一种溅镀机用固定装置的制作方法

1.本实用新型涉及溅镀设备技术领域，具体的之一种溅镀机用固定装置。


背景技术：

2.溅镀通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法。该工艺要求真空度在1
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10
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3torr左右，即1.3
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10
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3pa的真空状态充入惰性气体氩气(ar)，并在塑胶基材(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电，由于辉光放电(glow discharge)产生的电子激发惰性气体，产生等离子体，等离子体将金属靶材的原子轰出，沉积在塑胶基材上，现有的溅镀机的固定装置通常是固定安装在溅镀机内，不可调节，当加工不同规格的工件时，需要多次调整工件的位置，操作繁琐，效率低下，因此，急需提供一种可调节的溅镀机用固定装置。


技术实现要素：

3.为了克服现有技术中的缺陷，本实用新型实施例提供了一种溅镀机用固定装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.本技术实施例公开了：一种溅镀机用固定装置，安装于溅镀机的箱体内，包括水平设置的安装板，所述安装板的上端面的一侧连接有限位板，所述安装板上端面的另一侧连接有压板，所述压板连接有私服电缸，所述私服电缸固定在所述安装板上，所述安装板的下端面的中间位置固定有连接块，所述连接块活动贯穿有纵向设置的导杆，所述导杆的两端设有与之匹配的横向滑轨，所述连接块的底部连接有驱动机构。
5.优选的，所述驱动机构包括水平固定在所述箱体内壁上的连接板，所述连接板上通过轴承可转动贯穿有套筒，所述套筒的顶部的外壁连接有水平设置的矩形框，所述矩形框内连接有滑块，所述滑块的上端面通过销轴与所述连接块的下端面可转动连接，所述矩形框内可转动连接有沿其长度方向的丝杆，所述丝杆的一端可转动连接在所述矩形框的内壁上，所述丝杆的另一端可转动贯穿进所述套筒内，并连接有第一齿轮，所述套筒内竖直连接有截面为弧形的第一连杆，所述第一连杆的弧面与所述套筒的内周面同径，并与之贴合，所述第一连杆的周面上连接有限位块，所述套筒的内周面上连接有与所述限位块匹配的竖直限位槽，所述限位块滑动连接在所述限位槽内，所述第一连杆上竖直连接有与所述第一齿轮啮合的第一齿条，所述套筒的底部固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮上设有与所述套筒的内周同直径的通孔，所述第二齿轮连接有与之啮合的第三齿轮，所述第三齿轮连接有第一伺服电机，所述第一连杆的底部连接有与之同轴的转轴，所述转轴的周面上连接有沿其圆周分布一圈的第二齿条，所述箱体内连接有与所述第二齿条啮合的第四齿轮，所述第四齿轮连接有第二伺服电机。
6.优选的，所述转轴的下端面连接有与之同轴的限位孔，所述箱体底部的上端面上连接有竖杆，所述竖杆可滑动连接在所述限位孔内。
7.优选的，所述箱体内连接有一段以所述套筒为圆心，所述矩形框为半径的弧形滑轨，所述矩形框远离所述套筒的一端滑动连接在所述弧形滑轨上。
8.本实用新型的有益效果如下：将待加工工件放置到所述限位板与所述夹板之间，所述私服电缸驱动所述夹板向所述限位板靠近，使工件固定，所述连接块带动所述安装板沿所述导杆滑动，从而调节所述工件的y方向的位置，所述导杆带动所述连接块沿所述横向滑轨滑动，从而调节所述工件的x方向的位置，所述驱动机构驱动所述连接块带动所述安装板进行平面内的位置调整，使所述溅镀机可适用于不同规格的工件，提高工作效率。
9.为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
附图说明
10.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
11.图1是一种溅镀机用固定装置部分结构示意图。
12.图2是矩形框结构示意图。
13.图3是安装板结构示意图。
14.以上附图的附图标记：1、安装板；2、限位板；3、压板；4、私服电缸；5、连接块；6、导杆；7、横向滑轨；8、连接板；9、套筒；10、矩形框；11、滑块；12、丝杆；13、第一齿轮；14、第一连杆；15、第一齿条；16、第二齿轮；17、第三齿轮；18、第一伺服电机；19、转轴；20、第二齿条；21、第四齿轮；22、第二伺服电机；23、竖杆。
