内部带有循环吹风系统的哈氏合金管退火炉的制作方法

1.本实用新型涉及退火炉领域，具体为内部带有循环吹风系统的哈氏合金管退火炉。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。
3.哈氏合金管在使用退火炉加工时，需要对退火炉内部的温度进行调控，利用吹风功能使哈氏合金管在退火炉内进行受热，然而原有的退火炉内部不带有循环吹风系统，导致退火炉内部的温度分布不够均匀，造成退火炉内部出现均部过热和过冷的现象，提高了温差导致哈氏合金管的加工质量，降低了退火炉对哈氏合金管加工的工作效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供内部带有循环吹风系统的哈氏合金管退火炉以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：内部带有循环吹风系统的哈氏合金管退火炉，包括退火炉本体，所述退火炉本体内腔的顶部栓接有固定板，所述固定板的顶部开设有通槽，所述退火炉本体右侧正面的顶部栓接有控制器，所述退火炉本体内腔的底部滑动连接有放置架，所述退火炉本体内腔的顶部设置有调节机构，所述调节机构包括步进电机、第一斜齿轮、第二斜齿轮、正反螺纹杆、第三斜齿轮、第四斜齿轮、旋转轴和风扇，所述退火炉本体的顶部栓接有步进电机，所述步进电机的输出轴贯穿退火炉本体并栓接有第一斜齿轮，所述第一斜齿轮的底部啮合有第二斜齿轮，所述退火炉本体内腔两侧的顶部通过轴承转动连接有正反螺纹杆，所述第二斜齿轮的内腔与正反螺纹杆的表面栓接，所述正反螺纹杆的两侧均栓接有第三斜齿轮，所述第三斜齿轮的底部啮合有第四斜齿轮，所述退火炉本体内腔底部的两侧均通过轴承转动连接有旋转轴，所述旋转轴的顶部通过轴承贯穿固定板并与第四斜齿轮的内腔栓接，所述旋转轴远离固定板一侧从上至下均依次栓接有风扇。
6.优选的，所述正反螺纹杆的两侧均螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的底部栓接有连接杆，所述连接杆的底部贯穿通槽并栓接有排风扇。
7.优选的，所述通槽内腔的两侧均栓接有弹簧，所述弹簧相向的一侧栓接有贴合板，所述贴合板远离弹簧的一侧与连接杆的外侧活动连接。
8.优选的，所述退火炉本体内腔底部的两侧均开设有滑轨，所述滑轨的内腔滑动连
接有与放置架配合使用的滑轮。
9.优选的，所述通槽内腔的正面和背面均开设有滑槽，所述滑槽的内腔滑动连接有与连接杆配合使用的滑块。
10.优选的，所述退火炉本体两侧的底部从上至下均依次嵌设有烧嘴，所述退火炉本体左侧的顶部栓接有支撑板，且支撑板的顶部栓接有pid调节控制仪，所述pid调节控制仪的右侧贯穿退火炉本体并向内延伸。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1、本实用新型通过步进电机提供驱动来源，通过第一斜齿轮、第二斜齿轮、正反螺纹杆、第三斜齿轮、第四斜齿轮、旋转轴和风扇的配合，可对退火炉本体进行循环吹风，使其温度分布更加均匀，从而使哈氏合金管表面受热均匀，提高了哈氏合金管的质量，避免了退火炉本体局部过热或过冷的现象，减少了温差导致产品应力，解决了传统退火炉内部不带有循环吹风系统的问题。
13.2、本实用新型通过罗螺纹套、连接杆和排风扇的配合，进一步加强了退火炉本体内部受热均匀，同时加快了内部温度的循环流通速度，通过弹簧和贴合板的配合，可对连接杆提供限位支撑，增强了连接杆的稳定性，通过滑轨和滑轮的配合，便于使用者对放置架的移动，方便使用者在放置架的表面放置哈氏合金管，通过滑槽和滑块的配合，可对连接杆进行滑动限位，增强了连接杆的固定效果，通过烧嘴和pid调节控制仪的配合，可对退火炉本体内部的温度进行测量，从而便于使用者通过烧嘴对退火炉本体内部提供热量，使退火炉本体内部的温度保持一致。
附图说明
14.图1为本实用新型的整体结构示意图；
15.图2为本实用新型的内部带有循环吹风系统的哈氏合金管退火炉结构剖视图；
16.图3为本实用新型的固定板、通槽、连接杆、旋转轴、滑槽、滑块、弹簧和贴合板结构立体图。
17.图中：1、退火炉本体；2、固定板；3、通槽；4、放置架；5、调节机构； 51、步进电机；52、第一斜齿轮；53、第二斜齿轮；54、正反螺纹杆；55、第三斜齿轮；56、第四斜齿轮；57、旋转轴；58、风扇；6、螺纹套；7、连接杆；8、排风扇；9、弹簧；10、贴合板；11、滑轨；12、滑轮；13、滑槽； 14、滑块；15、烧嘴；16、pid调节控制仪。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，
