一种真空镀膜机的制作方法

1.本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜机。


背景技术：

2.真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。
3.中国专利号为cn109930128b的专利公开了一种真空镀膜机，包括底板、扩散泵和机械泵，所述底板的下端表面左右两侧均固定安装有支架，所述罩体的内部左侧设置有真空计，所述罩体的内部右侧设置有放气阀，所述罩体的内部左右两侧均设置有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的上端外表面等间距固定连接有待镀金属，所述电动伸缩杆的内侧设置有框体，所述框体的右侧表面固定安装有电机，所述连动结构上安装连接有固定盘，所述底板的上表面右侧固定安装有储液箱。
4.其设置的罩体在工作过程中，需要不断地拆卸、安装，不仅影响罩体内的密封性，还费时费力，并且其设置的夹持组件处于蒸发电极的下方，使需要镀膜的工件未能很好的吸附罩体内的待镀颗粒，镀膜效果不佳，并且其设置的喷头未能对易聚集在罩体顶部的颗粒进行冲洗，冲洗效果不佳。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种真空镀膜机，以解决现有技术中镀膜效果不佳以及罩体拆装造成密封性差、劳动成本高的技术问题。
6.本发明提供一种真空镀膜机，包括箱体，所述箱体内设置有蒸发组件、齿轮传动组件、喷淋组件和若干个夹持组件，所述蒸发组件、齿轮传动组件和喷淋组件自下而上依次设置在箱体内，若干个所述夹持组件呈上下交错分布在齿轮传动组件上，所述蒸发组件包括蒸发架、滤网和防水部件，所述蒸发架与箱体固定连接，所述滤网设置在蒸发架的底部，所述蒸发架内设置有若干个蒸发电极，所述防水部件设置在蒸发架的顶部，所述箱体下部的一侧设置有排水管，所述箱体的顶部设置有排气管，所述箱体中部的一侧开设有操作门。
7.进一步，所述防水部件包括第一电机和两个半圆门，其中一个所述半圆门的一端设置有主动转轴，另一个所述半圆门的一端设置有从动转轴，所述主动转轴和从动转轴与箱体转动连接，所述主动转轴上设置有主动齿轮，所述从动转轴上设置有从动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮相互啮合，所述第一电机安装在箱体的底部，且所述第一电机的输出端与主动转轴连接。
8.进一步，所述齿轮传动组件包括第一轴杆、固定杆、第二电机、若干个第一锥齿轮、若干个第二轴杆和若干个第二锥齿轮，所述第一轴杆的底部与箱体转动连接，所述第一轴
杆的顶部与箱体转动连接，所述第二电机设置在箱体的底部，且所述第二电机的输出端与第一轴杆连接，所述第一轴杆为中空结构，所述固定杆设置在第一轴杆的内部，且所述固定杆的顶端与箱体固定连接，若干个所述第一锥齿轮等间距设置在固定杆上，每个所述第二轴杆均贯穿设置在第一轴杆的一侧，所述第二锥齿轮设置在第二轴杆的一端，且每个所述第二锥齿轮均与对应的第一锥齿轮相互啮合，每个所述第二轴杆与第一轴杆的连接处均设置有加固圈。
9.进一步，所述固定杆的底部设置有轴承，所述轴承的内部与固定杆固定连接，所述轴承的外部与第一轴杆转动连接。
10.进一步，所述夹持组件与第二轴杆数量相同且一一对应，每个所述夹持组件包括“l”形的固定块、滑块和螺杆，每个所述固定块均设置在对应的第二轴杆的另一端，每个所述固定块上均开设有滑槽，每个所述滑块均与对应的滑槽滑动连接，每个所述螺杆均贯穿对应的固定块和滑块设置。
11.进一步，每个所述固定块和滑块的夹持面均对称设置有防滑纹。
12.进一步，所述喷淋组件包括若干个进水管和若干个喷头，所述进水管和喷头的数量相同且一一对应，每个所述进水管均设置在箱体的内部，每个所述喷头设置在进水管的一端，且每个所述喷头的输出端均倾斜朝向箱体的顶部。
13.与现有技术相比较，本发明的有益效果在于：
14.(1)本发明通过第一锥齿轮与第二锥齿轮的啮合，使夹持组件对镀件进行多角度的转动，使镀件能全方位地吸附待镀颗粒，提高了镀膜的效果，并且操作过程中不需要额外的消耗资源，使镀膜工作可以节能、高效地进行。
15.(2)本发明通过防水部件用于在进行清洗工作时，防止清洗液进入蒸发架而对蒸发电极造成腐蚀，进而影响设备的正常运行，降低了运行维护的成本，节省了人力物力。
16.(3)本发明可实现连续工作，不需要频繁地对设备进行拆卸，减少因频繁对设备操作而产生的隐患，并且通过轴承和加固圈的设置使设备运行更加稳定，提高本发明的实用性。
附图说明
17.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为本发明的立体结构示意图；
19.图2为本发明的剖视图；
20.图3为本发明的第一局部结构示意图；
21.图4为本发明的第二局部结构示意图；
22.图5为本发明中夹持组件的结构示意图。
23.附图标记：
24.1、箱体；2、蒸发组件；3、齿轮传动组件；4、喷淋组件；5、夹持组件；6、蒸发架；7、防水部件；8、排水管；9、排气管；10、操作门；31、第一轴杆；32、固定杆；33、第二电机；34、第一
锥齿轮；35、第二轴杆；36、第二锥齿轮；37、加固圈；38、轴承；41、进水管；42、喷头；51、固定块；52、滑块；53、螺杆；54、滑槽；55、防滑纹；61、滤网；62、蒸发电极；71、半圆门；72、第一电机；73、主动转轴；74、从动转轴；75、主动齿轮；76、从动齿轮。