具体实施方式
15.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
16.参阅图1至图3，一种溅镀机用固定装置，安装于溅镀机箱体内，包括水平设置的安装板1，所述安装板1的上端面的一侧连接有限位板2，所述安装板1上端面的另一侧连接有压板3，所述压板3连接有私服电缸4，所述私服电缸4固定在所述安装板1上，所述安装板1的下端面的中间位置固定有连接块5，所述连接块5活动贯穿有纵向设置的导杆6，所述导杆6的两端设有与之匹配的横向滑轨7，所述连接块5的底部连接有驱动机构，将待加工工件放置到所述限位板2与所述夹板之间，所述私服电缸4驱动所述夹板向所述限位板2靠近，使工件固定，所述连接块5带动所述安装板1沿所述导杆6滑动，从而调节所述工件的y方向的位置，所述导杆6带动所述连接块5沿所述横向滑轨7滑动，从而调节所述工件的x方向的位置，所述驱动机构驱动所述连接块5带动所述安装板1进行平面内的位置调整，使所述溅镀机可适用于不同规格的工件，提高工作效率。
17.所述驱动机构包括水平固定在所述箱体内壁上的连接板8，所述连接板8上通过轴承可转动贯穿有套筒9，所述套筒9的顶部的外壁连接有水平设置的矩形框10，所述矩形框10内连接有滑块11，所述滑块11的上端面通过销轴与所述连接块5的下端面可转动连接，所
述矩形框10内可转动连接有沿其长度方向的丝杆12，所述丝杆12的一端可转动连接在所述矩形框10的内壁上，所述丝杆12的另一端可转动贯穿进所述套筒9内，并连接有第一齿轮13，所述套筒9内竖直连接有截面为弧形的第一连杆14，所述第一连杆14的弧面与所述套筒9的内周面同径，并与之贴合，所述第一连杆14的周面上连接有限位块，所述套筒9的内周面上连接有与所述限位块匹配的竖直限位槽，所述限位块滑动连接在所述限位槽内，使所述套筒9可向所述第一连杆14传递扭矩，所述第一连杆14上竖直连接有与所述第一齿轮13啮合的第一齿条15，所述套筒9的底部固定连接有第二齿轮16，所述第二齿轮16上设有与所述套筒9的内周同直径的通孔，所述第二齿轮16连接有与之啮合的第三齿轮17，所述第三齿轮17连接有第一伺服电机18，所述第一连杆14的底部连接有与之同轴的转轴19，所述转轴19的周面上连接有沿其圆周分布一圈的第二齿条20，所述箱体内连接有与所述第二齿条20啮合的第四齿轮21，所述转轴19旋转时，所述第四齿轮21始终与所述第二齿条20啮合，所述第四齿轮21连接有第二伺服电机22，所述第二伺服电机22驱动所述第四齿轮21旋转，所述第四齿轮21通过所述第二齿条20驱动所述转轴19沿其轴向滑动，所述转轴19带动所述第一连杆14升降，所述第一连杆14通过所述第一齿条15和所述第一齿轮13驱动所述丝杆12旋转，所述丝杆12驱动所述滑块11沿所述矩形框10的长度方向滑动，所述第一伺服电机18通过所述第二齿轮16和所述第三齿轮17驱动所述套筒9旋转，所述套筒9驱动所述矩形框10绕其转动，进而使所述滑块11在以所述套筒9为圆心所述矩形框10为半径的扇形面内移动，所述横向滑轨7与所述导杆6构成的矩形面位于所述扇形面内，进而使所述滑块11带动所述安装板1进行平面内的位置调整。
18.所述转轴19的下端面连接有与之同轴的限位孔，所述箱体底部的上端面上连接有竖杆23，所述竖杆23可滑动连接在所述限位孔内。
19.所述箱体内连接有一段以所述套筒9为圆心，所述矩形框10为半径的弧形滑轨，所述矩形框10远离所述套筒9的一端滑动连接在所述弧形滑轨上。
20.所述装置的工作过程如下：将待加工工件放置到所述限位板2与所述夹板之间，所述私服电缸4驱动所述夹板向所述限位板2靠近，使工件固定，所述第二伺服电机22驱动所述第四齿轮21旋转，所述第四齿轮21通过所述第二齿条20驱动所述转轴19沿其轴向滑动，所述转轴19带动所述第一连杆14升降，所述第一连杆14通过所述第一齿条15和所述第一齿轮13驱动所述丝杆12旋转，所述丝杆12驱动所述滑块11沿所述矩形框10的长度方向滑动，所述第一伺服电机18通过所述第二齿轮16和所述第三齿轮17驱动所述套筒9旋转，所述套筒9驱动所述矩形框10绕其转动，进而使所述滑块11在以所述套筒9为圆心所述矩形框10为半径的扇形面内移动，所述横向滑轨7与所述导杆6构成的矩形面位于所述扇形面内，进而使所述滑块11带动所述安装板1进行平面内的位置调整。
21.本实用新型中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。