一种研磨及供应装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种研磨及供应装置。


背景技术：

2.在半导体的制造过程中，往往需要使用到研磨液，而研磨液很容易结块形成沉淀。为了防止研磨液沉淀，对于现有的研磨液供应装置，往往需要事先放入摇匀装置，随后采用人力将研磨桶推放至适当位置，利用工具将桶盖拧至松弛状态，随后将吸管插入桶中，手动拧紧固定装置，在更换过程中更需注意研磨液的飞溅，避免沾染皮肤。同时，一些研磨液长期吸入也会对人体健康造成巨大伤害，这一切由于都需要人力完成，对于工作人员健康，精力与耐心都具有一定的考验。
3.因此，如何提供一种研磨及供应装置，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种研磨及供应装置，以解决现有技术存在的整个研磨过程需要依靠人力完成，操作工序复杂且对操作人员的健康容易产生影响的问题。
5.为了达到上述目的，本实用新型提供了一种研磨及供应装置，用于对研磨桶内的液体进行研磨和取液，包括：旋转平台、机械手臂、数个超声射频混匀单元和驱动装置；
6.其中，所述驱动装置位于所述旋转平台下方，连接并带动所述旋转平台旋转；
7.所述旋转平台上表面设有数个周向分布的容纳部，每个所述容纳部对应放置一个所述超声射频混匀单元；
8.所述超声射频混匀单元上放置有所述研磨桶，所述超声射频混匀单元通过超声将所述研磨桶内的液体混匀；
9.所述机械手臂位于所述旋转平台上方，所述机械手臂面向所述旋转平台的一面设有取盖装置和可伸缩吸液管，所述可伸缩吸液管的一端连接所述取盖装置，所述可伸缩吸液管的另一端伸展后可伸入所述研磨桶内将混匀后的液体取出。
10.可选的，还包括保护壳，所述旋转平台、所述机械手臂、所述超声射频混匀单元和所述驱动装置位于所述保护壳内。
11.可选的，所述旋转平台为一圆盘，所述圆盘的中心设有一贯通的安装孔，所述驱动装置上设有一旋转轴，所述旋转轴插入所述安装孔内。
12.可选的，所述研磨桶位于所述超声射频混匀单元的超声发射范围内。
13.可选的，所述取盖装置为一圆柱体，所述圆柱体面向所述旋转平台的一面设有一固定孔，所述固定孔与所述研磨桶的桶盖连接以使得所述取盖装置能够将所述桶盖从所述研磨桶分离。
14.可选的，所述机械手臂上还包括推杆，所述推杆设置在所述取盖装置上方，所述取盖装置面设置有贯通的连接孔，所述推杆的一端能够插入所述连接孔内将所述固定孔内的
所述桶盖推出。
15.可选的，所述固定孔的形状与所述桶盖相匹配。
16.可选的，所述可伸缩吸液管的一端连接所述取盖装置包括：所述可伸缩吸液管的一端与所述固定孔的底部固定连接，且所述可伸缩吸液管的直径＜所述固定孔的孔径。
17.可选的，所述可伸缩吸液管收缩后的长度＜所述固定孔的深度。
18.可选的，所述可伸缩吸液管的伸展长度与所述固定孔的深度之和≥所述研磨桶的高度。
19.与现有技术相比，本实用新型提供的一种研磨及供应装置具有以下有益效果：
20.本实用新型提供了一种研磨及供应装置，用于对研磨桶内的液体进行研磨和取液，包括：旋转平台、机械手臂、数个超声射频混匀单元和驱动装置；其中，所述驱动装置位于所述旋转平台下方，连接并带动所述旋转平台旋转；所述旋转平台上表面设有数个周向分布的容纳部，每个所述容纳部对应放置一个所述超声射频混匀单元；所述超声射频混匀单元上放置有所述研磨桶，所述超声射频混匀单元通过超声将所述研磨桶内的液体混匀；所述机械手臂位于所述旋转平台上方，所述机械手臂面向所述旋转平台的一面设有取盖装置和可伸缩吸液管，所述可伸缩吸液管的一端连接所述取盖装置，所述可伸缩吸液管的另一端伸展后可伸入所述研磨桶内将混匀后的液体取出。本实用新型提供的研磨及供应装置，所述超声射频混匀单元上能够放置所述研磨桶，所述超声射频混匀单元利用超声将所述研磨桶内的液体混匀，防止沉淀。同时，所述旋转平台旋转将所述研磨桶旋转至所述机械手臂下方，所述可伸缩吸液管处于收缩状态，随后，所述机械手臂下降至所述取盖装置与所述研磨桶的桶盖连接，所述取盖装置将所述研磨桶的桶盖去除，最后，所述可伸缩吸液管伸展进入所述研磨桶内并将液体吸出。由此，所述研磨及供应装置的整个混匀和取液过程自动化程度较高，简单方便，不依赖于人力且用途广泛。同时解决了因添加研磨液对工作人员健康的伤害，以及精力与耐力消耗的问题。
