掩膜组件的制作方法

文档序号:29901910发布日期:2022-05-05 20:53阅读:93来源:国知局
掩膜组件的制作方法

1.本实用新型涉及显示面板加工技术领域,尤其涉及一种掩膜组件。


背景技术:

2.在显示面板的蒸镀工艺中,需要在玻璃基板上的待蒸镀区域蒸镀一层有机材料,而在非蒸镀区域不能沾染有机材料。因此,在蒸镀设备的内部,通常将玻璃基板放置于掩膜组件上。如图1所示,掩膜组件包括支撑框架10

以及交叉设置于支撑框架10

内的多根掩膜条20

,多根掩膜条20

在支撑框架10

上划分出蒸镀区域30

和遮蔽区域,掩膜组件上的蒸镀区域30

与玻璃基板40

上指定的待蒸镀区域对正,掩膜组件上的遮蔽区域与玻璃基板40

上的非蒸镀区域对正。
3.现有技术存在以下缺陷:一方面,进行蒸镀工序时,每一批次的玻璃基板40

上的蒸镀区域30

可能存在差异,而现有技术中,针对每一批次的玻璃基板40

均需要设计对应的掩膜组件,严重增加了生产成本。另一方面,如图1和图2所示,在有多根掩膜条20

并排设置的位置处,相邻掩膜条20

之间存在间隙50

,由于该间隙50

是沿竖直方向的,因此,蒸镀源60

散发出的有机物蒸汽极易通过该竖直间隙50

附着于该位置的玻璃基板40

上,造成玻璃基板40

上的非蒸镀区域被污染,严重影响了显示面板的成品质量,增加了报废率。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于:提供一种掩膜组件,其能够划分形成多种尺寸的蒸镀区域,通用性强,且有效阻挡玻璃基板上的非蒸镀区域被有机物蒸汽污染。
5.为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
6.提供一种掩膜组件,包括:
7.支撑框架,
8.掩膜条,设置有多个,多个所述掩膜条交叉设置,并连接于所述支撑框架上,以划分形成多个矩形蒸镀区域,每个所述掩膜条均沿其宽度方向在所述支撑框架上的位置可调,每个所述掩膜条上均设置有遮蔽结构,所述遮蔽结构用于遮挡相邻且并排设置的两个所述掩膜条之间的间隙。
9.作为掩膜组件的一种优选方案,所述支撑框架上沿周向环设有导向槽,所述掩膜条的两端均沿其宽度方向设置有导向凸起,且所述导向凸起位于所述掩膜条面向所述支撑框架的一侧,所述导向凸起能够插入所述导向槽中,并能够与所述导向槽滑动配合。
10.作为掩膜组件的一种优选方案,还包括锁紧件,所述支撑框架上沿周向间隔设置有多个连接孔,所述锁紧件能够穿过任一所述连接孔,并伸入所述导向槽中,以顶紧于所述导向凸起上。
11.作为掩膜组件的一种优选方案,所述锁紧件为螺栓,所述连接孔为螺纹孔,所述螺栓旋入所述螺纹孔内。
12.作为掩膜组件的一种优选方案,所述遮蔽结构为台阶结构,每个所述掩膜条沿其
宽度方向相对的两侧均设置有所述台阶结构,所述台阶结构沿所述掩膜条的长度方向延伸,相邻两个所述掩膜条之间能够通过所述台阶结构相嵌合。
13.作为掩膜组件的一种优选方案,所述遮蔽结构包括遮挡板,所述掩膜条沿其宽度方向相对的两侧分别设置有插槽和所述遮挡板,所述插槽和所述遮挡板均沿所述掩膜条的长度方向延伸,所述插槽和所述遮挡板正对设置,以使所述遮挡板能够嵌入另一所述掩膜条的插槽中。
14.作为掩膜组件的一种优选方案,所述遮蔽结构包括可调插板,所述掩膜条上设置有沿其宽度方向贯通的容纳腔,所述可调插板可伸缩地设置于所述容纳腔内,所述可调插板伸出所述容纳腔时能够插入另一所述掩膜条的容纳腔中。
15.作为掩膜组件的一种优选方案,所述掩膜条的底面沿其宽度方向设置有条形孔,所述可调插板上凸设有拨动销,所述拨动销可移动地插设于所述条形孔内。
16.作为掩膜组件的一种优选方案,所述容纳腔的顶壁设置有摩擦片,所述可调插板与所述摩擦片可滑动接触。
17.作为掩膜组件的一种优选方案,所述支撑框架包括矩形边框和支撑部,所述掩膜条连接于所述矩形边框上,所述支撑部设置于所述矩形边框背向所述掩膜条的一侧。
18.本实用新型的有益效果为:通过沿掩膜条的宽度方向调节其在支撑框架上的位置,能够调节多个掩膜条划分形成的蒸镀区域的尺寸,使用时,可根据待蒸镀的玻璃基板上的待蒸镀区域调节掩膜条的位置,以使形成的蒸镀区域与玻璃基板上的待蒸镀区域对正,通用性强,另外,在有掩膜条并排设置的位置,掩膜条上的遮蔽结构能够遮挡相邻两掩膜条之间形成的竖向间隙,从而避免下方蒸镀源散发的有机物蒸汽污染玻璃基板上的非蒸镀区域。
附图说明
19.下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
20.图1为现有技术中掩膜组件的俯视图。
21.图2为现有技术中相邻且并排的两个掩膜条的结构示意图。
22.图3为本实用新型实施例一提供的掩膜组件的第一视图。
23.图4为本实用新型实施例一提供的掩膜组件的第二视图。
24.图5为图3中a处的局部放大图。
25.图6为本实用新型实施例一提供的掩膜条的安装示意图。
26.图7为本实用新型实施例一提供的掩膜条的横截面图。
27.图8为本实用新型实施例二提供的掩膜条的横截面图。
28.图9为本实用新型实施例三提供的掩膜条的轴测图。
29.图10为图9中b处的局部放大图。
30.图11为本实用新型实施例三提供的相邻且并排的两个掩膜条的连接示意图。
31.图1和图2中:
32.10

