一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘的制作方法

1.本技术涉及一种工装盘，更具体地涉及一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘。


背景技术：

2.在磁控溅射镀膜行业中，镀膜产品的装夹方式尤为重要，能否根据产品的类型、结构、形状和具体工艺方案确定最合适的装甲方案，很大程度上决定了涂层能否对产品的性能和寿命带来显著的提升，以及是否能够批量化生产。因此对于工装盘的设计、装夹的效率和便捷性也提出了更高的要求。
3.现有工装盘主要分为两种类型，对于大重量的产品如模具等需要镀膜时，一般使用的是固定在腔体内部承重工装盘，这种情况下主要考虑的是工装的安全性，因此承重工装盘是完全固定在腔体底部的，不可避免的在挂装的过程中不方便，而且效率较低。另一种情况当小重量但是形状复杂的产品如涡轮叶片等需要镀膜时，工装盘需要设计为可拆卸结构，能够在镀膜腔体外部进行精密和高效率的挂装，然后再把工装盘安装到腔体内部，这样的方式因为其结构接设计问题，导致工装盘的拆卸和安装较为繁琐，虽然产品的镀层性能得到了保证，但是仍然不能具有显著的效率提升。因此提供一种移动方便、结构简单、镀膜均匀、安装便捷同时能够承受各种重量的立式磁控溅射镀膜工装盘的需求是存在的。


技术实现要素：

4.本技术主要目的在于提供一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘，其中，所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘能够有效地利用其自身的结构配置实现移动方便、镀膜均匀的优势。
5.本技术的另一目的在于提供一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘，其中，所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘包括两车轮和连接件，两所述车轮被设置所述盘体组件的底部，进而使得所述盘体组件移动方便，且所述连接件的一端固定连接于所述盘体组件的底部，另一端被用于连接外部搬运设备，以方便所述盘体组件的移动。
6.本技术的另一目的在于提供一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘，其中，所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘包括一盘体和一第一转动杆，所述第一转动杆被可转动地设于所述盘体上，从而使得套接在所述第一转动杆上的产品镀膜均匀。
7.本技术的另一目的在于提供一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘，其中，所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘结构简单、操作便捷，不涉及复杂的制造工艺和昂贵的材料，具有较高的经济性，易于推广和使用。
8.为了实现上述至少一发明目的，本技术提供了一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘，其中所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘，包括：
9.一盘体，所述盘体具有一开口和一腔体，所述开口分别与外部和所述腔体相连通，所述盘体的中心还具有贯穿所述盘体的一第一装配孔，所述第一装配孔呈台阶状，所述第
一装配孔的小孔还与所述腔体相连通；
10.一盖板，所述盖板被固定连接于形成所述开口的壁面，进而封闭所述开口，所述盖板的中心具有一贯穿所述盖板的第一插入孔，且所述插入孔分别与外部和所述腔体相连通，且所述第一插入孔正对所述第一装配孔；
11.一第一转动件，所述第一转动件的一端被插入到所述第一装配孔，并被置于所述腔体内；
12.一第一转动杆和一底盘，所述第一转动件的一端与所述底盘的一端固定连接，且所述底盘背离所述第一转动杆的一端与所述第一转动件卡接连接；
13.其中，外部设置穿过所述第一装配孔，并与第一所述转动件转动连接，进而使得外部设备带动所述第一转动件转动，从而带动所述第一转动杆转动。