术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
20.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
21.请参阅图1-3，本实用新型提供的一种实施例：内部带有循环吹风系统的哈氏合金管退火炉，包括退火炉本体1，退火炉本体1内腔的顶部栓接有固定板 2，固定板2的顶部开设有通槽3，退火炉本体1右侧正面的顶部栓接有控制器，退火炉本体1内腔的底部滑动连接有放置架4，退火炉本体1内腔的顶部设置有调节机构5，通过步进电机51提供驱动来源，通过第一斜齿轮52、第二斜齿轮53、正反螺纹杆54、第三斜齿轮55、第四斜齿轮56、旋转轴57和风扇58 的配合，可对退火炉本体1进行循环吹风，使其温度分布更加均匀，从而使哈氏合金管表面受热均匀，提高了哈氏合金管的质量，避免了退火炉本体1局部过热或过冷的现象，减少了温差导致产品应力，解决了传统退火炉内部不带有循环吹风系统的问题，调节机构5包括步进电机51、第一斜齿轮52、第二斜齿轮53、正反螺纹杆54、第三斜齿轮55、第四斜齿轮56、旋转轴57和风扇58，退火炉本体1的顶部栓接有步进电机51，步进电机51的输出轴贯穿退火炉本体 1并栓接有第一斜齿轮52，第一斜齿轮52的底部啮合有第二斜齿轮53，退火炉本体1内腔两侧的顶部通过轴承转动连接有正反螺纹杆54，第二斜齿轮53的内腔与正反螺纹杆54的表面栓接，正反螺纹杆54的两侧均栓接有第三斜齿轮 55，第三斜齿轮55的底部啮合有第四斜齿轮56，退火炉本体1内腔底部的两侧均通过轴承转动连接有旋转轴57，旋转轴57的顶部通过轴承贯穿固定板2并与第四斜齿轮56的内腔栓接，旋转轴57远离固定板2一侧从上至下均依次栓接有风扇58，通过步进电机51提供驱动来源，通过第一斜齿轮52、第二斜齿轮 53、正反螺纹杆54、第三斜齿轮55、第四斜齿轮56、旋转轴57和风扇58的配合，可对退火炉本体1进行循环吹风，使其温度分布更加均匀，从而使哈氏合金管表面受热均匀，提高了哈氏合金管的质量，避免了退火炉本体1局部过热或过冷的现象，减少了温差导致产品应力。
22.正反螺纹杆54的两侧均螺纹连接有螺纹套6，螺纹套6的底部栓接有连接杆7，连接杆7的底部贯穿通槽3并栓接有排风扇8，通过罗螺纹套6、连接杆 7和排风扇8的配合，进一步加强了退火炉本体1内部受热均匀，同时加快了内部温度的循环流通速度。
23.通槽3内腔的两侧均栓接有弹簧9，弹簧9相向的一侧栓接有贴合板10，贴合板10远离弹簧9的一侧与连接杆7的外侧活动连接，通过弹簧9和贴合板 10的配合，可对连接杆7提供限位支撑，增强了连接杆7的稳定性。
24.退火炉本体1内腔底部的两侧均开设有滑轨11，滑轨11的内腔滑动连接有与放置架4配合使用的滑轮12，通过滑轨11和滑轮12的配合，便于使用者对放置架4的移动，方便使用者在放置架4的表面放置哈氏合金管。
25.通槽3内腔的正面和背面均开设有滑槽13，滑槽13的内腔滑动连接有与连接杆7配合使用的滑块14，通过滑槽13和滑块14的配合，可对连接杆7进行滑动限位，增强了连接杆7的固定效果。
26.退火炉本体1两侧的底部从上至下均依次嵌设有烧嘴15，退火炉本体1左侧的顶部
栓接有支撑板，且支撑板的顶部栓接有pid调节控制仪16，pid调节控制仪16的右侧贯穿退火炉本体1并向内延伸，通过烧嘴15和pid调节控制仪16的配合，可对退火炉本体1内部的温度进行测量，从而便于使用者通过烧嘴15对退火炉本体1内部提供热量，使退火炉本体1内部的温度保持一致。
27.工作原理：作业时，首先使用者通过控制器开启步进电机51运转，接着步进电机51的输出轴带动第一斜齿轮52转动，然后第一斜齿轮52带动第二斜齿轮53转动，从而第二斜齿轮53带动正反螺纹杆54转动，随后正反螺纹杆54 带动第三斜齿轮55转动，同时正反螺纹杆54带动螺纹套6向内侧移动，从而螺纹套6带动连接杆7向内侧移动，随后连接杆7带动排风扇8向内侧移动，接着第三斜齿轮55带动第四斜齿轮56转动，然后第四斜齿轮56带动旋转轴57 转动，从而旋转轴57带动风扇58进行转动，可对退火炉本体1进行循环吹风，使其温度分布更加均匀，同理当正反螺纹杆54带动螺纹套6外移，然后螺纹套6带动连接杆7外移，随后连接杆7带动排风扇8外移，依次循环，从而避免了退火炉本体1局部过热或过冷的现象。
28.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。