态，而真空室1的其他空间仍然保持真空状态，为了避免对真空室1内真空环境的影响，自转电机11需要通过密封件隔离起来，这个密封件具体可以为箱体、罩体等各种结构。所述自转电机11与所述公转传动件相连接，并随所述公转传动件绕所述公转电机6的轴线公转；所述自转电机11的电机线8依次经所述公转传动件内部、所述公转电机6的空心轴内部由导电滑环7导出至所述真空室1外，以便自转电机11和公转传动件都能够与大气相连通。
[0037]
基片3设置于所述公转传动件外，并通过自转磁流体密封轴10与所述自转电机11的输出轴传动连接，从而使得自转电机11带动基片3绕自转电机11的轴线自转，以保证基片3各处的镀膜效果，同时基片3在公转电机6和公转传动件的共同作用下绕公转电机6的轴线公转，以便基片3在各不同物料源之间运动，且在多个基片3时保证各基片3均能够得到均匀镀膜。
[0038]
在实际产品中，为了提高加工效率，基片3一般设置多个，每个基片3对应一组自转电机11及自转流体密封轴，也就是说，自转电机11、自转磁流体密封轴10与所述基片3是一一对应的。当基片3设置多个时，自转电机11设置有多组，各所述自转电机11分别通过所述自转磁流体密封轴10与所述基片3一一对应地相连接。
[0039]
具体地，公转传动件与所述公转电机6的空心转子相连接，所述公转电机6的定子通过公转磁流体密封轴9与所述真空室1相连接，以提高传动性能，保证结构合理性。
[0040]
该工件盘镀膜装置还包括卡盘，所述基片3通过所述卡盘可拆卸地安装于所述自转磁流体密封轴10，从而提高基片3的安装稳定性。该卡盘可以为四爪卡盘或者为八爪卡盘等。
[0041]
在上述具体实施方式中，该装置设置了公转传动件和将自转电机11与真空室1相隔离的密封件，使得所述自转电机11设置于所述真空室1内，并通过密封件与所述真空室1的其余空间相隔离，所述自转电机11的电机线8依次经所述公转传动件内部、所述公转电机6的空心轴内部由导电滑环7导出至所述真空室1外。这样，自转电机11和公转传动件均通过空心轴的气连通结构与外界大气相连，使得自转电机11可以采用非真空电机的形式，使用普通电机即可，从而降低了设备成本；并且，由于与大气连通，使得自转电机11所处的环境
存在空气对流，实现了电机散热，延长了电机的使用寿命；同时，电机环境与大气连通，与真空室隔绝，润滑脂不会污染真空环境。
[0042]
进一步地，在不同的实施例中，公转传动件的结构可以有不同形式。
[0043]
具体地，如上述图1和图2所示，公转传动件可以包括公转箱体2，所述自转电机11安装于所述公转箱体2内，所述基片3安装于所述公转箱体2外，所述自转磁流体密封轴10穿过所述公转箱体2的底壁，并将所述自转电机11的输出轴与所述基片3传动连接。此时，由于公转传动件为箱体形式，整个自转电机11均安装在箱体内，用于隔离真空环境的密封件可以由公转箱体2充当，所述自转电机11的电机线8经所述公转箱体2内部进入所述公转电机6的空心轴内部。
[0044]
当自转电机11设置多个时，该公转箱体2可以为整体式箱体，即所有的自转电机11均安装在同一箱体内。
[0045]
也就是说，在该实施例中，公转传动件为公转箱体2，公转箱体2与公转电机6的空心转子相连，公转电机6的定子依次与公转磁流体密封轴9和真空室1相连，公转箱体2能够在公转电机6的带动下转动，公转箱体2内装有自转电机11和自转磁流体密封轴10，基片3装在自转磁流体密封轴10下方的卡盘上，在自转电机11的带动下自转，基片3下面安装有若干蒸发源5或溅射源4，也可能两者都有。自转电机11的电机线8通过公转电机6的空心轴穿出，并通过导电滑环7导出真空室1外。公转箱体2的内部和公转电机6的空心轴内部均与大气相连，自转电机11通过自转磁流体密封轴10把转动传到真空一侧，从而使得自转电机11可以使用普通电机，而无需使用真空电机。
[0046]
在另一个实施例中，如图3和图4所示，所述公转传动件包括公转盘14，所述公转盘14与所述公转电机6传动连接，所述自转电机11安装于所述公转盘14上。此时，公转传动件无法形成密封件，密封件包括电机罩12，所述电机罩12罩设于所述自转电机11和所述自转磁流体密封轴10外，所述电机罩12通过波纹管13与所述公转电机6的空心轴相连接，所述自转电机11的电机线8经所述波纹管13的内部进入所述公转电机6的空心轴内部。
[0047]
也就是说，该实施例中，采用公转盘14替代了上述实施例中的公转箱体2，然后用电机罩12把自转电机11和自转磁流体密封轴10罩起来，再通过波纹管13连通电机罩12和公转电机6的空心轴，自转电机11线8通过波纹管13内部导入到公转电机6的空心轴内部，然后再通过导电滑环7导出真空室1外。电机罩12内部、波纹管13内部和公转电机6的空心轴内部均与大气连通，从而也可以使用普通电机替代真空电机。
[0048]
以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。