14.在本技术一个或多个实施例中，所述第一转动件具有一大端和一小端，所述小端的一端从所述大端的一端向外延伸，且所述小端被可滑动地插入到所述第一装配孔内，并被置于所述腔体内，且所述第一转动件的大端被置于所述第一装配孔的大孔内，且所述第一转动件的大端靠近所述第一转动件的小端的一侧抵靠在形成所述第一装配孔的台阶面上，其中所述第一转动件的小端可与外部设备相连。
15.在本技术一个或多个实施例中，所述盘体组件还包括一顶板，所述顶板的中心与所述第一转动杆背离所述底盘的一端固定连接，进而使得所述第一转动杆带动所述顶板的转动。
16.在本技术一个或多个实施例中，所述第一转动件的小端的外壁呈齿轮状，且在所述盘体组件还包括一齿轮组件，所述齿轮组件被设于所述腔体内，所述齿轮组件与所述第一转动件的小端啮合连接，进而使得所述齿轮组件通过第一转动件的转动进行运作。
17.在本技术一个或多个实施例中，所述盘体的顶部具有至少一第一圆槽，所述第一圆槽位于所述第一转动杆的一侧，并靠近所述盘体的边缘处，且所述圆槽与所述腔体相连通。
18.在本技术一个或多个实施例中，所述盘体组件还包括至少一第二转动件，所述第二转动件的一端与所述盖板转动连接，另一端被置于所述第一圆槽内，所述第二转动件的中段与齿轮组件啮合连接。
19.在本技术一个或多个实施例中，所述顶板的侧壁具有至少一卡槽，所述盘体组件还包括一套接件和一第二转动杆，所述套接件被固定连接于形成所述卡槽的壁面，且所述套接件与所述第一圆槽相对应，所述第二转动杆的一端与套接件套接连接，且所述第二转动杆的另一端与所述第二转动杆被置于所述第一圆槽内的一端固定连接。
20.在本技术一个或多个实施例中，所述盘体组件还包括至少一支撑板和至少一第三转动件，所述支撑板的一端与所述第一转动杆的中段固定连接，另一端往背离所述第一转动杆的方向延伸，所述第三转动件被固定连接于所述支撑板的侧壁。
21.在本技术一个或多个实施例中，所述盘体的顶部具有至少一第二圆槽，所述第二圆槽位于所述第一转动杆的一侧，并靠近所述盘体的边缘处，且所述第二圆槽位于所述第一圆槽的一侧，所述圆槽与所述腔体相连通。
22.在本技术一个或多个实施例中，所述盘体组件还包括至少一第四转动件，所述第四转动件的一端与所述盖板转动连接，另一端被置于所述第二圆槽内，所述第四转动件的
中段与齿轮组件啮合连接，且所述第四转动件正对所述第三转动件，所述盘体组件还包括至少一第三转动杆，所述第三转动杆的一端与所述第三转动件靠近所述盘体的一端转动连接，另一端与所述第四转动件被置于所述第二圆槽的一端固定连接。
附图说明
23.从下面结合附图对本技术实施例的详细描述中，本技术的这些和/或其它方面和优点将变得更加清楚并更容易理解，其中：
24.图1图示了一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘的结构示意图。
25.图2图示了一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘的部分结构示意图。
26.图3图示了图1中a的放大图。
27.图4图示了图1中b的放大图。
28.图5图示了车轮的移动示意图。
具体实施方式
29.以下说明书和权利要求中使用的术语和词不限于字面的含义，而是仅由本发明人使用以使得能够清楚和一致地理解本技术。因此，对本领域技术人员很明显仅为了说明的目的而不是为了如所附权利要求和它们的等效物所定义的限制本技术的目的而提供本技术的各种实施例的以下描述。
30.可以理解的是，术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”，即在一个实施例中，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个，术语“一”不能理解为对数量的限制。
31.虽然比如“第一”、“第二”等的序数将用于描述各种组件，但是在这里不限制那些组件。该术语仅用于区分一个组件与另一组件。例如，第一组件可以被称为第二组件，且同样地，第二组件也可以被称为第一组件，而不脱离实用新型构思的教导。在此使用的术语“和/或”包括一个或多个关联的列出的项目的任何和全部组合。
32.在这里使用的术语仅用于描述各种实施例的目的且不意在限制。如在此使用的，单数形式意在也包括复数形式，除非上下文清楚地指示例外。另外将理解术语“包括”和/或“具有”当在该说明书中使用时指定所述的特征、数目、步骤、操作、组件、元件或其组合的存在，而不排除一个或多个其它特征、数目、步骤、操作、组件、元件或其组的存在或者附加。
33.申请概述
