一种基于多工位的连续式多轴位移真空镀膜设备的制作方法

文档序号:29844036发布日期:2022-04-27 13:29阅读:144来源:国知局
一种基于多工位的连续式多轴位移真空镀膜设备的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜领域,特别是涉及一种基于多工位的连续式多轴位移真空镀膜设备。


背景技术:

2.真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属产品,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如,真空镀铝、真空镀铬等,真空镀膜技术一般分为两大类,即物理气相沉积(pvd)技术和化学气相沉积(cvd)技术。
3.现有的真空镀膜设备在对产品进行镀膜时,通常操作流程时放入镀膜产品,然后抽真空,进行镀膜,完成后操作者产品取出,再放入新的一批镀膜产品,抽真空、镀膜,操作复杂,需要操作者不断控制设备的开关和产品的拿取,浪费人力,且大大影响了设备的工作效率,为此我们提供一种基于多工位的连续式多轴位移真空镀膜设备。


技术实现要素:

4.为了克服现有技术的不足,本实用新型提供一种基于多工位的连续式多轴位移真空镀膜设备,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种基于多工位的连续式多轴位移真空镀膜设备,包括箱体,所述箱体下端两侧均设有通槽,所述箱体下端通过通槽贯穿有传送带,所述传送带下端与通槽底侧密封且滑动连接,所述传送带上侧等距固接有隔热板,多个所述隔热板上侧均等距设有放置槽,且相邻的两个隔热板的连接处上侧均固接有连接块,相邻的两个所述连接块中心轴的距离与两个通槽中心轴距离相同,位于两个所述通槽上端的箱体的内部均密封连接有密封升降门,多个所述连接块上侧均设有与密封升降门适配的密封槽。
6.作为本实用新型的一种优选技术方案,位于两个所述通槽上端的箱体内部均设有滑腔,所述密封升降门位于滑腔的下端,且其滑动延伸至通槽的内部,所述滑腔的上端固接有与密封升降门上端固接的升降器,所述箱体外部连接有与升降器电连接的控制面板。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述滑腔底侧粘接有密封垫。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述箱体的内上端连接有压力传感器,所述控制面板包括显示屏和plc控制器,所述压力传感器与显示屏电连接。
9.作为本实用新型的一种优选技术方案,位于两个所述通槽的下端箱体的内部均转动连接有传送辊,所述传送辊与传送带底侧贴合,所述传送辊表面粘接有密封层。
10.作为本实用新型的一种优选技术方案,还包括贯穿与箱体内上端的蒸汽管,所述蒸汽管延伸至箱体外端与外部蒸汽机连通,且位于所述箱体内部的蒸汽管的下端等距连通有蒸汽导出斗,所述箱体内顶壁对称固接有真空吸斗,两个所述真空吸斗上端连通有真空管,所述真空管延伸至箱体的外端与外部真空泵连接。
11.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述箱体内顶壁对称固接有与蒸汽管卡接
的卡环。
12.与现有技术相比,本实用新型能达到的有益效果是:
13.1、将待镀膜的产品放置在放置槽的内部,通过传送带带动产品移动到箱体的内部,然后通过升降器、密封升降门及连接块上侧密封槽的配合,实现了箱体的密封性,然后对放置槽表面的产品进行镀膜操作,对一个隔热板上的产品镀膜完成后,升降器带动密封升降门往上移动,然后控制传送带移动,将另一组隔热板上端的产品输送到箱体的内部进行镀膜操作,实现产品的连续镀膜操作,且该设备为自动化操作,节省人力,同时提高了设备的工作效率;
14.2、通过传送辊及表面粘接有密封层,实现传送带下侧与箱体之间的密封,同时对传送带起到辅助传动的作用,提高传送带的稳定性。
附图说明
15.图1为本实用新型的结构示意图;
16.图2为本实用新型密封升降门与箱体的连接结构示意图;
17.图3为本图1中a处的放大结构示意图;
