金属遮罩及其检测方法与流程

1.本发明是有关于一种用于图案化制程工具及其检测方法，且特别是有关于一种金属遮罩及其检测方法。


背景技术：

2.现今有些显示面板，例如有机发光二极管(organic light emitting diode，oled)显示面板，采用精细金属遮罩(fine metal mask，fmm)为制程工具之一。具体而言，有机发光二极管显示面板是采用蒸镀(evaporation)制造。在蒸镀过程中，使用精细金属遮罩放置在玻璃板上，而蒸镀过程中产生的镀料能依照精细金属遮罩的多个开口沉积在玻璃板上，以形成有机发光二极管显示面板内的膜层，例如发光层。
3.目前显示面板(包括有机发光二极管显示面板)已朝向高分辨率趋势发展。为了制造高分辨率的显示面板，金属遮罩需要具有相当薄的厚度，而且金属遮罩的这些开口在位置与形状上的误差不能过大，否则会制造出不良的显示面板，造成良率下降。


技术实现要素：

4.本发明至少一实施例提出一种金属遮罩的检测方法，其能帮助筛选金属遮罩，确保使用符合检测标准的金属遮罩，以达到提升良率的目的。
5.本发明至少一实施例还提出一种金属遮罩，其可用上述检测方法而筛选得到。
6.本发明至少一实施例所提出的金属遮罩的检测方法包括提供金属遮罩，其中金属遮罩具有彼此相对的第一长边与第二长边、彼此相对的第一短边与第二短边以及多个图案区，其中第一长边、第二长边、第一短边与第二短边围绕这些图案区，而这些图案区呈规则排列。根据邻近第一长边与第二长边的这些图案区，定义第一基准直线与第二基准直线，其中第一基准直线邻近第一长边，并沿着第一长边延伸。第二基准直线邻近第二长边，并沿着第二长边延伸。接着，量测邻近第一长边的这些图案区与第一基准直线之间的第一最大偏移长度，其中第一最大偏移长度与第一基准直线垂直。量测邻近第二长边的这些图案区与第二基准直线之间的第二最大偏移长度，其中第二最大偏移长度与第二基准直线垂直。当第一最大偏移长度与第二最大偏移长度之间的相差值小于或等于20微米时，判断金属遮罩符合检测标准，即符合制程使用之合格金属遮罩。在本发明至少一实施例中，上述检测方法还包括当第一最大偏移长度小于或等于30微米时，判断金属遮罩为符合检测标准之遮罩，即符合制程所需的合格金属遮罩。反之，当第一最大偏移长度大于30微米时，判断金属遮罩为不合格遮罩。
7.在本发明至少一实施例中，上述检测方法还包括当第二最大偏移长度小于或等于30微米时，判断金属遮罩为符合检测标准之遮罩，即符合制程所需的合格金属遮罩。反之，当第二最大偏移长度大于30微米时，判断金属遮罩为不合格遮罩。在本发明至少一实施例中，上述检测方法还包括根据邻近第一短边的这些图案区，定义第三基准直线，其中第三基准直线邻近第一短边，并沿着第一短边延伸。接着，量测邻近第一短边的这些图案区与第三
基准直线之间的第三最大偏移长度，其中第三最大偏移长度与第三基准直线垂直。当第三最大偏移长度小于或等于10微米时，判断金属遮罩为符合检测标准之遮罩，即符合制程所需的合格金属遮罩。反之，当第三最大偏移长度大于10微米时，判断金属遮罩为不合格遮罩。
8.本发明至少一实施例所提出的金属遮罩的检测方法包括在翘曲的金属遮罩上定义彼此平行且分离的第一基准直线与第二基准直线，其中第一基准直线的长度为l1，第二基准直线的长度为l2。接着，摊平金属遮罩，以使第一基准直线变成第一形变线，第二基准直线变成第二形变线，其中第一形变线的长度为l3，第二形变线的长度为l4。接着，判断第一基准直线的长度l1、第二基准直线的长度l2、第一形变线的长度l3与第二形变线的长度l4是否满足以下数学式：
9.│
(l3+l4)/2
‑
(l1+l2)/2
│
≤20微米
10.当第一基准直线的长度l1、第二基准直线的长度l2、第一形变线的长度l3与第二形变线的长度l4满足数学式时，判断金属遮罩符合检测标准。
11.在本发明至少一实施例中，上述摊平金属遮罩的方法包括将金属遮罩夹置于两块硬式基板之间，以使这些硬式基板压平金属遮罩。
12.在本发明至少一实施例中，上述第一基准直线与第二基准直线之间的距离介于3公分至25公分之间。
13.在本发明至少一实施例中，上述第一基准直线与第二基准直线两者长度不相等。
14.本发明至少一实施例所提出的金属遮罩的检测方法包括提供金属遮罩，其中金属遮罩具有彼此相对的第一长边与第二长边、彼此相对的第一短边与第二短边以及多个图案区，其中第一长边、第二长边、第一短边与第二短边围绕这些图案区，而这些图案区呈规则排列。接着，根据邻近第一长边与第二长边的这些图案区，定义第一基准直线与第二基准直线，其中第一基准直线邻近第一长边，并沿着第一长边延伸，第二基准直线邻近第二长边，并沿着第二长边延伸。接着，量测邻近第一长边的这些图案区与第一基准直线之间的第一最大偏移长度，其中第一最大偏移长度与第一基准直线垂直。量测邻近第二长边的这些图案区与第二基准直线之间的第二最大偏移长度，其中第二最大偏移长度与第二基准直线垂直。当第一最大偏移长度与第二最大偏移长度任一者小于或等于30微米时，判断金属遮罩为符合检测标准之遮罩，即符合制程所需的合格金属遮罩。
15.本发明至少一实施例所提出的金属遮罩包括基板。基板具有彼此相对的第一长边与第二长边、彼此相对的第一短边与第二短边以及多个图案区，其中第一长边、第一短边、第二长边与第二短边依序连结并围绕这些图案区，且于基板上定义第一基准直线与第二基准直线。此外，第一基准直线邻近第一长边，并沿着第一长边延伸。第二基准直线邻近第二长边，并沿着第二长边延伸，其中第一长边的这些图案区与第一基准直线之间具有第一最大偏移长度，且第一最大偏移长度与第一基准直线垂直。第二长边的这些图案区与第二基准直线之间具有第二最大偏移长度，其中第二最大偏移长度与第二基准直线垂直，而第一最大偏移长度与第二最大偏移长度之间的相差值小于或等于20微米。
