一种钛丝退火炉的制作方法

1.本实用新型属于热处理设备技术领域，具体涉及一种钛丝退火炉。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
3.然而现有的钛丝退火炉，不能对底盒进行移动，不能将盖板进行移动对炉体进行密封，不方便对退火炉进行控制温度，影响退火炉的热处理效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种钛丝退火炉，可以对底盒进行移动，可以将盖板进行移动对炉体进行密封，方便对退火炉进行控制温度，提高了退火炉的热处理效率，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种钛丝退火炉，包括支架，所述支架上设置底箱、安装板、滑杆、转杆和炉体，所述底箱上设置有底盒，所述底盒滑动连接在所述底箱内，所述底盒上设置有两个拉动把手，所述安装板上设置有转动机构，所述滑杆设置有两个，两个所述滑杆上分别设置有滑块，两个所述滑块上分别设置有支杆，两个所述支杆分别通过轴承与两个所述滑块转动连接，两个所述支杆上设置有盖板，所述转杆上设置有两个转盘和转轮，两个所述转盘上分别设置有铁丝，两个所述铁丝分别与两个所述支杆连接，所述转轮上设置有铁链，所述铁链一端与转轮连接另一端与所述转动机构连接。
7.较佳的，所述转动机构包括伺服电机和连接杆，所述伺服电机通过螺钉固定安装在所述安装板上，所述连接杆通过联轴器与所述伺服电机的输出轴传动连接。
8.通过上述技术方案，伺服电机带动转轮进行转动，进而带动转盘转动对铁丝进行收卷。
9.较佳的，所述伺服电机上设置有保护箱。
10.通过上述技术方案，保护箱的设置可以对伺服电机有一定保护作用。
11.较佳的，所述支架底部设置有支腿，所述支腿设置有四个。
12.通过上述技术方案，支腿的设置有一定高度，方便工作人员操作。
13.较佳的，四个所述支腿上设置有若干个加强杆。
14.通过上述技术方案，加强杆的设置可以使得支腿更加牢固稳定。
15.较佳的，四个所述支腿上均设置有滚轮。
16.通过上述技术方案，滚轮的设置可以使得退火炉可以进行移动。
17.较佳的，所述支架上设置有放置架。
18.通过上述技术方案，放置架的设置可以放置使用工具，方便工作人员使用。
19.综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：
20.1、依靠两个转盘进行转动对铁丝进行收卷，使得盖板可以进行升降，对炉体进行密封。
21.2、利用拉动两个拉动把手可以将底盒从底箱内拉出，方便控制退火炉内的温度，提高了退火炉的热处理效率。
附图说明
22.图1为本实用新型的结构示意图；
23.图2为本实用新型的右视结构示意图；
24.图3为本实用新型的图1中a处放大示意图。
25.附图标记：1、支架；2、底箱；3、安装板；4、滑杆；5、转杆；6、炉体；7、底盒；8、拉动把手；9、转动机构；10、滑块；11、支杆；12、盖板；13、转盘；14、转轮；15、铁丝；16、铁链；17、伺服电机；18、连接杆；19、保护箱；20、支腿；21、加强杆；22、滚轮；23、放置架。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.参考图1到图3，本实用新型提供一种技术方案：一种钛丝退火炉，包括支架1，支架1上设置底箱2、安装板3、滑杆4、转杆5和炉体6，底箱2上设置有底盒7，底盒7滑动连接在底箱2内，底盒7上设置有两个拉动把手8，安装板3上设置有转动机构9，滑杆4设置有两个，两个滑杆4上分别设置有滑块10，两个滑块10上分别设置有支杆11，两个支杆11分别通过轴承与两个滑块10转动连接，两个支杆11上设置有盖板 12，转杆5上设置有两个转盘13和转轮14，两个转盘13上分别设置有铁丝15，两个铁丝15分别与两个支杆11连接，转轮14上设置有铁链16，铁链16一端与转轮14连接另一端与转动机构9连接。