18.其中:1、箱体;2、通槽;3、传送带;4、连接块;5、隔热板;6、密封升降门;7、密封槽;8、升降器;9、蒸汽管;10、蒸汽导出斗;11、卡环;12、真空吸斗;13、真空管;14、压力传感器;15、控制面板;16、放置槽;17、密封层;18、密封垫;19、传送辊;20、滑腔。
具体实施方式
19.为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施例,进一步阐述本实用新型,但下述实施例仅仅为本实用新型的优选实施例,并非全部。基于实施方式中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例,都属于本实用新型的保护范围。下述实施例中的实验方法,如无特殊说明,均为常规方法,下述实施例中所用的产品、试剂等,如无特殊说明,均可从商业途径得到。
20.实施例:
21.如图1和图2所示,本实用新型提供一种基于多工位的连续式多轴位移真空镀膜设备,包括箱体1,箱体1下端两侧均设有通槽2,箱体1下端通过通槽2贯穿有传送带3,传送带3为带式传送带,传送带3下端与通槽2底侧密封且滑动连接,传送带3上侧等距固接有隔热板5,多个隔热板5上侧均等距设有用于放置镀膜产品的放置槽16,相邻的两个隔热板5的连接处上侧均固接有连接块4,相邻的两个连接块4中心轴的距离与两个通槽2中心轴距离相同,位于两个通槽2上端的箱体1内部均设有滑腔20,滑腔20的下端设有密封升降门6,其滑动延伸至通槽2内部,滑腔20上端固接有与密封升降门6固接的升降器8,升降器8为电动伸缩杆,滑腔20底侧粘接有密封垫18,箱体1外部连接有与升降器8电连接的控制面板15,多个连接块4上侧均设有与密封升降门6适配的密封槽7;
22.将待镀膜的产品均匀的放置在放置槽16的内部,然后控制传送带3移动,传送带3带动产品移动至箱体1的内部,同时相邻的两个连接块4位于两个通槽2内部,然后通过控制面板15同时控制两个升降器8工作,升降器8带动下端的密封升降门6往下移动,使得密封升
降门6下端插接在密封槽7的内部,同时升降器8与密封升降门6之间固接有限位板,限位板下侧通过与密封垫18的配合,实现对箱体1之间的密封连接,然后对放置槽16表面的产品进行镀膜操作,对一个隔热板5表面的产品镀膜完成后,通过升降器8控制密封升降门6往上移动,然后控制传送带3移动,将另一组隔热板5上端的产品输送到箱体1的内部进行镀膜操作,实现产品的连续镀膜操作,且该设备为自动化操作,节省人力,同时提高了设备的工作效率。
23.如图1所示,本实施例公开了,箱体1的内上端连接有压力传感器14,控制面板15包括显示屏和plc控制器,压力传感器14与显示屏电连接,便于检测箱体1内部压力,同时显示在显示器上,便于工作者的观察。
24.如图3所示,本实施例公开了,位于两个通槽2的下端箱体1的内部均转动连接有传送辊19,传送辊19与传送带3底侧贴合,传送辊19表面粘接有密封层17,实现传送带3下侧与箱体1之间的密封,同时对传送带3起到辅助传动的作用,提高传送带3的稳定性。
25.如图1所示,本实施例公开了,还包括贯穿与箱体1内上端的蒸汽管9,蒸汽管9延伸至箱体1外端与外部蒸汽机连通,且位于箱体1内部的蒸汽管9的下端等距连通有蒸汽导出斗10,使用蒸汽实现箱体1内部的加热,箱体1内顶壁对称固接有真空吸斗12,两个真空吸斗12上端连通有真空管13,真空管13延伸至箱体1的外端与外部真空泵连接,实现箱体1内部的真空处理。
26.如图1所示,本实施例公开了,箱体1内顶壁对称固接有与蒸汽管9卡接的卡环11,对卡环11起到支撑的作用,提高其稳定性。
27.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之
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上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
28.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例,并不用来限制本实用新型,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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