34.现有工装盘主要分为两种类型，对于大重量的产品如模具等需要镀膜时，一般使用的是固定在腔体内部承重工装盘，这种情况下主要考虑的是工装的安全性，因此承重工装盘是完全固定在腔体底部的，不可避免的在挂装的过程中不方便，而且效率较低。另一种情况当小重量但是形状复杂的产品如涡轮叶片等需要镀膜时，工装盘需要设计为可拆卸结构，能够在镀膜腔体外部进行精密和高效率的挂装，然后再把工装盘安装到腔体内部，这样的方式因为其结构接设计问题，导致工装盘的拆卸和安装较为繁琐，虽然产品的镀层性能得到了保证，但是仍然不能具有显著的效率提升。基于此，需要一种移动方便、结构简单、镀膜均匀、安装便捷同时能够承受各种重量的立式磁控溅射镀膜工装盘。
35.基于上述技术问题，本技术提出一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘，其中，
所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘结构简单，不涉及复杂的制造工艺和昂贵的材料，具有较高的经济性，同时，对于生产厂家来说，本技术所提供的安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘易于生产，且成本低廉，更有利于控制生产成本，进一步有利于产品推广和使用。
36.示意性安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘
37.参考图1至图5，依本实用新型一较佳实施例的安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘下面将上述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘简称为工装盘。其中需要说明的是，现有工装盘在推入到需要加工腔体内时，因此结构接设计问题，导致推动现有工装盘较为麻烦，而本实用新型较好的解决了这一问题。下面对本实用新型进行详细阐述，以便于理解本实用新型。
38.具体地，所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘包括一盘体组件10，其中需要说明的是，本实用新型被用于磁控溅射镀膜设备镀膜加工环节，且被置于外部装置的真空腔体内，进而通过外部设备对安装在所述盘体组件10上的产品进行镀膜，其中确保盘体组件10便捷地放置到真空腔体内是提高镀膜效率的重要环节之一，因此下面对所述盘体组件10的结构组成进行详细阐述。
39.具体地，所述盘体组件10包括一盘体11，其中所述盘体11被可滑动地置于真空腔体内。
40.进一步地，所述盘体11具有一开口和一腔体，所述开口分别与外部和所述腔体相连通。
41.具体地，所述盘体组件10还包括一盖板12，所述盖板12被固定连接于形成所述开口的壁面，进而封闭所述开口。
42.值得一提的是，所述盖板12的中心具有一贯穿所述盖板12的第一插入孔，且所述插入孔分别与外部和所述腔体相连通。
43.进一步地，所述盘体11的中心还具有贯穿所述盘体的一第一装配孔，所述第一装配孔贯穿所述盘体11，其中需要说明的是，所述第一装配孔呈台阶状，所述第一装配孔的小孔还与所述腔体相连通，并正对所述第一插入孔。
44.进一步地，所述盘体组件10还包括一第一转动件（图中未表示）具有一大端和一小端，所述小端的一端从所述大端的一端向外延伸，且所述小端被可滑动地插入到所述第一装配孔内，并被置于所述腔体内，且所述第一转动件的大端被置于所述第一装配孔的大孔内，且所述第一转动件的大端靠近所述第一转动件的小端的一侧抵靠在形成所述第一装配孔的台阶面上。
45.值得一提的是，所述盘体组件10还包括一第一转动杆13和一底盘14，所述第一转动件的一端与所述底盘14的一端固定连接，且所述底盘14背离所述第一转动杆13的一端与所述第一转动件的大端背离小端的一侧卡接连接。其中需要说明的是，所述第一转动件的小端可与外部设备相连，进而通过外部设备带动所述第一转动件转动，从而通过所述底盘14的转动带动所述第一转动杆13的转动。其中本领域技术人员应当理解的是，所述第一转动杆13被用于套接外部产品，进而通过所述第一转动杆13的转动带动套接在所述第一转动杆13上的外部产品进而转动，从而确保套接在所述第一转动杆13的外部产品镀膜均匀。
46.进一步地，所述盘体组件10还包括一顶板15，所述顶板15的中心与所述第一转动
杆13背离所述底盘14的一端固定连接，进而使得所述第一转动杆13带动所述顶板15的转动。