16.在本发明至少一实施例中，上述图案区呈规则排列。
17.在本发明至少一实施例中，上述第一基准直线的两分别邻近第一短边与第二短边，而第二基准直线的两端点也分别邻近第一短边与第二短边。
18.在本发明至少一实施例中，这些图案区分别具有多个周缘。第一最大偏移长度为邻近第一长边的这些周缘与第一基准直线之间的最大距离，而第二最大偏移长度为邻近第二长边的这些周缘与第二基准直线之间的最大距离。
19.在本发明至少一实施例中，各个图案区的形状为多边形，其中各个图案区具有多个顶点。第一长边与第一短边之间形成第一角落，第一长边与第二短边之间形成第二角落，第二长边与第一短边之间形成第三角落，第二长边与第二短边之间形成第四角落。第一基准直线的两端点分别位于邻近第一角落与第二角落的两顶点，而第二基准直线的两端点分别位于邻近第三角落与第四角落的两顶点。
20.在本发明至少一实施例中，各个图案区的形状为四边形或六边形。
21.在本发明至少一实施例中，上述第一基准直线的两端点与第二基准直线的两端点皆位于这些图案区外，并且分别邻近第一角落、第二角落、第三角落与第四角落。
22.在本发明至少一实施例中，各个图案区具有多个开口。第一基准直线的两端点分别位于邻近第一角落与第二角落的两开口，而第二基准直线的两端点分别位于邻近第三角落与第四角落的两开口。
23.在本发明至少一实施例中，上述各个图案区的形状为圆形，其中各个图案区具有圆心。第一基准直线的两端点分别位于邻近第一角落与第二角落的两圆心，而第二基准直线的两端点分别位于邻近第三角落与第四角落的两圆心，其中第一最大偏移长度为邻近第一长边的这些圆心与第一基准直线之间的最大距离，而第二最大偏移长度为邻近第二长边的这些圆心与第二基准直线之间的最大距离。
24.基于上述，本发明至少一实施例所揭示的检测方法能帮助挑选合格的金属遮罩，并淘汰不合格的金属遮罩，以减少不良显示面板的产出，从而提升显示面板的良率。
附图说明
25.图1a是利用本发明至少一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。
26.图1b是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。
27.图1c是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。
28.图1d是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。
29.图2是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。
30.图3是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。
31.图4是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。
32.图5a是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。
33.图5b是图5a中的金属遮罩的侧视示意图。
34.图5c是图5a中的金属遮罩在被摊平之后的俯视示意图。
35.图5d是图5c中的金属遮罩被夹置在两块硬式基板之间的侧视示意图。
36.图6是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。
37.其中，附图标记：
38.51：硬式基板
39.100、101、200、300、400、500：金属遮罩
40.111、411、511：第一长边
41.112、412、512：第二长边
42.121、421、521：第一短边
43.122、422、522：第二短边
44.130、230、330、430：图案区
45.130a、230a、430a：顶点
46.130e、430e：周缘
47.131：开口
48.181：第一记号
49.182：第二记号
50.183：第三记号
51.184：第四记号
52.191、491：第一角落
53.192、492：第二角落
54.193、493：第三角落
55.194、494：第四角落
56.330c：圆心
57.e11a、e11b、e12a、e12b、e21a、e21b、e22a、e22b、e31a、e31b、e32a、e32b、e41a、e41b、e42a、e42b、e51a、e51b、e52a、e52b、e63a、e63b、e71a、e71b、e72a、e72b、sp1、sp2：端点
58.la1、lb1、lc1、l21、l31：第一最大偏移长度
59.la2、lb2、lc2、l22、l32：第二最大偏移长度
60.l4：第三最大偏移长度
61.sa1、sb1、sc1、s21、s31、s51：第一基准直线
62.sa2、sb2、sc2、s22、s32、s52、s62：第二基准直线
63.s51d：第一形变线
64.s52d：第二形变线
65.s43：第三基准直线
具体实施方式
66.在以下的内文中，为了清楚呈现本案的技术特征，图式中的元件(例如层、膜、基板以及区域等)的尺寸(例如长度、宽度、厚度与深度)会以不等比例的方式放大。因此，下文实施例的说明与解释不受限于图式中的元件所呈现的尺寸与形状，而应涵盖如实际制程及/或公差所导致的尺寸、形状以及两者的偏差。例如，图式所示的平坦表面可以具有粗糙及/或非线性的特征，而图式所示的锐角可以是圆的。所以，本案图式所呈示的元件主要是用于示意，并非旨在精准地描绘出元件的实际形状，也非用于限制本案的申请专利范围。