附图说明
21.图1为本实用新型一实施例提供的研磨及供应装置的结构图；
22.图2为本实用新型一实施例提供的研磨及供应装置的正视图；
23.图3为本实用新型一实施例提供的研磨及供应装置的局部图；
24.其中，100-机械手臂，101-电机，102-取盖装置，103-可伸缩吸液管，104-推杆，200-旋转平台，201-容纳部，300-驱动装置，301-旋转轴，400-保护壳，500-超声射频混匀单元。
具体实施方式
25.下面将结合示意图对本实用新型的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例的显示本实用新型的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本实用新型某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本实用新型的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确
定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
26.本实用新型的其中一个实施例提供了一种研磨及供应装置，用于对研磨桶内的液体进行研磨和取液，具体地，请参见附图1-附图3，图1-图3分别为本实用新型一实施例提供的研磨及供应装置的结构图、正视图和局部图，结合图1-图3可以明显看出，所述研磨及供应装置包括：旋转平台200、机械手臂100、数个超声射频混匀单元500和驱动装置300；其中，所述驱动装置300位于所述旋转平台200下方，连接并带动所述旋转平台200旋转；所述旋转平台200上表面设有数个周向分布的容纳部201，每个所述容纳部201对应放置一个所述超声射频混匀单元500；所述超声射频混匀单元500上放置有所述研磨桶，所述超声射频混匀单元500通过超声将所述研磨桶内的液体混匀；所述机械手臂100位于所述旋转平台200上方，所述机械手臂100面向所述旋转平台200的一面设有取盖装置102和可伸缩吸液管103，所述可伸缩吸液管103的一端连接所述取盖装置102，所述可伸缩吸液管103的另一端伸展后可伸入所述研磨桶内将混匀后的液体取出。
27.如此设置，本实用新型提供的研磨及供应装置，所述超声射频混匀单元500上能够放置所述研磨桶，所述超声射频混匀单元500利用超声将所述研磨桶内的液体混匀，防止沉淀。同时，所述旋转平台200旋转将所述研磨桶旋转至所述机械手臂100下方，所述可伸缩吸液管103处于收缩状态，随后，所述机械手臂100下降至所述取盖装置102与所述研磨桶的桶盖连接，所述取盖装置102将所述研磨桶的桶盖去除，最后，所述可伸缩吸液管103伸展进入所述研磨桶内并将液体吸出。由此，所述研磨及供应装置的整个混匀和取液过程自动化程度较高，简单方便，不依赖于人力且用途广泛。同时解决了因添加研磨液对工作人员健康的伤害，以及精力与耐力消耗的问题。在其中一种优选实施方式中，所述旋转平台200上一共设置有四个均匀分布的所述容纳部201，可同时放置四桶所述研磨桶。
28.优选的，所述研磨及供应装置还包括保护壳400，所述旋转平台200、所述机械手臂100、所述超声射频混匀单元500和所述驱动装置300位于所述保护壳400内。由此，所述保护壳400可以避免所述旋转平台200、所述机械手臂100等长时间暴露在空气中锈化或受到其他损害，从而增加了所述研磨及供应装置的使用寿命。