47.其中需要说明的是，所述第一转动件的小端的外壁呈齿轮状，且在所述腔体内还安装有一齿轮组件，所述齿轮组件与所述第一转动件的小端啮合连接，进而使得所述齿轮组件通过第一转动件的转动进行运作。
48.值得一提的是，所述盘体11的顶部具有至少一第一圆槽101，其中需要说明的是，所述第一圆槽101位于所述第一转动杆13的一侧，并靠近所述盘体11的边缘处，且所述圆槽与所述腔体相连通。
49.具体地，所述盘体组件10还包括至少一第二转动件16，所述第二转动件16的一端与所述盖板12转动连接，另一端被置于所述第一圆槽101内，其中需要说明的是，所述第二转动件16的中段与齿轮组件啮合连接。
50.需要说明的是，所述顶板15的侧壁具有至少一卡槽102。
51.具体地，所述盘体组件10还包括一套接件17和一第二转动杆18，所述套接件17被固定连接于形成所述卡槽102的壁面，且所述套接件17与所述第一圆槽101相对应，所述第二转动杆18的一端与套接件17套接连接，且所述第二转动杆18的另一端与所述第二转动杆18被置于所述第一圆槽101内的一端固定连接，当所述齿轮组件运作时，所述齿轮组件带动所述第二转动杆18进行转动。
52.为防止外部介质进入到所述第一圆槽101，所述盘体组件10还包括一防护板19，所述防护板19与所述第二转动杆18固定连接，且所述防护板19靠近所述第一圆槽101，进而起到防护效果。
53.值得一提的是，所述盘体组件10还包括至少一支撑板200，所述支撑板200的一端与所述第一转动杆13的中段固定连接，另一端往背离所述第一转动杆13的方向延伸。
54.具体地，所述盘体组件10还包括至少一第三转动件300，所述第三转动件300被固定连接于所述支撑板200的侧壁。
55.进一步地，所述盘体11的顶部具有至少一第二圆槽103，其中需要说明的是，所述第二圆槽103位于所述第一转动杆13的一侧，并靠近所述盘体11的边缘处，且所述第二圆槽103位于所述第一圆槽101的一侧，所述圆槽与所述腔体相连通。
56.具体地，所述盘体组件10还包括至少一第四转动件400，所述第四转动件400的一端与所述盖板12转动连接，另一端被置于所述第二圆槽103内，其中需要说明的是，所述第四转动件400的中段与齿轮组件啮合连接，且所述第四转动件400正对所述第三转动件300。
57.具体地，所述盘体组件10还包括至少一第三转动杆（图中未表示），所述第三转动杆的一端与所述第三转动件300靠近所述盘体11的一端转动连接，另一端与所述第四转动件400被置于所述第二圆槽103的一端固定连接。当所述齿轮组件运作时，所述齿轮组件带动所述第三转动杆进行转动。
58.为便于所述盘体组件10移动，具体地如图2和图5所示，所述盘体组件10还包括至少两车轮500，至少两车轮500被固定连接于所述盖板12背离所述腔体的一侧，至少两所述车轮500位于所述第一插入孔的两侧，所述车轮被可滚动地设于外部滑道上，从而便于将本实用新型送入外部加工腔内。
59.值得一提的是，所述盘体组件10还包括一连接板600，所述连接板600的一端被固
定连接于所述盖板12背离所述腔体的一侧，另一端外部所述盖板12的一侧，进而使得所述连接板600与外部搬运设置相连，进而方便推拉所述盘体组件10。
60.综上，基于本技术实施例的所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘被阐明，其为所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘提供移动方便、结构简单、镀膜均匀、安装便捷同时能够承受各种重量等优势。
61.值得一提的是，在本技术实施例中，所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘结构简单，不涉及复杂的制造工艺和昂贵的材料，具有较高的经济性。同时，对于生产厂家来说，本技术所提供的安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘易于生产，且成本低廉，更有利于控制生产成本，进一步有利于产品推广和使用。
62.本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本实用新型的实施例只作为举例而并不限制本实用新型。本实用新型的目的已经完整并有效地实现。本实用新型的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离该原理下，本实用新型的实施方式可以有任何变形或修改。