67.其次，本案内容中所出现的「约」、「近似」或「实质上」等这类用字不仅涵盖明确记载的数值与数值范围，而且也涵盖发明所属技术领域中具有通常知识者所能理解的可允许偏差范围，其中此偏差范围可由测量时所产生的误差来决定，而此误差例如是起因于测量系统或制程条件两者的限制。举例而言，两对象(例如基板的平面或走线)「实质上平行」或「实质上垂直」，其中「实质上平行」与「实质上垂直」分别代表这两对象之间的平行与垂直可
包括允许偏差范围所导致的不平行与不垂直。
68.此外，「约」可表示在上述数值的一个或多个标准偏差内，例如
±
30％、
±
20％、
±
10％或
±
5％内。本案文中所出现的「约」、「近似」或「实质上」等这类用字可依光学性质、蚀刻性质、机械性质或其他性质来选择可以接受的偏差范围或标准偏差，并非单以一个标准偏差来套用以上光学性质、蚀刻性质、机械性质以及其他性质等所有性质。
69.图1a是利用本发明至少一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。请参阅图1a，在本实施例的检测方法中，首先，提供金属遮罩100，其中金属遮罩100包括基板，其具有彼此相对的第一长边111与第二长边112、彼此相对的第一短边121与第二短边122以及多个图案区130，其中第一长边111、第一短边121、第二长边112与第二短边122依序相连，并围绕这些图案区130。
70.金属遮罩100可以是金属材料依序经过辗压与光刻(包括蚀刻)后而形成，或者也可以采用电铸(electroforming)而制成，其中前述金属材料可以是金属片或金属板。因此，金属遮罩100的形状不一定是矩形。换句话说，第一长边111、第二长边112、第一短边121与第二短边122任一者的形状不一定是直线。
71.以图1a为例，第一长边111与第二长边112的形状皆为曲线，其中图1a所示的第一长边111与第二长边112的形状更可以是二次曲线。不过，在其他实施例中，第一长边111、第二长边112、第一短边121与第二短边122其中至少一者的形状也可以是直线，所以第一长边111、第二长边112、第一短边121与第二短边122任一者的形状不限制是直线或曲线。
72.各个图案区130的形状可以是多边形，而这些图案区130可以呈规则排列，例如矩阵排列。以图1a为例，四个图案区130可以排列成1
×
4矩阵，而各个图案区130的形状可以是四边形，例如矩形。各个图案区130具有多个开口131，其中各个开口131的形状可为矩形，且这些开口131也可以呈规则排列，例如矩阵排列，如图1a所示。
73.金属遮罩100可以用于制造显示面板，例如有机发光二极管(oled)显示面板。当金属遮罩100用于制造有机发光二极管显示面板时，各个图案区130的尺寸可以相当于一个有机发光二极管显示面板的尺寸，而各个开口131的尺寸可以相当于一个像素，其中上述像素可为次像素(sub
‑
pixel)。或者，上述像素可由多个次像素所组成。当进行蒸镀时，金属遮罩100能阻挡部分镀料，以使镀料基本上只会在这些开口131内沉积，从而形成有机发光二极管显示面板内的膜层，例如发光层。
74.金属遮罩100还具有四个角落，即第一角落191、第二角落192、第三角落193与第四角落194。第一角落191形成在第一长边111与第一短边121之间，而第二角落192形成在第一长边111与第二短边122之间。第三角落193形成在第二长边112与第一短边121之间，而第四角落194形成在第二长边112与第二短边122之间。
75.在提供金属遮罩100之后，根据邻近第一长边111与第二长边112的这些图案区130，在基板上定义第一基准直线sa1与第二基准直线sa2。第一基准直线sa1邻近第一长边111，并且沿着第一长边111延伸，而第二基准直线sa2邻近第二长边112，并且沿着第二长边112延伸。因此，第一基准直线sa1不会与第二基准直线sa2交错或重叠。由于金属遮罩100可以是金属材料依序经过辗压与光刻后而形成，因此金属遮罩100会变的翘曲而不平整，其中第一基准直线sa1与第二基准直线sa2两者可以是在翘曲且不平整的金属遮罩100上定义。
76.第一基准直线sa1与第二基准直线sa2两者都具有端点。在图1a所示的实施例中，
第一基准直线sa1具有两端点e11a与e11b，而第二基准直线sa2具有两端点e12a与e12b，其中两端点e11a与e11b分别邻近第一短边121与第二短边122，而两端点e12a与e12b也分别邻近第一短边121与第二短边122。由于第一基准直线sa1与第二基准直线sa2皆具有端点，所以第一基准直线sa1与第二基准直线sa2不是无限长的直线。因此，一旦确定好这些端点e11a、e11b、e12a与e12b的位置，代表也定义好第一基准直线sa1与第二基准直线sa2。
77.由于各个图案区130的形状为多边形，因此各个图案区130具有多个顶点130a。例如，在图1a中，形状为四边形的图案区130具有四个顶点130a。第一基准直线sa1的两端点e11a与e11b分别位于邻近第一角落191与第二角落192的两个顶点130a，而第二基准直线sa2的两端点e12a与e12b分别位于邻近第三角落193与第四角落194的两个顶点130a。
