一种新型PVD载板磁悬浮传动装置的制作方法

一种新型pvd载板磁悬浮传动装置
技术领域
1.本实用新型涉及异质结太阳能电池制备设备领域，尤其涉及一种新型 pvd载板磁悬浮传动装置。


背景技术：

2.在制备高效异质结太阳能电池时，pvd(physical vapor deposition，物理气相沉积)工序是非常关键的步骤之一。经过化学气相沉积的硅片放置在载板上，载板作为硅片承载传送托盘，输送硅片进入真空腔室进行物理气相沉积。
3.目前市场上pvd均采用上下同时镀膜的结构设计，在工艺制程过程中，载板也会和硅片一样在表面形成镀膜，随着使用次数增多，膜层越来越厚。
4.现行设备均采用滚轮与载板硬接触的传动方式，载板直接置于传动辊上，通过载板边框底面与多个传动辊之间的滑动摩擦力，实现载板传动，因传送振动或载板与传动滚轮之间的摩擦，会产生掉粉到硅片的正面，再经上镀膜，附着在上膜层内，从而影响电池片的镀膜质量和造成后道印刷网版破裂现象严重，造成电池片效率低，设备稼动率低，产能低和成本居高不下。


技术实现要素：

5.针对上述问题，本实用新型提供了一种通过同名磁极之间产生磁斥力的原理，改变了传统的接触式传输方式，使pvd载板输送过程中处于悬浮状态，避免了滚轮与载板硬接触的新型pvd载板磁悬浮传动装置。
6.为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种新型pvd 载板磁悬浮传动装置，包括腔体、pvd载板，所述pvd载板底部两侧固定安装至少一组悬浮永磁，腔体与之对应位置各固定安装至少一排与悬浮永磁相斥的同极永磁，所述腔体内左右两侧各安装至少一组导向永磁，所述腔体上侧装有若干磁流体，且从腔体外传递扭矩至制程腔体内的齿轮，所述pvd载板左上方安装一组齿条与齿轮衔接。
7.进一步的，所述导向永磁的位置与pvd载板上的悬浮永磁同极且相对应。
8.进一步的，所述pvd载板下方对应平行设置靶材。
9.进一步的，所述的齿轮、齿条及磁流体组成的传送结构还可以采用输送带、涡轮蜗杆、电磁传送结构。
10.由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：
11.本实用新型通过同名磁极之间产生磁斥力的原理，实现pvd载板在输送过程中的支撑力，取消了原结构中的支撑传动辊，简化设备传送结构，解决了载板与滚轮间摩擦产生掉粉现象，提高载板使用寿命，亦提高了设备稼动率，降低生产成本和维护成本，从根本上解决了粉尘，提高了镀膜质量，亦避免制程工艺失败，提高了电池片转化效率及生产效率。
附图说明
12.构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
13.图1为本实用新型一种新型pvd载板磁悬浮传动装置。
具体实施方式
14.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
15.实施例
16.参考图1，一种新型pvd载板磁悬浮传动装置，包括腔体1、pvd载板5，所述pvd载板5底部两侧固定安装至少一组悬浮永磁6，腔体1与之对应位置各固定安装至少一排与悬浮永磁相斥的同极永磁9，所述腔体1 内左右两侧各安装至少一组导向永磁7，所述腔体1上侧装有若干磁流体2，用于密封腔体，且从腔体外传递扭矩至制程腔体1内的齿轮3，所述pvd 载板5左上方安装一组齿条4与齿轮3衔接。
17.所述导向永磁7的位置与pvd载板5上的悬浮永磁6同极且相对应。
18.所述pvd载板5下方对应平行设置靶材8。
19.所述的齿轮3、齿条4及磁流体2组成的传送结构还可以采用输送带、涡轮蜗杆、电磁传送结构，且相应的悬浮永磁6或导向永磁7可采用其它间接产生磁性的器件代替。
20.工作原理：在传送pvd载板时，悬浮永磁6与同极永磁9相互之间的磁斥力，使pvd载板5处于悬浮状态，导向永磁7与同极永磁9相互之间的磁斥力，使pvd载板5始终处于正中，起到导向的作用，pvd设备伺服电机带动磁流体2，从腔外传递扭矩至制程腔体1内的齿轮3，带动与之对应的齿条4，从而使处于悬浮状态的载板5传动，避免了与载板直接接触，摩擦产生掉粉到硅片的正面，进而提高了镀膜质量和后道印刷网版的产能。
21.本实用新型通过同名磁极之间产生磁斥力的原理，实现pvd载板在输送过程中的支撑力，取消了原结构中的支撑传动辊，简化设备传送结构，解决了载板与滚轮间摩擦产生掉粉现象，提高载板使用寿命，亦提高了设备稼动率，降低生产成本和维护成本，从根本上解决了粉尘，提高了镀膜质量，亦避免制程工艺失败，提高了电池片转化效率及生产效率
22.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种新型pvd载板磁悬浮传动装置，其特征在于：包括腔体(1)、pvd载板(5)，所述pvd载板(5)底部两侧固定安装至少一组悬浮永磁(6)，腔体(1)与之对应位置各固定安装至少一排与悬浮永磁相斥的同极永磁(9)，所述腔体(1)内左右两侧各安装至少一组导向永磁(7)，所述腔体(1)上侧装有若干磁流体(2)，且从腔体外传递扭矩至制程腔体(1)内的齿轮(3)，所述pvd载板(5)左上方安装一组齿条(4)与齿轮(3)衔接。2.根据权利要求1所述一种新型pvd载板磁悬浮传动装置，其特征在于：所述导向永磁(7)的位置与pvd载板(5)上的悬浮永磁(6)同极且相对应。3.根据权利要求1所述一种新型pvd载板磁悬浮传动装置，其特征在于：所述pvd载板(5)下方对应平行设置靶材(8)。4.根据权利要求1所述一种新型pvd载板磁悬浮传动装置，其特征在于：所述的齿轮(3)、齿条(4)及磁流体(2)组成的传送结构还可以采用输送带、涡轮蜗杆、电磁传送结构。

技术总结
本实用新型公开了一种新型PVD载板磁悬浮传动装置，包括腔体、PVD载板，所述PVD载板底部两侧固定安装至少一组悬浮永磁，腔体与之对应位置各固定安装至少一排与悬浮永磁相斥的同极永磁，所述腔体内左右两侧各安装至少一组导向永磁，所述腔体上侧装有若干磁流体，且从腔体外传递扭矩至制程腔体内的齿轮，所述PVD载板左上方安装一组齿条与齿轮衔接。本实用新型通过同名磁极之间产生磁斥力的原理，实现PVD载板在输送过程中的支撑力，简化设备传送结构，解决了载板与滚轮间摩擦产生掉粉现象，提高载板使用寿命，亦提高了设备稼动率，降低生产成本和维护成本，从根本上解决了粉尘，提高了镀膜质量，亦避免制程工艺失败，提高了电池片转化效率及生产效率。片转化效率及生产效率。片转化效率及生产效率。


技术研发人员：黄茂林 秦志华 刘义军
受保护的技术使用者：福建金石能源有限公司
技术研发日：2021.11.11
技术公布日：2022/6/3