、支撑框架;20

、掩膜条;30

、蒸镀区域;40

、玻璃基板;50

、间隙;60

、蒸镀源。
33.图3至图11中:
34.1、支撑框架;11、矩形边框;111、导向槽;112、连接孔;12、支撑部;
35.2、掩膜条;21、导向凸起;22、台阶结构;23、遮挡板;24、插槽;25、可调插板;251、拨动销;26、容纳腔;27、条形孔;28、摩擦片;
36.3、蒸镀区域;
37.4、锁紧件;
38.100、蒸镀源。
具体实施方式
39.参考下面结合附图详细描述的实施例,本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而,本实用新型不限于以下公开的实施例,而是可以以各种不同的形式来实现,提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围,并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
40.以下,参照附图来详细描述本实用新型。
41.实施例一
42.如图3和图4所示,本实施例提供一种掩膜组件,其能够划分形成多种尺寸的蒸镀区域3,通用性强,且有效阻挡玻璃基板上的非蒸镀区域被有机物蒸汽污染。该掩膜组件包括支撑框架1和多个掩膜条2。
43.多个掩膜条2交叉设置,并连接于支撑框架1上,以划分形成多个蒸镀区域3。每个蒸镀区域3均呈矩形。每个掩膜条2均沿其宽度方向在支撑框架1上的位置可调。如图3所示,为使蒸镀区域3的尺寸符合设计要求,可能在某些位置将几个掩膜条2并排设置在一起。现有技术中,掩膜条2的截面呈矩形,并排设置的掩膜条2之间存在竖向的间隙,导致下方蒸镀源100散发的有机物蒸汽会通过该竖向间隙附着于玻璃基板上。而在本实施例中,每个掩膜条2上均设置有遮蔽结构,遮蔽结构用于遮挡相邻且并排设置的两个掩膜条2之间的间隙。
44.通过沿掩膜条2的宽度方向调节其在支撑框架1上的位置,能够调节多个掩膜条2划分形成的蒸镀区域3的尺寸,使用时,可根据待蒸镀的玻璃基板上的待蒸镀区域调节掩膜条2的位置,以使形成的蒸镀区域3与玻璃基板上的待蒸镀区域对正,通用性强,另外,在有掩膜条2并排设置的位置,掩膜条2上的遮蔽结构能够遮挡相邻两掩膜条2之间形成的竖向间隙,从而避免下方蒸镀源100散发的有机物蒸汽污染玻璃基板上的非蒸镀区域。
45.如图4所示,支撑框架1包括矩形边框11和支撑部12。多个掩膜条2垂直交叉设置,并连接于矩形边框11上,以将矩形边框11划分形成多个蒸镀区域3。支撑部12设置于矩形边框11背向掩膜条2的一侧。蒸镀时,整个掩膜组件位于蒸镀设备的传送带上。通过设置支撑部12,一方面能够增加整个掩膜组件的强度,防止其变形,另一方面能够保证掩膜条2与下方的传送带之间具有一定的间隔,防止掩膜条2弯曲变形而碰触到下方的传送带。
46.本实施例中,每个掩膜条2均可拆卸地连接于矩形边框11上。当需要增加或减少掩膜条2的数量时,拆卸和安装较为便利。或者,某个掩膜条2损坏时,只需更换该损坏的掩膜条2即可,无需报废整个掩膜组件,延长掩膜组件的使用寿命,降低生产成本。
47.可选地,如图3所示,支撑框架1的矩形边框11上沿周向环设有导向槽111。掩膜条2的两端均设置有导向凸起21,且导向凸起21沿掩膜条2的宽度方向延伸。导向凸起21位于掩
膜条2面向支撑框架1的一侧。导向凸起21插入导向槽111中,并与导向槽111可滑动配合。通过导向凸起21在导向槽111内的滑动,可调节掩膜条2在矩形边框11上的位置,待调整至合适位置后,将掩膜条2固定于矩形边框11上即可。
48.可选地,掩膜条2与支撑框架1的矩形边框11之间可通过锁紧件4固定。如图3所示,矩形边框11上沿周向间隔设置有多个连接孔112,且连接孔112与导向槽111连通。如图5和图6所示,锁紧件4能够穿过任一连接孔112,并伸入导向槽111中,以顶紧于掩膜条2的导向凸起21上,从而将调整好位置的掩膜条2固定于矩形框架上,操作简单方便。
49.示例性地,锁紧件4可为螺栓,连接孔112均为螺纹孔。当滑动调节掩膜条2至合适位置时,将螺栓旋入对应的螺纹孔内,并顶紧于该掩膜条2的导向凸起21上即可。