78.换句话说，图1a所示的这些端点e11a、e11b、e12a以及e12b实质上可以视为两个图案区130的四个顶点130a，其中这两个图案区130分别邻近第一短边121与第二短边122。由此可知，在图1a所示的实施例中，第一基准直线sa1与第二基准直线sa2是由邻近第一角落191、第二角落192、第三角落193以及第四角落194的四个顶点130a来定义，所以端点e11a、e11b、e12a与e12b是肉眼可见的。此外，第一基准直线sa1与第二基准直线sa2基本上都是虚拟直线，所以除了端点e11a、e11b、e12a与e12b，第一基准直线sa1与第二基准直线sa2两者其他部分都是虚拟的。
79.在定义好第一基准直线sa1与第二基准直线sa2之后，也就是确定好这些端点e11a、e11b、e12a与e12b的位置之后，量测邻近第一长边111的这些图案区130与第一基准直线sa1之间的第一最大偏移长度la1，以及量测邻近第二长边112的这些图案区130与第二基准直线sa2之间的第二最大偏移长度la2，其中第一最大偏移长度la1与第一基准直线sa1垂直，而第二最大偏移长度la2与第二基准直线sa2垂直。
80.须说明的是，第一最大偏移长度la1与第一基准直线sa1是「实质上垂直」，而第二最大偏移长度la2与第二基准直线sa2也是「实质上垂直」。因此，第一最大偏移长度la1与第一基准直线sa1之间的垂直以及第二最大偏移长度la2与第二基准直线sa2之间的垂直可包括允许偏差范围所导致的不垂直。此外，各个图案区130实际上具有这些开口131，但为了简洁图式以及利于呈现第一最大偏移长度la1与第二最大偏移长度la2，图1a中的中间两个图案区130省略绘示开口131。
81.这些图案区130分别具有多个周缘130e，而在同一个图案区130中，周缘130e具有四个顶点130a，如图1a所示。在本实施例中，第一最大偏移长度la1为邻近第一长边111的这些周缘130e与第一基准直线sa1之间的最大距离，而第二最大偏移长度la2为邻近第二长边112的这些周缘130e与第二基准直线sa2之间的最大距离。
82.当第一最大偏移长度la1与第二最大偏移长度la2之间的相差值小于或等于20微米时，金属遮罩100判断为符合检测标准，亦即前述符合检测标准的金属遮罩100中这些开口131的误差值范围在制程的容许范围内。因此，在金属遮罩100未有其他瑕疵以及不合规格的参数的条件下，此金属遮罩100即可投入于相关制程使用，其中前述相关制程例如是物理气相沉积(physical vapor deposition，pvd)，而上述符合检测标准的金属遮罩100适用于制造显示面板，特别可以制造高分辨率的有机发光二极管显示面板。
83.另一方面，当第一最大偏移长度la1与第二最大偏移长度la2之间的相差值大于20微米时，代表金属遮罩100的这些开口131误差过大，不符合检测标准，以至于使用金属遮罩
100所制成的显示面板(特别是高分辨率的有机发光二极管显示面板)容易造成例如次像素区内的发光层偏移、有些次像素区内没有发光层或是这些发光层的尺寸差异过大等缺陷。因此，这种金属遮罩100不适合应用于物理气相沉积，例如溅镀或蒸镀，从而判断金属遮罩100为不合格遮罩。
84.须说明的是，即使第一最大偏移长度la1与第二最大偏移长度la2之间的相差值小于或等于20微米，金属遮罩100仍可能会被判断为不符合检测标准。例如，当第一最大偏移长度la1与第二最大偏移长度la2两者任一者大于30微米时，判断金属遮罩100为不符合检测标准的不合格遮罩。此外，当第一最大偏移长度la1与第二最大偏移长度la2之间的相差值小于或等于20微米，第一最大偏移长度la1小于或等于30微米，且第二最大偏移长度la2也小于或等于30微米时，判断金属遮罩100为符合检测标准的合格遮罩。
85.值得一提的是，以上第一最大偏移长度la1与第二最大偏移长度la2两者的量测以及第一基准直线sa1与第二基准直线sa2两者的定义皆可以利用尺寸量测仪来执行。具体而言，尺寸量测仪可以先在金属遮罩100上找到这些端点e11a、e11b、e12a与e12b，以定义第一基准直线sa1与第二基准直线sa2。
86.尺寸量测仪可以对这些端点e11a、e11b、e12a与e12b提供坐标值。以第一基准直线sa1为例，端点e11a的坐标值可以是(x1,y1)，而端点e11b的坐标值可以是(x2,y2)。接着，将以上端点e11a与e11b的坐标值(x1,y1)与(x2,y2)代入以下数学式(1)，以计算出第一最大偏移长度la1，其中上述尺寸量测仪在量测出上端点e11a与e11b的坐标值(x1,y1)与(x2,y2)之后，可以进行数学式(1)的运算。
87.数学式(1)：
[0088][0089]
上述数学式(1)中的l等于第一最大偏移长度la1，而x与y为第一最大偏移长度la1的一个端点sp1的坐标值(x,y)，其中端点sp1位于周缘130e，如图1a所示。同理，尺寸量测仪也可对端点e12a与e12b提供坐标值，以使端点e12a的坐标值可以是(x3,y3)，而端点e12b的坐标值可以是(x4,y4)。接着，端点e12a与e12b的坐标值(x3,y3)与(x4,y4)代入以下数学式(2)，其中尺寸量测仪也可进行数学式(2)的运算。
[0090]
数学式(2)：
[0091][0092]
数学式(2)实质上相同于上述数学式(1)。具体而言，在数学式(1)中，将x1替换成x3，x2替换成x4，y1替换成y3，以及y2替换成y4，即可以得到数学式(2)。在数学式(2)s中，l等于第二最大偏移长度la2，而x与y为第二最大偏移长度la2的一个端点sp2的坐标值(x,y)，其中端点sp2也位于周缘130e。
