一种物理气相沉积用多向转动装置的制作方法

文档序号:28147081发布日期:2021-12-22 19:05阅读:240来源:国知局
一种物理气相沉积用多向转动装置的制作方法

1.本实用新型涉及表面改性领域以及物料沉积用辅助设备技术领域,具体为一种物理气相沉积用多向转动装置。


背景技术:

2.物理气相沉积技术表示在真空条件下,采用物理方法,将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积的主要方法有,真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜,及分子束外延等。发展到目前,物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。
3.现有的物理气相沉积用转动装置的整体转动以及活动性较差,且对于需要加工沉积的工件的固定性能稳定性较差。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种物理气相沉积用多向转动装置,以解决上述背景技术中提出的现有的物理气相沉积用转动装置,对于需要加工沉积的工件的固定性能稳定性较差等问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种物理气相沉积用多向转动装置,包括框架、固定压板、连接转盘和减震转向机构,所述框架正面的中间位置连接设置有透明观察窗口,所述透明观察窗口的上方安装设置有控制面板,所述框架内部的一侧连接设置有加工件,所述框架外部的另一侧连接设置有电机,所述框架的内部连接设置有转向筒,所述转向筒的内部以及加工件一端的顶部和底部皆连接设置有固定压板,所述固定压板的顶部连接设置有连接滑板,所述连接滑板的两侧以及固定压板内部的两侧皆连接设置有第一滑槽,所述连接滑板的顶部以及转向筒的顶部和底部皆安装设置有电动伸缩杆,连接滑板配合第一滑槽以及电动伸缩杆的作用可实现带动连接活动杆以及连接滑板在转向筒内部进行上下移动的工作,便于调节两个固定压板之间的距离。
6.优选的,所述转向筒一侧的顶部连接设置有连接活动杆,所述连接活动杆与转向筒外部的一侧属于活动连接设置,连接活动杆与转向筒一侧属于可转动活动连接,且连接活动杆与连接转盘内部属于滑动连接。
7.优选的,所述转向筒的顶部以及底部皆连接设置有减震转向机构,且减震转向机构整体与转向筒属于固定连接设置,框架与转向筒属于固定连接,且通过减震转向机构的设置可实现转向筒进行多方位转向以及减震具有弹性的作用。
8.优选的,所述连接活动杆的一端以及框架内部的一侧连接设置有连接转盘,连接转盘通过转杆以及电机设置连接在框架一侧位置,则连接转盘可通过电机的启动带动进行转动的工作。
9.优选的,所述连接转盘的内部连接设置有轨迹槽,轨迹槽的设置可实现连接转盘
转动的同时使连接活动杆可连带转向筒整体沿着轨迹槽随着连接转盘进行转动的工作。
10.优选的,所述减震转向机构的内部以及转向筒的顶部和底部皆连接设置有连接块,所述连接块的内部连接设置有连接滑套,所述连接滑套的两端以及连接块内部的两侧皆连接设置有第二滑槽,所述连接滑套中间位置的内部连接设置有滑杆,所述滑杆的外部以及连接滑套的底部连接设置有弹簧,转向筒整体进行转向工作时,利用连接滑套与第二滑槽属于滑动连接,且配合滑杆和弹簧的作用可带动重力接触球在连接块内部进行反复上下移动工作。
11.优选的,所述连接滑套两端的底部连接设置有连接杆,所述连接杆的一端连接设置有重力接触球,所述重力接触球的底部连接设置有连接座,重力接触球可在连接座内部旋转式滑动,且重力接触球与连接座之间具有一定的吸力,并且重力接触球具有向下重力,可实现重力接触球可适中在连接座内部范围内进行滑动工作。
12.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
13.(1)该种物理气相沉积用多向转动装置,通过在固定压板、连接滑板、第一滑槽和电动伸缩杆等配件,将加工件放置在转向筒内部以及两个固定压板之间位置时,利用控制面板控制启动电动伸缩杆,配合连接滑板以及第一滑槽的作用可对两个固定压板之间的距离进行调节,便于对加工件一端进行固定夹持工作,可避免加工时出现加工件移动以及掉落的问题;
14.(2)该种物理气相沉积用多向转动装置,通过在连接转盘、轨迹槽、连接块、连接滑套、第二滑槽、滑杆、弹簧、重力接触球和连接座等配件,通过电机的启动带动连接转盘进行转动,则连接转盘转动的同时配合与转向筒活动连接的连接活动杆实现带动整体转向筒可随着连接活动杆沿着轨迹槽的轨迹范围内进行旋转,则随着旋转的力,连接滑套可利用第二滑槽以及滑杆和弹簧的作用配合转向筒本身一端的旋转力度可进行适应上下弹动伸缩性,且重力接触球在连接座内部旋转式滑动的工作可缓冲以及辅助连接块以及转向筒的整体的转向工作,可有效提高加工件的加工和沉积均匀的工作效率;
15.(3)该种物理气相沉积用多向转动装置,通过在框架和透明观察窗口配件,透明观察窗口为透明设置,可便于工作人员在对加工件进行加工沉积时可顺便进行监察的工作,且框架的设置可有效正面隔绝加工件与工作人员,起到一定的防护性能。
附图说明
16.图1为本实用新型正视外部结构示意图;
17.图2为本实用新型正视内部结构示意图;
18.图3为本实用新型图2中a处放大结构示意图;
19.图4为本实用新型连接转盘侧视结构示意图。
20.图中:1、框架;2、透明观察窗口;3、控制面板;4、加工件;5、电机;6、转向筒;7、固定压板;8、连接滑板;9、第一滑槽;10、电动伸缩杆;11、连接活动杆;12、连接转盘;13、减震转向机构;1301、连接块;1302、连接滑套;1303、第二滑槽;1304、滑杆;1305、弹簧;1306、连接杆;1307、重力接触球;1308、连接座;14、轨迹槽。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1

