一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板及其应用方法与流程

一种能够提高蒸镀品质的oled蒸镀用掩膜板及其应用方法
技术领域
1.本发明涉及显示面板制造的技术领域，具体涉及一种能够提高蒸镀品质的oled蒸镀用掩膜板及其应用方法。


背景技术：

2.掩模板，又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等，承载有设计图形，光线透过它，把设计图形投射在光刻胶上。光学掩模板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如ic(集成电路)、fpd(平板显示器)、pcb(印刷电路板)、mems(微机电系统)等。掩模板的性能直接决定了光刻和蒸镀工艺的质量。
3.有机发光二级管显示器(organic light emitting diode,oled)是一种极具发展前景的平板显示技术，它具有十分优异的显示性能，特别是具有自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性。
4.然而，蒸镀作为oled的核心工艺步骤之一，是oled制造工艺五大步骤的第二个阶段，是实现高精度，大容量oled微单元彩色图案化的唯一方法。蒸镀需要在ltps基板下面放置掩模板(fmm)，当利用有机材料对oled进行蒸镀时，有机材料只能沉积在掩模板设定的位置。如果不使用掩模板，将会造成像素混乱，例如有绿色和蓝色沉积在红色(r)像素上，这样将无法获得纯色。因此，在蒸镀过程中需要在不同的时间使用rgb相应位置和形状的不同掩模板，这样反复更换掩模板不仅效率低下，且更换一次掩模板即需要重新定位，会让像素颜色之间的位置产生一定的偏差，导致生产的oled品质不高。


技术实现要素：

5.本发明为弥补显示面板制造设备技术方面的不足，提出一种结构简单，使用稳定可靠，在对同颜色的像素的蒸镀过程中不需要更换掩模板，从而像素之间不会产生位置偏差，且极大地提高了oled蒸镀效率的能够提高蒸镀品质的oled蒸镀用掩膜板及其应用方法。
6.具体技术方案如下：
7.第一方面，本发明提供了一种能够提高蒸镀品质的oled蒸镀用掩膜板，包括有oled显示基板与掩模板本体，所述掩模板本体包括有掩模板上板和掩模板下板，所述掩模板上板与掩模板下板之间设置有安装腔体层，该安装腔体层整个内壁覆盖有石墨烯层，石墨烯层防止了oled显示基板在装入安装腔体层的过程中被划伤，所述oled显示基板紧密安装在该安装腔体层中，所述掩模板上板上还开设有像素开口区，在所述掩模板本体内部滑动设置有局部掩膜板机构；在所述掩模板本体与局部掩膜板机构之间设置有定位机构，所述掩模板上板活动扣接在掩模板下板上，且在所述掩模板上板与掩模板下板之间设置有微调升降机构，在所述安装腔体层开口处还设置有密封机构。
8.实现原理：在对oled显示基板中的像素进行蒸镀即实现红色(r)，绿色(g)和蓝色
(b)的oled像素自发光，需要分别对oled显示基板发射红色(r)，绿色(g)和蓝色(b)的有机发光层，以及用于保护有机发光层的结构，所述有机发光层和保护层均通过蒸镀覆盖在oled显示基板中对应的rgb像素上，通过微调升降机构将掩模板上板与掩模板下板之间的距离拉开，使得安装腔体层高度微微升高，从而oled显示基板能够比较容易装入安装腔体层中，在所述像素开口区与oled显示基板的像素一一对齐之后，再通过微调升降机构降低安装腔体层高度，使得掩模板本体紧密贴合在oled显示基板上，最后通过密封机构将安装腔体层开口处密封。通过所述滑动掩膜板堵住像素开口区的特定部分，即掩盖掉oled显示基板的一部分像素，只使得oled显示基板的另一部分像素暴露出与蒸镀装置中蒸镀的有机材料等蒸发材料接触，该部分像素均为rgb像素中的某一种，使得蒸发材料覆盖在像素上，完成蒸镀工作，再通过滑动所述滑动掩膜板掩盖掉这部分像素，仅露出rgb像素中的另一种像素，更换蒸发材料完成蒸镀工作，如此反复直到oled像素均完成蒸镀工作。
9.作为一种优化结构：所述像素开口区均匀密布有像素开口组，该像素开口组包括有至少三个像素开口，所述像素开口组中的像素开口的大小以及排列组合方式均与oled显示基板的像素大小以及排列组合方式一致；