[0093]
利用上述数学式(1)与(2)，尺寸量测仪不仅可以定义第一基准直线sa1与第二基准直线sa2，而且还可以量测第一最大偏移长度la1与第二最大偏移长度la2，以判断第一最大偏移长度la1与第二最大偏移长度la2之间的相差值是否大于20微米，以及判断第一最大偏移长度la1与第二最大偏移长度la2两者任一者是否大于30微米，从而淘汰不合格的金属
遮罩100，并挑选符合检测标准的合格金属遮罩100。如此，本实施例的检测方法能避免不适用于物理气相沉积(例如蒸镀)的金属遮罩100用来制造显示面板，减少不良显示面板的产出，以提升良率。
[0094]
图1b是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。请参阅图1b，本实施例的检测方法相似于前述实施例的检测方法。例如，在图1b所示的实施例中，也可利用数学式(1)与(2)量测第一最大偏移长度lb1与第二最大偏移长度lb2。本实施例与前述实施之间的差异仅在于图1b中的第一基准直线sb1与第二基准直线sb2两者定义不同于第一基准直线sa1与第二基准直线sa2两者定义。
[0095]
在本实施例的检测方法中，虽然第一基准直线sb1与第二基准直线sb2也是根据邻近第一长边111与第二长边112的这些图案区130而定义，但有别于前述图1a所示的实施例，第一基准直线sb1的两端点e21a、e21b以及第二基准直线sb2的两端点e22a、e22b皆位于这些图案区130外，并且分别邻近第一角落191、第二角落192、第三角落193与第四角落194。
[0096]
此外，这些端点e21a、e21b、e22a与e22b可以分别位于制作在金属遮罩100上的多个肉眼可见的记号上。以图1b为例，金属遮罩100可以还具有肉眼可见的第一记号181、第二记号182、第三记号183与第四记号184，其中第一记号181邻近第一角落191，第二记号182邻近第二角落192，第三记号183邻近第三角落193，而第四记号184邻近第四角落194。端点e21a位于第一记号181，端点e21b位于第二记号182，端点e22a位于第三记号183，而端点e22b位于第四记号184。因此，除了端点e21a、e21b、e22a与e22b之外，第一基准直线sb1与第二基准直线sb2两者其他部分皆为虚设的。
[0097]
图1c是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。请参阅图1c，本实施例的检测方法相似于前述图1a及图1b所示的检测方法。例如，在图1c所示的实施例中，也可利用数学式(1)与(2)量测第一最大偏移长度lc1与第二最大偏移长度lc2。惟本实施例中的第一基准直线sc1与第二基准直线sc2两者定义不同于前述第一基准直线sa1、sb1以及第二基准直线sa2、sb2的定义。
[0098]
在定义第一基准直线sc1与第二基准直线sc2的过程中，第一基准直线sc1的两端点e31a与e31b分别位于邻近第一角落191与第二角落192的两个开口131，而第二基准直线sc2的两端点e32a与e32b分别位于邻近第三角落193与第四角落194的两个开口131。以图1c为例，这些端点e31a、e31b、e32a与e32b可以位于这些开口131的边缘。或者，在其他实施例中，这些端点e31a、e31b、e32a与e32b每一个可以位于其中一个开口131内。因此，这些端点e31a、e31b、e32a与e32b皆位于这些图案区130内。
[0099]
图1d是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。请参阅图1d，图1d所示的检测方法实质上相同于图1a所示的检测方法，而图1d的金属遮罩101可以相同于金属遮罩100。例如，金属遮罩101也可以是金属材料依序经过辗压与光刻后而形成，或者也可采用电铸而制成。然而，图1a所示的第一长边111与第二长边112两者形状皆为二次曲线，但图1d所示的第一长边111d与第二长边112d两者形状皆为具有至少一个反曲点(inflection point)的曲线。
[0100]
虽然在图1d所示的金属遮罩101中，第一长边111d与第二长边112d不是二次曲线，但在图1d的实施例中，两端点e11a与e11b分别位于邻近第一角落191与第二角落192的两个顶点130a，而两端点e12a与e12b分别位于邻近第三角落193与第四角落194的两个顶点
130a。其次，第一最大偏移长度la1是邻近第一长边111的这些周缘130e与第一基准直线sa1之间的最大距离，而第二最大偏移长度la2也是邻近第二长边112的这些周缘130e与第二基准直线sa2之间的最大距离。
[0101]
因此，不论第一长边111d与第二长边112d是否具有反曲点，图1d与图1a中的第一基准直线sa1与第二基准直线sa2定义皆相同，而且图1d与图1a中的第一最大偏移长度la1与第二最大偏移长度la2定义也皆相同。此外，在其他实施例中，图1d中的这些端点e11a、e11b、e12a与e12b也可位于这些图案区130外(如图1b所示)，或是位于这些图案区130的开口131内(如图1c所示)。因此，图1d中的第一基准直线sa1与第二基准直线sa2两者定义也可以实质上相同于第一基准直线sb1、sc1以及第二基准直线sb2、sc2的定义。
[0102]