29.优选的，所述旋转平台200为一圆盘，所述圆盘的中心设有一贯通的安装孔，所述驱动装置300通过所述安装孔和所述旋转平台200连接。所述驱动装置300上设有一旋转轴301，所述旋转轴301插入所述安装孔内。由此，通过将所述旋转轴301插入所述安装孔内，使得所述驱动装置300能够与所述旋转平台200连接并带动所述旋转平台200旋转。需要进一步说明的是，所述驱动装置300还包括：驱动电机、减速箱和联轴耦合器。通过所述驱动电机、所述减速箱和所述联轴耦合器能够控制所述旋转平台200的启动、停止以及旋转速度。
30.优选的，所述研磨桶位于所述超声射频混匀单元500的超声发射范围内。如此设置，保障了所述超声射频混匀单元500能够将所述研磨桶内的所有液体混匀。
31.在其中一种优选实施方式中，所述取盖装置102为一圆柱体，所述圆柱体面向所述旋转平台200的一面设有一固定孔(图中未标识)，所述固定孔与所述研磨桶的桶盖连接以使得所述取盖装置102能够将所述桶盖从所述研磨桶分离。如此设置，所述取盖装置102在
进行取盖时通过将所述固定孔与所述桶盖连接，从而将所述桶盖取出。
32.优选的，所述机械手臂100上还包括推杆104，所述推杆104设置在所述取盖装置102上方，所述取盖装置102面设置有贯通的连接孔(图中未标识)，所述推杆104的一端能够插入所述连接孔内将所述固定孔内的所述桶盖推出。如此设置，当所述取盖装置102将所述研磨桶的桶盖取下后，此时所述桶盖与所述取盖装置102连接在一起，所述推杆104通过插入所述连接孔将位于所述取盖装置102内的所述桶盖推出，以保证所述可伸缩吸液管103在对所述研磨桶内的液体进行取液操作时能够正常伸展，同时确保了所述取盖装置102能够顺利对下一个所述研磨桶进行取盖操作。
33.优选的，所述固定孔的形状与所述桶盖相匹配。由此，保障了所述固定孔与所述桶盖间能稳定连接不产生滑动。从而保障所述取盖装置102能够顺利将所述研磨桶的桶盖取出。需要进一步说明的是，所述机械手臂100上还包括电机101，所述电机101设置在所述取盖装置102上方，所述电机101为所述机械手臂100上各部件提供能量。
34.优选的，所述可伸缩吸液管103的一端连接所述取盖装置102包括：所述可伸缩吸液管103的一端与所述固定孔的底部固定连接，且所述可伸缩吸液管103的直径＜所述固定孔的孔径。由此，所述可伸缩吸液管103能够和所述取盖装置102稳定连接，同时所述可伸缩吸液管103的直径设计避免了所述可伸缩吸液管103堵塞整个固定孔，导致后续所述固定孔无法与所述桶盖连接进行取盖操作。
35.优选的，所述可伸缩吸液管103收缩后的长度与所述固定孔的深度之和＜所述固定孔的深度。如此设置，所述取盖装置102在进行取盖工作时，所述可伸缩吸液管103收缩后的存在不会影响所述取盖装置102通过所述固定孔和所述桶盖连接，从而确保了取盖装置102能够将所述桶盖取出。
36.优选的，所述可伸缩吸液管103的伸展长度≥所述研磨桶的高度。由此，当所述可伸缩吸液管103进行取液操作时，所述可伸缩吸液管103可以伸入所述研磨桶的底部，将所述研磨桶内的液体全部吸出，避免了由于可伸缩吸液管103过短导致所述研磨桶底部的液体无法被吸出。
37.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
38.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。
39.综上，本实用新型提供的研磨及供应装置，所述超声射频混匀单元500上能够放置所述研磨桶，所述超声射频混匀单元500利用超声将所述研磨桶内的液体混匀，防止沉淀。同时，所述旋转平台200旋转将所述研磨桶旋转至所述机械手臂100下方，所述可伸缩吸液管103处于收缩状态，随后，所述机械手臂100下降至所述取盖装置102与所述研磨桶的桶盖连接，所述取盖装置102将所述研磨桶的桶盖去除，最后，所述可伸缩吸液管103伸展进入所
述研磨桶内并将液体吸出。由此，所述研磨及供应装置的整个混匀和取液过程自动化程度较高，简单方便，不依赖于人力且用途广泛。同时解决了因添加研磨液对工作人员健康的伤害，以及精力与耐力消耗的问题。
40.上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。