10.所述局部掩膜板机构设置有滑动掩膜板，该滑动掩膜板均匀开设有通孔，且所述通孔滑动到不同位置均与每组像素开口组中的一个像素开口重合，在所述滑动掩膜板至少有一侧部连接有推拉柄，该推拉柄从所述掩模板本体侧面伸出，在所述滑动掩膜板滑动区域的内壁上还设置有密封层。
11.作为一种优化结构：所述定位机构设置有定位孔，该定位孔设置在所述掩模板上板上，在所述滑动掩膜板上表面还均匀开设有至少三个定位槽，所述定位孔中还配合安装有定位键，该定位键穿过定位孔与所述定位槽紧密配合。
12.作为一种优化结构：所述微调升降机构设置有气阀口，在所述掩模板下板上开设有凹槽，在所述掩模板上板上设置有凸块，所述凹槽与凸块密闭配合，所述气阀口设置在所述凹槽底部，用高压气枪嘴顶住该气阀口即可向凹槽与凸块之间的间隙中充入高压气体，安装腔体层高度即可升高，高压气枪嘴拿开不对气阀口施力后，气阀口即呈关闭状态，同理用尖锐物体顶住气阀口，对气阀口施力即可让气阀口处于打开状态，凹槽与凸块之间的间隙中充入的高压气体则被放出，安装腔体层高度降低。
13.作为一种优化结构：所述密封机构设置有密封板，在所述掩模板本体端面上设置有滑动扣槽，该滑动扣槽设置在所述安装腔体层开口端，且所述密封板滑动安装在该滑动扣槽中，在所述掩模板本体一棱角处还开设有倒角，该倒角紧靠所述滑动扣槽开口处设置，该倒角便于密封板插入滑动扣槽与之密封配合。
14.作为一种优化结构：所述掩模板下板具有掩模板上板一样的结构，即开设有像素开口区。
15.第二方面，本发明提供了一种所述的能够提高蒸镀品质的oled蒸镀用掩膜板的应用方法，所述掩膜板在oled蒸镀过程中使用，其蒸镀过程包括以下步骤：
16.一、通过微调升降机构调整安装腔体层的高度，使得安装腔体层的高度大于oled显示基板厚度；
17.二、将oled显示基板装入安装腔体层中，再通过微调升降机构调整安装腔体层的高度，使得安装腔体层内壁与oled显示基板紧密贴合；
18.三、滑动调整局部掩膜板机构的滑动掩膜板位置，使得通孔重合的像素开口与即将蒸镀的像素颜色相对应；
19.四、将掩模板本体置入设备中对oled显示基板进行真空蒸镀。
20.作为一种优化方法：在oled显示基板完成一种像素颜色的蒸镀工作后，对通孔、像素开口以及整个像素开口区进行清洗，再滑动调整局部掩膜板机构的滑动掩膜板位置，使得通孔重合的像素开口与下一次蒸镀的像素颜色相对应，最后对安装腔体层中的oled显示基板进行真空蒸镀，如此循环，直到oled显示基板所有像素颜色蒸镀完成，并品质达标。
21.作为一种优化方法：将oled显示基板装入安装腔体层中后，通过密封机构将oled显示基板密封固定在安装腔体层中。
22.作为一种优化方法：在所述局部掩膜板机构的滑动掩膜板在掩模板本体内部滑动调整的过程中，均通过定位机构对滑动掩膜板进行精确定位固定，使得通孔与像素开口精准重合，并在蒸镀过程中不会发生错位移动。
23.本发明的有益效果为：在掩模板本体中配合设置有局部掩膜板机构，通过所述局部掩膜板机构中的滑动掩膜板掩盖掉oled显示基板的一部分像素，只使得oled显示基板的rgb像素中的某一种暴露出与蒸发材料接触，使得蒸发材料覆盖在像素上，完成此次蒸镀工作，再次蒸镀时通过滑动所述滑动掩膜板掩盖掉这部分像素，仅露出rgb像素中的另一种像素，更换蒸发材料再次完成蒸镀工作，如此反复即可完成对所有oled像素蒸镀工作，无需更换掩模板，不仅蒸镀效率更高，而且不同颜色的蒸镀材料不易发生干涉oled蒸镀的品质也更高；且通过定位机构可完成所述滑动掩膜板在滑动过程中精准定位oled像素，通过密封机构杜绝了蒸镀材料从安装腔体层开口处干扰oled蒸镀的品质的情况；通过微调升降机构降低了oled显示基板装入安装腔体层中的难度的同时，可适应于不同厚度的oled显示基板，若是掩模板下板与掩模板上板一样具有像素开口区，则可调节微调升降机构使得安装腔体层同时装入两块oled显示基板，同时完成对两块oled显示基板的蒸镀工作，效率更高。在应用本发明的掩膜板对oled显示基板进行蒸镀工作之时，蒸镀的效率得到有效提高，同时对各颜色像素蒸镀互不干扰，极大地提高了蒸镀品质，降低了残次品率，且oled显示基板也能够得到有效地保护，有效降低了对原材料的损坏，进一步降低了残次品率。
附图说明
24.图1为本发明整体的正面结构示意图。
25.图2为本发明整体的背面结构示意图。
26.图3为本发明中安装腔体层的结构示意图。