图2是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。请参阅图2，本实施例与前述实施例相似。例如，金属遮罩200具有多个图案区230，而这些图案区230可以呈规则排列。其次，各个图案区230也具有多个开口131，且各个图案区230的形状也是多边形。然而，不同于前述实施例中的图案区130，在本实施例中，各个图案区230的形状为六边形，而且这些图案区230也未呈矩阵排列。
[0103]
金属遮罩200的检测方法基本上相同于金属遮罩100的检测方法。在金属遮罩200的检测方法中，第一基准直线s21是根据邻近第一长边111的这些图案区230而定义，而第二基准直线s22也是根据邻近第二长边112的这些图案区230而定义，其中第一基准直线s21邻近第一长边111，并沿着第一长边111延伸，而第二基准直线s22邻近第二长边112，并沿着第二长边112延伸。
[0104]
各个图案区230也具有多个顶点230a。例如，一个图案区230具有六个顶点230a(如图2所示)。与图1a实施例相同，第一基准直线s21的两端点e41a与e41b分别位于邻近第一角落191与第二角落192的两个顶点230a，而第二基准直线sa2的两端点e42a与e42b分别位于邻近第三角落193与第四角落194的两个顶点230a。因此，这些端点e41a、e41b、e42a与e42b实质上可视为四个图案区230的顶点230a，其中两个图案区230邻近第一短边121，而其他两个图案区230邻近第二短边122。
[0105]
第一角落191具有第一顶点191a，而第一长边111与第一短边121相交于第一顶点191a。第二角落192具有第二顶点192a，而第一长边111与第二短边122相交于第二顶点192a。第三角落193具有第三顶点193a，而第二长边112与第一短边121相交于第三顶点193a。第四角落194具有第四顶点194a，而第二长边112与第二短边122相交于第四顶点194a。
[0106]
在本实施例中，端点e41a、e41b、e42a与e42b是根据邻近第一顶点191a、第二顶点192a、第三顶点193a与第四顶点194a的顶点230a来决定。详细而言，在第一角落191中，端点e41a位于最接近第一顶点191a的顶点230a。同理，端点e41b位于最接近第二顶点192a的顶点230a，端点e42a位于最接近第三顶点193a的顶点230a，而端点e42b位于最接近第四顶点194a的顶点230a。
[0107]
在定义好第一基准直线s21与第二基准直线s22之后，量测邻近第一长边111的这些图案区230与第一基准直线s21之间的第一最大偏移长度l21，以及量测邻近第二长边112的这些图案区230与第二基准直线s22之间的第二最大偏移长度l22，其中第一最大偏移长度l21与第一基准直线s21实质上垂直，而第二最大偏移长度l22与第二基准直线s22实质上
垂直。
[0108]
当第一最大偏移长度l21与第二最大偏移长度l22之间的相差值大于20微米，或者是第一最大偏移长度l21与第二最大偏移长度l22两者任一者大于30微米时，金属遮罩200会被判断为不合格遮罩。当第一最大偏移长度l21与第二最大偏移长度l22之间的相差值小于或等于20微米，第一最大偏移长度l21小于或等于30微米，且第二最大偏移长度l22也小于或等于30微米时，判断金属遮罩200为合格遮罩，并符合检测标准。
[0109]
另外，第一最大偏移长度l21与第二最大偏移长度l22两者的量测方法可以相同于前述实施例中的第一最大偏移长度la1与第二最大偏移长度la2。例如，第一最大偏移长度l21与第二最大偏移长度l22可透过尺寸量测仪而测得，其中尺寸量测仪可定义第一基准直线s21与第二基准直线s22，并利用上述数学式(1)与(2)计算得到第一最大偏移长度l21与第二最大偏移长度l22。因此，第一最大偏移长度l21与第二最大偏移长度l22两者的量测方法可相同于前述实施例，在此不再重复叙述。
[0110]
须说明的是，在图2所示的实施例中，第一基准直线s21的两端点e41a与e41b以及第二基准直线sa2的两端点e42a与e42b分别位于四个顶点230a，其中端点e41a与e42a位于邻近第二短边121的最外侧图案区230的顶点230a，而端点e41b与e42b位于邻近第二短边122的最外侧图案区230的顶点230a。
[0111]
然而，在其他实施例中，这些端点e41a、e41b、e42a与e42b分别邻近第一角落191、第二角落192、第三角落193与第四角落194，并且皆可位于这些图案区230a外。换句话说，这些端点e41a、e41b、e42a与e42b每一者可不在任一个图案区230a内，并可邻近金属遮罩200的其中一个角落(即第一角落191、第二角落192、第三角落193或第四角落194)。
[0112]
或者，第一基准直线s21的两端点e41a与e41b可分别位于邻近第一角落191与第二角落192的两个开口131，而第二基准直线s22的两端点e42a与e42b分别位于邻近第三角落193与第四角落194的两个开口131。例如，这些端点e41a、e41b、e42a与e42b任一者可位于其中一个开口131的边缘(如图1c所示)或是位于其中一个开口131内。因此，图2所示的端点e41a、e41b、e42a与e42b任一者不限制位于顶点230a。
[0113]
图3是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。请参阅图3，本实施例与前述实施例相似。例如，金属遮罩300具有多个图案区330，而且这些图案区330可呈规则排列，例如矩阵排列，如图3所示，其中各个图案区330也具有多个开口131。然而，不同于前述图案区130与230，本实施例中的各个图案区330的形状为圆形，所以各个图案区330具有圆心330c。