50.参见图5和图7,可选地,在本实施例中,遮蔽结构为台阶结构22。每个掩膜条2沿其宽度方向相对的两侧均设置有该台阶结构22,且台阶结构22沿掩膜条2的长度方向延伸。相邻且并排设置的掩膜条2之间能够通过各自的台阶结构22相嵌合。参见图7,通过台阶结构22嵌合后的掩膜条2之间的间隙不再是竖向的间隙,蒸镀源100产生的有机物蒸汽无法通过掩膜条2之间的缝隙散发至掩膜条2上方,避免玻璃基板的非蒸镀区域被污染。台阶结构22在制作加工时较为简单,适合批量生产。
51.实施例二
52.如图8所示,本实施例提供一种掩膜组件,其与实施例一的区别在于:
53.可选地,在本实施例中,遮蔽结构包括遮挡板23。遮挡板23用于遮挡相邻掩膜条2之间的间隙。具体地,掩膜条2沿其宽度方向相对的两侧分别设置有插槽24和遮挡板23。参照图8中的方向,掩膜条2的左侧开设有插槽24,右侧凸设有遮挡板23,且插槽24和遮挡板23均沿掩膜条2的长度方向延伸。插槽24和遮挡板23正对设置,并位于掩膜条2的中部。即,插槽24和遮挡板23位于同一水平面上。在相邻且并排设置的两个掩膜条2中,其中一个掩膜条2上的遮挡板23插设于另一个掩膜条2上的插槽24中,以遮挡两个掩膜条2之间的缝隙,避免上方的玻璃基板的非蒸镀区域被污染。
54.实施例三
55.如图9至图11所示,本实施例提供一种掩膜组件,其与实施例一的区别在于:
56.可选地,在本实施例中,遮蔽结构包括可调插板25。如图9和图11所示,掩膜条2上设置容纳腔26,该容纳腔26沿掩膜条2的宽度方向贯通设置。可调插板25可伸缩地设置于容纳腔26内。具体地,可调插板25的宽度小于掩膜条2的宽度,可调插板25能够分别由容纳腔26的两个腔口伸出。参见图11,所示的是并排设置的两个掩膜条2的连接示意图,右侧的可调插板25位于容纳腔26内而不伸出,由于可调插板25的宽度小于掩膜条2的宽度,因此,在可调插板25的两侧能够形成一定的插设空间。左侧可调插板25的右端由容纳腔26的右腔口伸出,并插入右侧掩膜条2的容纳腔26中,以遮挡两个掩膜条2之间的缝隙,避免上方的玻璃基板的非蒸镀区域被污染。
57.通过设置容纳腔26,在掩膜条2不使用时,可以将可调插板25收纳回容纳腔26内部,便于存放整理。
58.可选地,参见图9和图10,掩膜条2的底面沿其宽度方向设置有条形孔27。可调插板25上凸设有拨动销251,拨动销251可移动地插设于条形孔27内。车间人员通过拨动销251可方便地移动可调插板25,使其插入相邻掩膜条2上的容纳腔26中。拨动销251与条形孔27的
配合能够限定可调插板25的移动距离,避免可调插板25脱离容纳腔26。进一步地,每个掩膜条2上设置有两个条形孔27,可调插板25上设置有与两个条形孔27一一对应的拨动销251,能够提高移动可调插板25时的平稳性。
59.本实施例中,参见图10和图11,容纳腔26的顶壁和可调插板25之间夹设有摩擦片28。具体地,摩擦片28固定连接于容纳腔26的顶壁,可调插板25移动时,其顶面与摩擦片28滑动接触,摩擦片28的摩擦系数较大,当可调插板25的位置调整好后,可调插板25与摩擦片28之间的摩擦阻力能够避免可调插板25从相邻掩膜条2上的容纳腔26中脱离出来,保证遮挡有机物蒸汽的可靠性。
60.尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例,但是本实用新型不限于以上实施例,而是可以以各种形式制造,并且本领域技术人员将理解,在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下,可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此,应该理解,上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。
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