真空门结构及真空设备的制作方法

1.本技术涉及真空设备技术领域，特别是一种真空门结构及真空设备。


背景技术：

2.真空腔室是镀膜机、刻蚀机等真空设备必须的主体结构，真空腔室由多个壁面的真空腔体和门结构构成一个密封体，门结构与真空腔体通过密封圈进行密封。
3.传统的真空腔室的门结构是采用合页连接翻转的方式，在使用时，通常是操作者先将门解锁，然后由手动打开；关闭时，先关闭门体，然后用气缸拉紧或推动卡扣卡紧，或人工操作卡扣卡紧。
4.由于真空腔室的门板通常都非常重，一般都有几十公斤以上，而真空腔室也经常需要进行上下料或者清洁作业，在此过程中，操作者需要对门结构打开和关闭的操作变得非常复杂，而且也不利于自动上下料和设备使用自动化。


技术实现要素：

5.基于此，有必要针对上述门结构打开和关闭的操作复杂的技术问题，提供一种真空门结构及真空设备。
6.一种真空门结构，包括：直线运动机构、门板以及连接板；其中，所述直线运动机构安装在真空腔体前板的两侧，所述连接板安装在所述直线运动机构之间；
7.所述门板上安装有支撑结构，门板通过支撑结构与连接板联动，由所述直线运动机构带动上下运动；所述门板两侧安装有导向轴承，所述导向轴承在所述真空腔体前板进行上下滑行；
8.所述真空腔体前板在关闭位置设有轴承避位槽，连接板上安装有推进机构；所述导向轴承滑行至在所述轴承避位槽时，由所述推进机构将门板向真空腔体前板的密封圈压紧。
9.在一个实施例中，所述支撑结构包括安装在门板上的支撑轴承，门板通过支撑轴承与连接板联动，由所述直线运动机构带动上下运动。
10.在一个实施例中，在关门动作中，所述门板向上运动到关闭位置时，所述导向轴承运动到真空腔体前板的轴承避位槽位置，所述推进机构输出作用力给门板将导向轴承压入轴承避位槽内悬空，并将门板压在真空腔体前板上。
11.在一个实施例中，在开门动作中，门板向下运动，连接板带动所述导向轴承脱离所述轴承避位槽，门板与所述真空腔体前板的密封圈脱离；所述导向轴承在真空腔体前板向下运动，门板通过支撑轴承与连接板联动运动到底部设定位置。
12.在一个实施例中，所述推进机构包括预压弹簧；其中，所述导向轴承在真空腔体前板上滑动时，预压弹簧处于深度压缩状态，将所述门板向真空腔体前板压紧，使得导向轴承与真空腔体前板保持接触；所述导向轴承运动到轴承避位槽位置，所述预压弹簧处于预压状态，导向轴承压入轴承避位槽内悬空，预压弹簧将门板压在真空腔体前板上。
13.在一个实施例中，所述推进机构包括气缸推进机构或电机推进机构。
14.在一个实施例中，所述直线运动机构包括双滑台模组；
15.所述双滑台模组包括分别安装在真空腔体前板两侧的滑台模组；所述连接板的两端分别安装在两个滑台模组的滑块上；每个滑台模组对应一个驱动电机，驱动滑块上下运动。
16.在一个实施例中，所述直线运动机构包括双直线导轨，一个驱动电机及丝杆结构；
17.所述双直线导轨包括分别安装在真空腔体前板两侧的直线导轨，所述连接板的两端分别安装在两个直线导轨的滑块上；
18.所述驱动电机安装在门板中部位置，通过所述丝杆结构驱动所述连接板上下运动。
19.在一个实施例中，所述直线运动机构包括一个滑台模组和一个直线导轨；
20.所述滑台模组和直线导轨分别安装在真空腔体前板两侧，所述连接板分别安装在所述滑台模组的滑块和直线导轨的滑块上；所述滑台模组对应一个驱动电机，驱动滑台模组的滑块上下运动。
21.一种真空设备，包括：真空腔室以及上述的真空门结构。
22.本技术的技术方案具有如下有益效果：
23.利用直线运动机构、门板以及连接板结合的结构，在门板上安装支撑结构，门板通过支撑结构与连接板联动，并由直线运动机构带动上下运动，门板两侧安装导向轴承，导向轴承在真空腔体前板进行上下滑行，在真空腔体前板在关闭位置设置轴承避位槽，并连接板上安装推进机构，导向轴承滑行至在轴承避位槽时，由推进机构将门板向真空腔体前板的密封圈压紧，实现门板的打开和关闭；该技术方案，实现了自动化打开和关闭真空腔室的门板，降低了操作者手工开启或关闭真空门的复杂性，同时为实现自动化上下料提供有效通道，并且结合上下游工艺，可以实现物料的自动周转，提高制造过程的自动化程度。
附图说明
24.图1是真空门结构安装示意图；
25.图2是一个实施例的真空门结构示意图；
26.图3是真空门结构关闭状态下的俯视图；
27.图4和5是真空门结构关闭状态下的剖面视图；
28.图6是一个实施例的直线运动机构结构示意图；
29.图7是另一个实施例的直线运动机构结构示意图；
30.图8是又一个实施例的直线运动机构结构示意图。
具体实施方式
31.为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
32.本技术实施例的术语“包括”以及其他任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或模块，而
是可选地还包括没有列出的步骤或模块，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或模块。
33.参考图1，图1是真空门结构安装示意图，如图中所示，在真空腔体的真空腔体前板40上，通过自动化运行的真空门结构，真空腔室的门板20可以上下滑动来完成打开或关闭。