[0114]
本实施例的检测方法相似于前述实施例的检测方法，而且本实施例也可利用上述数学式(1)与(2)来量测第一最大偏移长度l31与第二最大偏移长度l32。本实施例与前述实施例两者检测方法的差异仅在于：图3中的第一基准直线s31与第二基准直线s32两者定义不同于第一基准直线sa1与第二基准直线sa2，且图3中的第一最大偏移长度l31不同于前述第一最大偏移长度la1、lb1、lc1或l21，第二最大偏移长度l32不同于前述第二最大偏移长度la2、lb2、lc2或l22。
[0115]
第一基准直线s31的两端点e51a与e51b分别位于邻近第一角落191与第二角落192的两个圆心330c，而第二基准直线s32的两端点e52a与e52b分别位于邻近第三角落193与第四角落194的两个圆心330c。实质上垂直于第一基准直线s31的第一最大偏移长度l31为邻
近第一长边111的这些圆心330c与第一基准直线s31之间的最大距离，而实质上垂直于第二基准直线s32的第二最大偏移长度l32为邻近第二长边112的这些圆心330c与第二基准直线s32之间的最大距离。
[0116]
值得一提的是，在以上图1a至图1d以及图2至图3的实施例中，上述第一基准直线与第二基准直线两者任一端点(即端点e11a、e11b、e12a、e12b、e21a、e21b、e22a、e22b、e31a、e31b、e32a、e32b、e41a、e41b、e42a、e42b、e51a、e51b、e52a或e52b)皆邻近第一角落191、第二角落192、第三角落193与第四角落194其中一者，所以上述第一基准直线与第二基准直线两者个别的长度小于但接近金属遮罩100、101、200与300的长度。
[0117]
因此，即使这些第一基准直线sa1、sb1、sc1、s21与s31的定义不同，但经由数学式(1)计算而得到的这些第一最大偏移长度la1、lb1、lc1、l21与l31不会有显著的差异。同样地，纵使这些第二基准直线sa2、sb2、sc2、s22与s32的定义不同，经由数学式(2)计算而得到的这些第二最大偏移长度la2、lb2、lc2、l22与l32之间也不会有显著的差异。换句话说，这些第一基准直线sa1、sb1、sc1、s21与s31以及这些第二基准直线sa2、sb2、sc2、s22与s32皆可利用上述数学式(1)与(2)来计算出以上第一最大偏移长度与第二最大偏移长度。
[0118]
图4是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图。请参阅图4，本实施例的检测方法相似于前述实施例的检测方法。不过，有别于前述实施例，本实施例的检测方法不仅量测第一最大偏移长度与第二最大偏移长度，而且还定义第三基准直线s43以及量测第三最大偏移长度l4。
[0119]
在本实施例中，金属遮罩400具有彼此相对的第一长边411与第二长边412、彼此相对的第一短边421与第二短边422以及多个图案区430，其中第一长边411、第二长边412、第一短边421与第二短边422相连，并围绕这些图案区430。图4所示的金属遮罩400的材料与制造方法可相同于金属遮罩100的材料与制造方法，而各个图案区430具有多个开口(未绘示)，其中这些开口可呈规则排列。
[0120]
在检测金属遮罩400的方法中，根据邻近第一短边421的这些图案区430，定义第三基准直线s43，其中第三基准直线s43邻近第一短边421，并沿着第一短边421延伸。与前述第一基准直线及第二基准直线一样，第三基准直线s43具有端点e63a与e63b，所以第三基准直线s43也非无限长的直线。一旦确定这些端点e63a与e63b的位置，代表也定义好第三基准直线s43。
[0121]
各个图案区430的形状可以是多边形或是变形的多边形，并具有多个顶点430a。以图4为例，各个图案区430的形状可以是扭曲的四边形，因此虽然图案区430的形状与一般四边形(例如矩形)有些差异，但各个图案区430所具有的四个顶点430a仍可辨识。第三基准直线s43的两端点e63a与e63b可以分别位于邻近第一角落491与第三角落493的两个顶点430a。也就是说，图4所示的这些端点e63a与e63b实质上可视为两个顶点430a。
[0122]
须说明的是，在其他实施例中，端点e63a与e63b也可位于这些图案区430a外，并分别邻近第一角落491与第三角落493。或者，第三基准直线s43的两端点e63a与e63b可分别位于邻近第一角落491与第三角落493的两个开口，其中这些端点e63a与e63b任一者可位于其中一个开口的边缘或是位于其中一个开口内。所以，图4所示的端点e63a与e63b任一者不限制位于顶点430a。
[0123]
接着，量测邻近第一短边421的这些图案区430与第三基准直线s43之间的第三最
大偏移长度l4，其中第三最大偏移长度l4与第三基准直线s43垂直。相似于图1a的实施例，这些图案区430分别具有多个周缘430e，而第三最大偏移长度l4为邻近第一短边421的这些周缘430e与第三基准直线s43之间的最大距离。第三基准直线s43的定义与第三最大偏移长度l4的量测皆可利用尺寸量测仪来进行，其中第三最大偏移长度l4更可根据前述数学式(1)而测得。当第三最大偏移长度l4大于10微米时，判断金属遮罩400为不合格遮罩。反之，当第三最大偏移长度l4小于或等于10微米时，判断金属遮罩400为符合检测标准之遮罩，即符合制程所需的合格金属遮罩400。
