一种设备安装辅助装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种设备安装辅助装置。


背景技术：

2.通过化学物质反应而在基片上沉积形成薄膜的技术已获得广泛应用。典型的例子是利用气态物质在固态基片表面进行反应生成薄膜沉积的化学气相沉积(cvd，chemical vapor deposition)。
3.pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition)是指等离子体增强化学的气相沉积法。借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种cvd称为等离子体增强化学气相沉积(pecvd)。
4.随着太阳能电池片的外形尺寸越来越大，制造太阳能电池片的pecvd的腔体横向和纵向尺寸也越来越大，腔体的体积则越大，则将腔体抽真空分子泵的功率也需更大。目前市面上的分子泵的体积、重量和功率一般成正比。人员在躺着的情况下搬运分子泵也越困难。目前人们在安装位于下层的分子泵时还是靠人工搬运的方式安装、维护分子泵。人员在平躺的情况下长时间托举着分子泵，存在危险或安装不到位导致真空泄漏的情况。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种设备安装辅助装置，可以更加快速便捷地安装待安装设备，减轻工作人员安装或维保维修时的工作强度，消除安全隐患。
6.本实用新型的目的通过如下技术方案实现：
7.本实用新型提供一种设备安装辅助装置，其特征在于：包括安装台和位于安装台上方的待安装设备移动机构。
8.进一步的，所述安装台包括承载面和位于承载面下方的支撑脚。
9.进一步的，所述待安装设备移动机构包括待安装设备移动治具，所述待安装设备移动治具上部设有待安装设备支撑座。
10.进一步的，所述待安装设备移动治具下方设有滑动组件。
11.进一步的，所述承载面的周圈设有导向框架，所述承载面和导向框架固定连接。
12.进一步的，所述导向框架高于承载面。
13.进一步的，所述支撑脚为活动支撑脚。
14.进一步的，所述支撑脚的下方设置有滚轮。
15.较之现有技术而言，本实用新型的优点在于：
16.(1)本实用新型的设备安装辅助装置设置了待安装设备移动机构，通过将待安装设备安放在待安装设备移动机构上，能确保待安装设备的安装到位，保障连接准确严密，减少工作人员安装或维保维修时的工作强度，保障安装人员在安装时的人身安全。
17.(2)本实用新型的设备安装辅助装置设置了活动支撑脚，可以根据需要调整活动支撑脚的位置，由于pecvd设备下部空间有限，活动支撑脚可以让设备安装辅助装置更容易地放置到pecvd设备的下部，从而更容易地进行待安装设备的安装。
附图说明
18.图1是本实用新型的pecvd设备腔体及分子泵安装位置的结构示意图；
19.图2是本实用新型的一种设备安装辅助装置的结构示意图；
20.图3是本实用新型的一种分子泵移动机构结构示意图；
21.图4是本实用新型的分子泵结构示意图；
22.图5是本实用新型的分子泵与分子泵移动结构的结合示意图；
23.图6是本实用新型的分子泵移动机构移动分子泵的示意图；
24.图7是本实用新型的分子泵移动机构安装分子泵过程中的示意图。
25.标号说明：
26.101、pecvd设备腔体，102、载板回流输送，103、分子泵连接法兰，201、腔体下部空间，202、分子泵安装位，301、安装台，302、支撑脚，302a、a位置，302b、b位置，303、滚轮，304、承载面，305、导向框架，401、分子泵移动治具，402、滑动组件，403、分子泵支撑座，501、分子泵，502、分子泵法兰。
具体实施方式
27.下面结合说明书附图和实施例对本

技术实现要素：
进行详细说明：
28.如图1所示为本实用新型的pecvd设备腔体及分子泵安装位置的示意图。
29.通常的pecvd设备腔体(包括一般腔和制程腔)，需要在pecvd设备腔体101的腔体下部空间201上的分子泵安装位202上安装分子泵501，由于设备本身的腔体下部空间201的空间紧凑，且存在载板回流输送102，安装或维修的工作人员，通常需要平躺在设备的下方，用手托举分子泵501进行安装或维修。而本实用新型提供一种包括安装台301和分子泵移动机构的分子泵安装辅助装置，用于非常方便、快捷地将分子泵501安装到pecvd设备腔体下部空间201的分子泵连接法兰103。
30.如图2所示，本实用新型的安装台301包括承载面304和位于承载面304下方的支撑脚302。所述安装台301用于承载分子泵501，从而代替人工托举。
31.具体的，所述分子泵移动机构包括分子泵移动治具401，所述分子泵移动治具401上部作为分子泵支撑座403。如图3-图5所示，分子泵移动治具401具有用于固定分子泵501的分子泵支撑座403，所述分子泵501包括分子泵法兰502，通过设计对应的结构使得分子泵501整体可以稳定地固定在分子泵支撑座403上。
32.进一步的，所述分子泵移动治具501下方设有滑动组件402，所述滑动组件402可以是滑轨、滑动钢珠等形式，所述滑动组件402使得分子泵移动治具501可以在安装台301的表面移动，具体的，如图6所示，可以是从安装台301的一端移动到另一端。
33.为了让分子泵移动治具501的移动更加稳定和精确，可以在所述承载面304的周圈设有导向框架305，所述承载面304和导向框架305固定连接，可以设置导向框架305的高度高于承载面304，使得导向框架305更好地实现导向的作用。
34.在一种实施方式中，所述支撑脚302为活动支撑脚，所述支撑脚302的位置可以在a位置和b位置之间调整，可根据需要调整支撑脚的302位置。由于腔体下部空间201有限，可以将要伸进腔体下部空间201的一端的支撑脚302位置调整到b位置，使得安装台301更容易地进入。而后再将支撑脚302调整到a位置，起到支撑的作用。
35.进一步的，可以在所述支撑脚302的下方设置滚轮303，令整体的移动更加便捷。
36.如图7所示，是分子泵移动机构安装分子泵501过程中的示意图。以下提供一种具体安装分子泵501的流程：
37.首先，将安装台301下方的支撑脚302从a位置302a顺时针旋转至b位置302b，如图2中所示随后将安装台301的收起支撑脚302的一端放置到pecvd设备腔体下部空间201，放置到位后，将支撑脚302从b位置302b旋转至a位置302a。安装台301的可旋转的支撑脚302一端在pecvd设备腔体的下部空间201，一端在设备下部空间201的范围外。
38.其次，在安装台301放置到位后，将分子泵移动治具401放置到安装台301的承载面304的c端上，如图6所示，再将分子泵501放置到分子泵移动治具401上，分子泵移动治具401上的分子泵支撑座403支撑托举分子泵501。分子泵移动治具401下方有滑动组件402，分子泵501放置好后，推动分子泵移动治具401从安装台301的c端，在滑动组件402的滑动和导向框架305导向的作用下，分子泵移动治具401滑动至安装台301的d端。
39.最后，分子泵501移动到位后，将分子泵501上的分子泵法兰502和分子泵连接法兰103对位锁紧，分子泵501安装完成。安装完成后将分子泵移动治具401推至腔体下部空间201的外围，取下分子泵移动治具401，将安装台301的支撑脚302从a位置302a旋转至b位置302b，随后取出安装台301，分子泵501安装完成。
40.以上所述仅为本实用新型中优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围。
41.显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。