28.参考图1到图3，转动机构9包括伺服电机17和连接杆18，伺服电机17通过螺钉固定安装在安装板3上，连接杆18通过联轴器与伺服电机 17的输出轴传动连接，伺服电机17带动转轮14进行转动，进而带动转盘 13转动对铁丝15进行收卷。
29.参考图1到图3，伺服电机17上设置有保护箱19，保护箱19的设置可以对伺服电机17有一定保护作用。
30.参考图1到图3，支架1底部设置有支腿20，支腿20设置有四个，支腿20的设置有一定高度，方便工作人员操作。
31.参考图1到图3，四个支腿20上设置有若干个加强杆21，加强杆21 的设置可以使得支腿20更加牢固稳定。
32.参考图1到图3，四个支腿20上均设置有滚轮22，滚轮22的设置可以使得退火炉可以进行移动。
33.参考图1到图3，支架1上设置有放置架23，放置架23的设置可以放置使用工具，方
便工作人员使用。
34.工作原理：退火炉使用时，可以通过拉动两个拉动把手8将底盒7从底箱2内拉出，减少退火炉的保温效率，可以打开伺服电机17，伺服电机 17通过铁链16带动转轮14进行转动，转轮14带动转杆5进行转动使得两个转盘13进行收卷，盖板12进行升降，升到炉体6顶端翻转盖板12 将炉体6进行密封，使得炉体6进行保温。
35.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种钛丝退火炉，其特征在于，包括：支架(1)，所述支架(1)上设置底箱(2)、安装板(3)、滑杆(4)、转杆(5)和炉体(6)，所述底箱(2)上设置有底盒(7)，所述底盒(7)滑动连接在所述底箱(2)内，所述底盒(7)上设置有两个拉动把手(8)，所述安装板(3)上设置有转动机构(9)，所述滑杆(4)设置有两个，两个所述滑杆(4)上分别设置有滑块(10)，两个所述滑块(10)上分别设置有支杆(11)，两个所述支杆(11)分别通过轴承与两个所述滑块(10)转动连接，两个所述支杆(11)上设置有盖板(12)，所述转杆(5)上设置有两个转盘(13)和转轮(14)，两个所述转盘(13)上分别设置有铁丝(15)，两个所述铁丝(15)分别与两个所述支杆(11)连接，所述转轮(14)上设置有铁链(16)，所述铁链(16)一端与转轮(14)连接另一端与所述转动机构(9)连接。2.根据权利要求1所述的一种钛丝退火炉，其特征在于：所述转动机构(9)包括伺服电机(17)和连接杆(18)，所述伺服电机(17)通过螺钉固定安装在所述安装板(3)上，所述连接杆(18)通过联轴器与所述伺服电机(17)的输出轴传动连接。3.根据权利要求2所述的一种钛丝退火炉，其特征在于：所述伺服电机(17)上设置有保护箱(19)。4.根据权利要求1所述的一种钛丝退火炉，其特征在于：所述支架(1)底部设置有支腿(20)，所述支腿(20)设置有四个。5.根据权利要求4所述的一种钛丝退火炉，其特征在于：四个所述支腿(20)上设置有若干个加强杆(21)。6.根据权利要求4所述的一种钛丝退火炉，其特征在于：四个所述支腿(20)上均设置有滚轮(22)。7.根据权利要求1所述的一种钛丝退火炉，其特征在于：所述支架(1)上设置有放置架(23)。

技术总结
本实用新型公开了一种钛丝退火炉，包括支架，所述支架上设置底箱、安装板、滑杆、转杆和炉体，所述底箱上设置有底盒，所述底盒滑动连接在所述底箱内，所述底盒上设置有两个拉动把手，所述安装板上设置有转动机构，所述滑杆设置有两个，两个所述滑杆上分别设置有滑块，两个所述滑块上分别设置有支杆，两个所述支杆上设置有盖板，所述转杆上设置有两个转盘和转轮，两个所述转盘上分别设置有铁丝，两个所述铁丝分别与两个所述支杆连接，所述转轮上设置有铁链，所述铁链一端与转轮连接另一端与所述转动机构连接，本实用新型的可以使得盖板进行升降，将底盒从底箱内拉出，方便控制退火炉内的温度，提高了退火炉的热处理效率。提高了退火炉的热处理效率。提高了退火炉的热处理效率。


技术研发人员：李金玉
受保护的技术使用者：宝鸡市永兴鸿泰有色金属材料股份有限公司
技术研发日：2020.12.24
技术公布日：2021/10/23