27.图4为本发明整体上视的剖面结构示意图。
28.图5为本发明左视的剖面结构示意图1。
29.图6为本发明前视的剖面结构示意图1。
30.图7为本发明前视的剖面结构示意图2。
31.图8为本发明左视的剖面结构示意图2。
32.图9为本发明前视的剖面结构示意图3。
33.附图标记说明：oled显示基板1；掩模板本体2；局部掩膜板机构3；定位机构4；微调升降机构5；密封机构6；掩模板上板21；掩模板下板22；安装腔体层23；像素开口区24；像素
开口组25；像素开口26；石墨烯层27；金属层28；滑动掩膜板31；通孔32；推拉柄33；密封层35；定位孔41；定位槽42；定位键43；气阀口51；凹槽52；凸块53；密封板61；滑动扣槽62。
具体实施方式
34.下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
35.实施事例：
36.如图1、图2、图3、图4、图5至图6所示：一种能够提高蒸镀品质的oled蒸镀用掩膜板，包括有oled显示基板1与掩模板本体2，掩模板本体2包括有掩模板上板21和掩模板下板22，掩模板上板21与掩模板下板22之间设置有安装腔体层23，oled显示基板1紧密安装在该安装腔体层23中，掩模板上板21和掩模板下板22都具有石墨烯层27和金属层28，该石墨烯层27覆盖整个安装腔体层23内壁，石墨烯层27防止了oled显示基板1在装入安装腔体层23的过程中被划伤，掩模板上板21上还开设有像素开口区24，在掩模板本体2内部滑动设置有局部掩膜板机构3。
37.在掩模板本体2与局部掩膜板机构3之间设置有定位机构4，掩模板上板21活动扣接在掩模板下板22上，且在掩模板上板21与掩模板下板22之间设置有微调升降机构5，在安装腔体层23开口处还设置有密封机构6。
38.像素开口区24均匀密布有像素开口组25，该像素开口组25包括有三个像素开口26，分别对应三原色红色(r)，绿色(g)和蓝色(b)的oled像素，像素开口组25中的像素开口26的大小以及排列组合方式均与oled显示基板1的像素大小以及排列组合方式一致，此处采用最简单也是应用范围最广的rgb排列。
39.局部掩膜板机构3设置有滑动掩膜板31，该滑动掩膜板31均匀开设有通孔32，且通孔32滑动到不同位置均与每组像素开口组25中的一个像素开口26重合，通过滑动掩膜板31堵住像素开口区24的特定部分，即掩盖掉oled显示基板1的一部分像素，只使得oled显示基板1的另一部分像素暴露出。
40.在滑动掩膜板31两侧部分别活动连接有推拉柄33，即滑动掩膜板31两侧部设置有钩板，该推拉柄33也设置与之配合的钩板，推拉柄33向两边拉动时即可实现对滑动掩膜板31的滑动控制，同时钩板与钩板之间存在活动间隙，便于上述微调升降机构5在进行微调时不影响推拉柄33对滑动掩膜板31控制的活动。且推拉柄33从掩模板本体2侧面伸出，上述滑动掩膜板31在掩模板本体2内部滑动，在掩模板本体2中滑动掩膜板31滑动区域的内壁上还设置有密封层35，防止蒸镀物质通过此处渗透到其他地方。
41.也可参考图9所示，推拉柄33直接固定连接在滑动掩膜板31两侧部或者任一侧部，这种连接方式有利于应对oled显示基板1像素点呈其他不规则排列时(例如p排列等)，滑动掩膜板31不仅需要推拉柄33横向左右拉动实现其左右滑动，还需要推拉柄33同时能够控制滑动掩膜板31竖向前后滑动，直接固定连接推拉柄33的方式能够更好地实现，至于微调升降机构5微调空间问题则需要在推拉柄33从掩模板本体2侧面伸出的位置开设更大的开口。
42.定位机构4设置有定位孔41，该定位孔41设置在掩模板上板21上，在滑动掩膜板31上表面还均匀开设有三个定位槽42，定位孔41中还配合安装有定位键43，该定位键43穿过定位孔41与定位槽42紧密配合，从而完成对滑动掩膜板31的滑动定位。
43.微调升降机构5设置有气阀口51，在掩模板下板22上开设有凹槽52，在掩模板上板21上设置有凸块53，凹槽52与凸块53密闭配合，气阀口51设置在凹槽52底部，用外部的高压气枪嘴顶住该气阀口51即可向凹槽52与凸块53之间的间隙中充入高压气体，安装腔体层23高度即可升高，高压气枪嘴拿开不对气阀口51施力后，气阀口51即呈关闭状态，同理用尖锐物体顶住气阀口51，对气阀口51施力即可让气阀口51处于打开状态，凹槽52与凸块53之间的间隙中充入的高压气体则被放出，安装腔体层23高度则自动降低。