4,本实用新型提供的一种实施例:一种物理气相沉积用多向转动装置,包括框架1、固定压板7、连接转盘12和减震转向机构13,所述框架1正面的中间位置连接设置有透明观察窗口2,所述透明观察窗口2的上方安装设置有控制面板3,所述框架1内部的一侧连接设置有加工件4,所述框架1外部的另一侧连接设置有电机5,所述框架1的内部连接设置有转向筒6,转向筒6一侧的顶部连接设置有连接活动杆11,连接活动杆11的一端以及框架1内部的一侧连接设置有连接转盘12,连接转盘12的内部连接设置有轨迹槽14,轨迹槽14的设置可实现连接转盘12转动的同时使连接活动杆11可连带转向筒6整体沿着轨迹槽14随着连接转盘12进行转动的工作;
23.连接转盘12通过转杆以及电机5设置连接在框架1一侧位置,则连接转盘12可通过电机5的启动带动进行转动的工作;
24.连接活动杆11与转向筒6外部的一侧属于活动连接设置,连接活动杆11与转向筒6一侧属于可转动活动连接,且连接活动杆11与连接转盘12内部属于滑动连接;
25.转向筒6的内部以及加工件4一端的顶部和底部皆连接设置有固定压板7,控制面板3用来控制设备内部的电机5和电动伸缩杆10的启动和断开的工作,透明观察窗口2可观察至框架1内部设备的工作运程,便于工作人员监察,转向筒6与框架1属于固定连接,固定压板7可对加工件4的放置起到固定作用,便于加工件4可自由在转向筒6内部进行拆装工作;
26.固定压板7的顶部连接设置有连接滑板8,所述连接滑板8的两侧以及固定压板7内部的两侧皆连接设置有第一滑槽9,所述连接滑板8的顶部以及转向筒6的顶部和底部皆安装设置有电动伸缩杆10,连接滑板8配合第一滑槽9以及电动伸缩杆10的作用可实现带动连接活动杆11以及连接滑板8在转向筒6内部进行上下移动的工作,便于调节两个固定压板7之间的距离。
27.转向筒6的顶部以及底部皆连接设置有减震转向机构13,减震转向机构13的内部以及转向筒6的顶部和底部皆连接设置有连接块1301,所述连接块1301的内部连接设置有连接滑套1302,连接滑套1302两端的底部连接设置有连接杆1306,所述连接杆1306的一端连接设置有重力接触球1307,所述重力接触球1307的底部连接设置有连接座1308,重力接触球1307可在连接座1308内部旋转式滑动,且重力接触球1307与连接座1308之间具有一定的吸力,并且重力接触球1307具有向下重力,可实现重力接触球1307可适中在连接座1308内部范围内进行滑动工作;
28.连接滑套1302的两端以及连接块1301内部的两侧皆连接设置有第二滑槽1303,所述连接滑套1302中间位置的内部连接设置有滑杆1304,所述滑杆1304的外部以及连接滑套1302的底部连接设置有弹簧1305,转向筒6整体进行转向工作时,利用连接滑套1302与第二滑槽1303属于滑动连接,且配合滑杆1304和弹簧1305的作用可带动重力接触球1307在连接块1301内部进行反复上下移动工作;
29.减震转向机构13整体与转向筒6属于固定连接设置,框架1与转向筒6属于固定连
接,且通过减震转向机构13的设置可实现转向筒6进行多方位转向以及减震具有弹性的作用。
30.本技术实施例在使用时:利用控制面板3控制启动电动伸缩杆10,配合连接滑板8以及第一滑槽9的作用可对两个固定压板7之间的距离进行调节,便于对加工件4一端进行固定夹持工作,可避免加工时出现加工件4移动以及掉落的问题,通过电机5的启动带动连接转盘12进行转动,则连接转盘12转动的同时配合与转向筒6活动连接的连接活动杆11实现带动整体转向筒6可随着连接活动杆11沿着轨迹槽14的轨迹范围内进行旋转,则随着旋转的力,连接滑套1302可利用第二滑槽1303以及滑杆1304和弹簧1305的作用配合转向筒6本身一端的旋转力度可进行适应上下弹动伸缩性,且重力接触球1307在连接座1308内部旋转式滑动的工作可缓冲以及辅助连接块1301以及转向筒6的整体的转向工作,便于实现加工件4整体可均匀受沉积以及加工涂抹等工作。
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