34.参考图2，图2是一个实施例的真空门结构示意图，图2为图1的虚线圈部分处于关闭状态下的放大图，该真空门结构包括：直线运动机构10、门板20以及连接板30；其中，直线运动机构10安装真空腔体前板40的两侧，连接板30安装在直线运动机构10之间。
35.门板20上安装有支撑结构21，门板20通过支撑结构21与连接板30联动，由直线运动机构10带动上下运动；门板20两侧安装有导向轴承22，导向轴承22在所述真空腔体前板40进行上下滑行。真空腔体前板40在关闭位置设有轴承避位槽401，连接板30上安装有推进机构23；导向轴承22滑行至在轴承避位槽401时，由推进机构23将门板20向真空腔体前板40的密封圈402压紧。
36.在一个实施例中，对于本技术的支撑结构21，可以包括安装在门板20上的支撑轴承211，门板20通过支撑轴承211与连接板30联动，由直线运动机构10带动上下运动。
37.基于上述实施例的真空门结构，其在关门和开门中操作可以如下：
38.在关门动作中：门板20向上运动到关闭位置时，导向轴承22运动到真空腔体前板40的轴承避位槽401位置，推进机构23输出作用力给门板20将导向轴承22压入轴承避位槽401内悬空，并将门板20压在真空腔体前板40上。
39.在开门动作中：门板20向下运动，连接板30带动导向轴承22脱离轴承避位槽401，门板20与真空腔体前板40的密封圈402脱离；导向轴承22在真空腔体前板40向下运动，门板20通过支撑轴承211与连接板30联动运动到底部设定位置。
40.具体的，本技术的真空门结构工作中主要包括以下几种状态：在关闭位置处，利用轴承避位槽401(u型设计)使得导向轴承22悬空，支撑轴承211使得门板20可以向真空腔体前板40方向运动的能力，推进机构23可以将门板20压紧在密封圈402上，使得门板20与密封圈402紧密接触，达到密封状态；参考图3
‑
5，图3是真空门结构关闭状态下的俯视图；图4和5是真空门结构关闭状态下的剖面视图。
41.滑行状态下，导向轴承22在真空腔体前板40上滑行，可以从关闭位置滑行至打开位置；在滑行过程中，导向轴承22脱离轴承避位槽401，门板20与真空腔体前板40的密封圈402分离，并且在整个滑行过程中，由于导向轴承22与真空腔室的作用，始终保持分离状态，从而可以避免门板20与密封圈402之间摩擦。
42.在一个实施例中，对于推进机构23，可以包括预压弹簧231，导向轴承22在真空腔体前板40上滑动时，预压弹簧231处于深度压缩状态，将门板20向真空腔体前板40压紧，使得导向轴承22与真空腔体前板40保持接触；导向轴承22运动到轴承避位槽401位置时，预压弹簧231处于预压状态，导向轴承22压入轴承避位槽401内悬空，预压弹簧231将门板20压在真空腔体前板40上。
43.上述实施例，通过预压弹簧可以以更低成本实现推进结构功能。
44.另外，推进机构23也可以采用气缸推进机构23或电机推进机构23等；在实际使用中，本专利使用者可以根据需求进行选择，在此不做限定。
45.本实施例的技术方案，实现了自动化打开和关闭真空腔室的门板，降低了操作者
手工开启或关闭真空门的复杂性，同时为实现自动化上下料提供有效通道，并且结合上下游工艺，可以实现物料的自动周转，提高制造过程的自动化程度。
46.在一个实施例中，参考图6，图6是一个实施例的直线运动机构结构示意图，上图是打开状态下的示意图，下图是关闭状态下的示意图。直线运动机构10包括双滑台模组；其中，双滑台模组包括分别安装在真空腔体前板40左侧的滑台模组110a和右侧的滑台模组110b；连接板30的两端分别安装在滑台模组110a和滑台模组110b的滑块上；滑台模组110a和滑台模组110b分别对应左侧的驱动电机111a和右侧的驱动电机111b，驱动滑块上下运动。
47.上述实施例的方案，一般是针对于门板重量较大时的设计方案，通过双滑台模组和双电机驱动。
48.在一个实施例中，参考图7，图7是另一个实施例的直线运动机构结构示意图，上图是打开状态下的示意图，下图是关闭状态下的示意图。直线运动机构10也可以包括双直线导轨，一个驱动电机121及丝杆结构122；其中，双直线导轨包括分别安装在真空腔体前板40左侧的直线导轨120a和右侧的直线导轨120b，连接板30的两端分别安装在两个直线导轨120a和120b的滑块上；驱动电机121安装在门板20中部位置，通过丝杆结构122驱动连接板30上下运动。
49.在一个实施例中，参考图8，图8是又一个实施例的直线运动机构10结构示意图，上图是打开状态下的示意图，下图是关闭状态下的示意图。直线运动机构10还可以包括一个滑台模组110和一个直线导轨120；其中，滑台模组110和直线导轨120分别安装在真空腔体前板40两侧，连接板30分别安装在滑台模组110的滑块和直线导轨120的滑块上；滑台模组110对应一个驱动电机111，驱动滑台模组110的滑块上下运动。
50.以上是本技术提供的直线运动机构10几种实现形式，实际使用中可以根据本专利使用者进行选择，在此不做限定。
51.下面阐述真空设备的实施例。
52.本技术的真空设备，可以包括：真空腔室以及上述实施例的真空门结构。本技术的真空设备，实现了自动化打开和关闭真空腔室的门结构，避免操作者人为开启或关闭真空门，同时为实现自动上下料提供有效通道，并且结合上下游工艺，可以实现物料的自动周转，提高制造过程的自动化程度。
53.以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。