44.通过微调升降机构5将掩模板上板21与掩模板下板22之间的距离拉开，使得安装腔体层23高度微微升高，从而oled显示基板1能够比较容易装入安装腔体层23中，在所述像素开口区24与oled显示基板的像素一一对齐之后，再通过微调升降机构5降低安装腔体层23高度，使得掩模板本体2紧密贴合在oled显示基板1上。
45.密封机构6设置有密封板61，在掩模板本体2端面上设置有滑动扣槽62，该滑动扣槽62设置在安装腔体层23开口端，且密封板61滑动安装在该滑动扣槽62中，在掩模板本体2一棱角处还开设有倒角，该倒角紧靠滑动扣槽62开口处设置，该倒角便于密封板61插入滑动扣槽62与之密封配合，通过密封机构6将安装腔体层23开口处密封。
46.掩模板下板22具有掩模板上板21一样的结构，即开设有像素开口区24，则可调节微调升降机构5使得安装腔体层23同时装入两块oled显示基板1，两块oled显示基板显示面分别对准掩模板下板22与掩模板上板21上的像素开口区24，在蒸镀时即可同时完成对两块oled显示基板1的蒸镀工作，效率更高。
47.同时参考图7至图8所示，在两个掩模板下板22与掩模板上板21中还分别设置有滑动掩膜板31，两个滑动掩膜板31两侧部分别活动连接有同一个推拉柄33，即两个滑动掩膜板31两侧部设置有向上的钩板和向下的钩板，推拉柄33也设置分别向两侧伸出的钩板分别与之配合，推拉柄33向两边拉动时即可实现对两块滑动掩膜板31的同时滑动控制，同时推拉柄33的钩板与其他两个钩板之间均存在活动间隙。
48.在对oled显示基板中的像素进行蒸镀即实现红色(r)，绿色(g)和蓝色(b)的oled像素自发光，需要分别对oled显示基板发射红色(r)，绿色(g)和蓝色(b)的有机发光层，以及用于保护有机发光层的结构，所述有机发光层和保护层均通过蒸镀覆盖在oled显示基板中对应的rgb像素上，传统的方法是在对不同颜色的像素进行蒸镀时更换不同对应图案的掩膜版来实现蒸镀工作。但这种方法效率太过低下，且蒸镀的品质太低，残次率太高。
49.所以，本发明给出了上述能够提高蒸镀品质的oled蒸镀用掩膜板的应用方法，掩膜板在oled蒸镀过程中使用，其蒸镀过程包括以下步骤：
50.一、通过微调升降机构5调整安装腔体层23的高度，使得安装腔体层23的高度大于oled显示基板1厚度；
51.二、将oled显示基板1装入安装腔体层23中，再通过微调升降机构5调整安装腔体层23的高度，使得安装腔体层23内壁与oled显示基板1紧密贴合；
52.三、滑动调整局部掩膜板机构3的滑动掩膜板31位置，使得通孔32重合的像素开口26与即将蒸镀的像素颜色相对应；
53.四、将掩模板本体2置入设备中对oled显示基板1进行真空蒸镀。
54.进一步地，该应用方法在oled显示基板1完成一种像素颜色的蒸镀工作后，对通孔32、像素开口26以及整个像素开口区24进行清洗，再滑动调整局部掩膜板机构3的滑动掩膜
板31位置，使得通孔32重合的像素开口26与下一次蒸镀的像素颜色相对应，最后对安装腔体层23中的oled显示基板1进行真空蒸镀，如此循环，直到oled显示基板1所有像素颜色蒸镀完成，并品质达标。当然，在oled显示基板1完成一次蒸镀后，也可能并未完成一种像素颜色的蒸镀工作，则也可调整滑动掩膜板31位置露出该种像素颜色另一些上次未蒸镀的对应像素，再次蒸镀直到完成一种像素颜色的蒸镀工作后，再进行上述操作。
55.进一步地，该应用方法在将oled显示基板1装入安装腔体层23中后，通过密封机构6机构将oled显示基板1密封固定在安装腔体层23中。
56.进一步地，该应用方法在局部掩膜板机构3的滑动掩膜板31在掩模板本体2内部滑动调整的过程中，均通过定位机构4对滑动掩膜板31进行精确定位固定，使得通孔32与像素开口26精准重合，并在蒸镀过程中不会发生错位移动。
57.在应用本发明的掩膜板对oled显示基板1进行蒸镀工作之时，蒸镀的效率得到有效提高，同时对各颜色像素蒸镀互不干扰，极大地提高了蒸镀品质，降低了残次品率，且oled显示基板也能够得到有效地保护，有效降低了对原材料的损坏，进一步降低了残次品率。
58.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求限定为准。