技术特征：
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体(1)，所述坩埚本体(1)具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔(11)，且每个所述容腔(11)的顶部开设有开口(12)；加热装置(2)，设置于所述坩埚本体(1)外部，能够分别加热各个所述容腔(11)；其中，所述容腔(11)共用一个所述开口(12)。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述容腔(11)关于所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线呈环形阵列设置。3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述容腔(11)中，每两个所述容腔(11)对应设置成一组；每组中的两个所述容腔(11)关于所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线对称设置。4.根据权利要求2或3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，各个所述容腔(11)分别与所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线呈锐角倾斜设置。5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚，其特征在于，各个所述容腔(11)分别与所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线倾斜形成相同的夹角θ。6.根据权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述夹角θ满足：15
°
≤θ≤75
°
。7.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括外壳(3)；所述外壳(3)间隔套设于所述坩埚本体(1)的外部，并与所述坩埚本体(1)共同围成用于安装所述加热装置(2)的安装空间。8.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述加热装置(2)对应设置于所述坩埚本体(1)围成所述容腔(11)的外周壁；所述加热装置(2)包括第一加热部和第二加热部；其中，所述第一加热部设置于所述坩埚本体(1)的靠近所述开口(12)的外周壁处，所述第二加热部设置于所述坩埚本体(1)的靠近所述容腔(11)的底部周壁处。9.一种蒸镀装置，其特征在于，包括电源和权利要求1～8中任一项所述的蒸镀坩埚；其中，所述电源与所述加热装置(2)电连接。10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括用于固定基材的固定件(4)；所述固定件(4)能够将基材固定设置所述开口(12)的正上方，且能够带动所述基材沿水平方向转动。
技术总结
本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔，且每个容腔的顶部开设有开口；加热装置设置于坩埚本体外部，能够分别加热各个容腔；其中，容腔共用一个开口。与现有技术中点蒸镀工艺中的圆桶装蒸镀坩埚相比，本申请实施提供的蒸镀坩埚能够使不同种类的蒸镀材料以相同受热消耗速率来对基材进行同时蒸镀，提高了不同蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。
技术研发人员：林文晶 轩景泉 赵军 崔建勇
受保护的技术使用者：上海升翕光电科技有限公司
技术研发日：2021.01.08
技术公布日：2022/7/14