具体实施方式
25.下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
26.通常在此处附图中描述和显示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。
27.基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
28.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
29.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
30.下面结合图1至图5所示，本发明实施例提供了一种真空镀膜机，包括箱体1，所述箱体1内设置有蒸发组件2、齿轮传动组件3、喷淋组件4和若干个夹持组件5，所述蒸发组件2、齿轮传动组件3和喷淋组件4自下而上依次设置在箱体1内，若干个所述夹持组件5呈上下交错分布在齿轮传动组件3上，所述蒸发组件2包括蒸发架6、滤网61和防水部件7，所述蒸发架6与箱体1固定连接，所述滤网61设置在蒸发架6的底部，所述蒸发架6内设置有若干个蒸发电极62，所述防水部件7设置在蒸发架6的顶部，所述箱体1下部的一侧设置有排水管8，所述箱体1的顶部设置有排气管9，所述箱体1中部的一侧开设有操作门10。
31.工作原理：在进行镀膜准备工作时，操作人员通过开启操作门10，将待镀金属放置在蒸发电极62上，将镀件放置在夹持组件5上，并通过螺杆53调节，以夹紧镀件，而后关闭操作门10，通过排气管9抽气将箱体1处于真空状态，随后开始镀膜工作，开启第一电机72转动主动转轴73，并通过主动齿轮75与从动齿轮76的啮合打开防水部件7，通过蒸发电极62对待镀金属进行加热，并开启第二电机33使第一轴杆31转动，第一轴杆31转动带动第一轴杆31上的若干个第二轴杆35横向转动，同时，每个第二轴杆35上的第二锥齿轮36与固定杆上的第一锥齿轮34啮合，使第二轴杆35纵向转动，通过两个方向的转动，使镀件能够更好地吸收环境内的待镀颗粒，在镀膜结束后，再通过第一电机72关闭防水部件7，再通过喷淋组件4对箱体的内壁进行冲洗，完成清洗操作。
32.具体地，所述防水部件7包括第一电机72和两个半圆门71，其中一个所述半圆门71
的一端设置有主动转轴73，另一个所述半圆门71的一端设置有从动转轴74，所述主动转轴73和从动转轴74与箱体1转动连接，所述主动转轴73上设置有主动齿轮75，所述从动转轴74上设置有从动齿轮76，所述主动齿轮75与从动齿轮76相互啮合，所述第一电机72安装在箱体1的底部，且所述第一电机72的输出端与主动转轴73连接。防水部件7用于在进行清洗工作时，防止清洗液进入蒸发架6而对蒸发电极62造成腐蚀。
33.具体地，所述齿轮传动组件3包括第一轴杆31、固定杆32、第二电机33、若干个第一锥齿轮34、若干个第二轴杆35和若干个第二锥齿轮36，所述第一轴杆31的底部与箱体1转动连接，所述第一轴杆31的顶部与箱体1转动连接，所述第二电机33设置在箱体1的底部，且所述第二电机33的输出端与第一轴杆31连接，所述第一轴杆31为中空结构，所述固定杆32设置在第一轴杆31的内部，且所述固定杆32的顶端与箱体1固定连接，若干个所述第一锥齿轮34等间距设置在固定杆32上，每个所述第二轴杆35均贯穿设置在第一轴杆31的一侧，所述第二锥齿轮36设置在第二轴杆35的一端，且每个所述第二锥齿轮36均与对应的第一锥齿轮34相互啮合，每个所述第二轴杆35与第一轴杆31的连接处均设置有加固圈37。通过第一锥齿轮34与第二锥齿轮36的啮合，使夹持组件5对镀件进行多角度的转动，使镀件能全方位地吸附待镀颗粒，提高镀膜的效果，加固圈37保证第二轴杆35能稳定地在第一轴杆31上转动。
34.具体地，所述固定杆32的底部设置有轴承38，所述轴承38的内部与固定杆32固定连接，所述轴承38的外部与第一轴杆31转动连接。轴承38的设置保证了固定杆32在第一轴杆31内处于稳定的状态，防止因固定杆32晃动而使整个齿轮传动组件3失效。
35.具体地，所述夹持组件5与第二轴杆35数量相同且一一对应，每个所述夹持组件5包括“l”形的固定块51、滑块52和螺杆53，每个所述固定块51均设置在对应的第二轴杆35的另一端，每个所述固定块51上均开设有滑槽54，每个所述滑块52均与对应的滑槽54滑动连接，每个所述螺杆53均贯穿对应的固定块51和滑块52设置。通过旋转螺杆53而紧固夹持组件5内的镀件，保证在镀膜过程中镀件不会从夹持组件5上脱落。
36.具体地，每个所述固定块51和滑块52的夹持面均对称设置有防滑纹55。防滑纹55可以进一步保证镀件不会从夹持组件5上脱落，并且防滑纹55内可以允许箱体1内的待镀颗粒从防滑纹55的缝隙中进入镀件，保证镀件能全面地吸附待镀颗粒。
37.具体地，所述喷淋组件4包括若干个进水管41和若干个喷头42，所述进水管41和喷头42的数量相同且一一对应，每个所述进水管41均设置在箱体1的内部，每个所述喷头42设置在进水管41的一端，且每个所述喷头42的输出端均倾斜朝向箱体1的顶部。喷头42倾斜向上设置可以冲洗聚集在箱体1顶部的待镀颗粒，并沿箱体1内壁冲洗直至箱体1底部，冲洗面更广，冲洗效果更佳。
38.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。