[0124]
在图4所示的实施例中，第一长边411与第二长边412两者为直线，但在其他实施例中(例如图1a所的实施例)，第一长边411与第二长边412也可皆为曲线。因此，图4并不限制第一长边411与第二长边412的形状。此外，根据图4所示的第三基准直线s43，更可定义邻近第二短边422的第四基准直线(未绘示)。第四基准直线的两端点也分别邻近第二角落492与第四角落494，而利用此第四基准直线，更可量测第四最大偏移长度，以确保金属遮罩400适合应用于物理气相沉积，避免降低显示面板(例如有机发光二极管显示面板)的良率。
[0125]
图5a是利用本发明另一实施例的检测方法所检测的金属遮罩的俯视示意图，而图5b是图5a中的金属遮罩的侧视示意图。请参阅图5a与图5b，首先，提供金属遮罩500。金属遮罩500具有彼此相对的第一长边511与第二长边512、彼此相对的第一短边521与第二短边522以及多个图案区(未绘示)。与金属遮罩100相同，第一长边511、第二长边512、第一短边521与第二短边522相连，并围绕这些图案区。其次，金属遮罩500也可以是金属材料依序经过辗压与光刻后而形成，或者采用电铸而制成，所以金属遮罩500也会翘曲而变的不平整，如图5b所示。
[0126]
接着，在翘曲的金属遮罩500上定义彼此平行且分离的第一基准直线s51与第二基准直线s52，其中第一基准直线s51与第二基准直线s52不会交错或重叠，而且第一基准直线s51与第二基准直线s52两者长度可以彼此相等。第一基准直线s51具有端点e71a与e71b，而第二基准直线s52具有端点e72a与e72b。所以，第一基准直线s51与第二基准直线s52都不是无限长的直线。
[0127]
在本实施例中，可以先在金属遮罩500上形成至少一个对位标记(未绘示)，其中一个对位标记可以位在端点e71a、e71b、e72a与e72b其中一个上。尺寸量测仪可以侦测上述对位标记，并根据对位标记的位置而定义出端点e71a、e71b、e72a与e72b的坐标值。如此，尺寸量测仪能计算出第一基准直线s51与第二基准直线s52两者的长度。
[0128]
第一基准直线s51与第二基准直线s52两者可以是实质上平行，所以第一基准直线s51与第二基准直线s52之间的平行可包括允许偏差范围所导致的不平行，其中前述允许偏差范围可以在3微米以内。此外，第一基准直线s51与第二基准直线s52之间的距离可以介于3公分至25公分之间，而此距离的误差可在
±
3微米内。
[0129]
图5c是图5a中的金属遮罩在被摊平之后的俯视示意图。请参阅图5c，接着，摊平金属遮罩500，以使第一基准直线s51变成第一形变线s51d，而第二基准直线s52变成第二形变线s52d。当金属遮罩500摊平时，第一长边511、第二长边512、第一短边521与第二短边522也会发生形变。例如，第一长边511变成较长的第一长边511p，而第二长边512变成较长的第二长边512p。
[0130]
图5d是图5c中的金属遮罩被夹置在两块硬式基板之间的侧视示意图。请参阅图5c
与图5d，摊平金属遮罩500的方法可以是将金属遮罩500夹置于两块硬式基板51之间，以使这些硬式基板51压平金属遮罩500，其中硬式基板51可以是玻璃板或钢板。
[0131]
请参阅图5a与图5c，接着，判断第一基准直线s51的长度、第二基准直线s52的长度、第一形变线s51d的长度与第二形变线s52d的长度是否满足以下数学式(3)。
[0132]
数学式(3)：
[0133]
│
(l3+l4)/2
‑
(l1+l2)/2
│
≤20(微米)
[0134]
在上述数学式(3)中，l1为第一基准直线s51的长度，l2为第二基准直线s52的长度，l3为第一形变线s51d的长度，而l4为第二形变线s52d的长度。当第一基准直线s51的长度、第二基准直线s52的长度、第一形变线s51d的长度与第二形变线s52d的长度满足数学式(3)时，判断金属遮罩500为符合检测标准之合格遮罩。
[0135]
此外，第一基准直线s51的长度、第二基准直线s52的长度、第一形变线s51d的长度与第二形变线s52d的长度可以利用尺寸量测仪来量测，而数学式(3)也可透过尺寸量测仪来运算，其中尺寸量测仪可以根据上述对位标记的位置，自动选取第一形变线s51d两端点的位置以及第二形变线s52d两端点的位置，从而计算出第一形变线s51d的长度与第二形变线s52d的长度。
[0136]
值得一提的是，在图5a所示的实施例中，第一基准直线s51与第二基准直线s52两者长度彼此相等。然而，在其他实施例中，第一基准直线s51与第二基准直线s52两者长度也可以不相等。例如，在图6所示的实施例中，可以在翘曲的金属遮罩500上定义彼此平行且分离的第一基准直线s51与第二基准直线s62，其中第一基准直线s51与第二基准直线s62两者长度彼此不相等。例如，第一基准直线s51大于第二基准直线s62，如图6所示。因此，图5a中的第一基准直线s51与第二基准直线s52不限制要彼此相等。
[0137]
综上所述，本发明至少一实施例所揭示的检测方法能帮助挑选合格的金属遮罩，并淘汰不合格的金属遮罩，以避免不适用于物理气相沉积(例如蒸镀)的金属遮罩被用来制造显示面板(例如，有机发光二极管显示面板)。如此，可以减少不良显示面板的产出，从而提升良率。
[0138]
当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。