用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统的制作方法

用于cvd设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统
技术领域
1.本实用新型涉及太阳能光伏领域，尤其涉及一种用于cvd设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统。


背景技术：

2.在太阳能光伏领域当中，薄膜沉积是至关重要的工艺环节之一，其是一连串涉及原子的吸附、吸附原子在表面扩散及在适当的位置下聚结，以渐渐形成薄膜并成长的过程。薄膜沉积主要通过cvd(化学气相沉积设备)设备实现，薄膜沉积过程中，极板间的放电是影响薄膜成效的的重要工艺环节之一，极板间距是靠加热器的升降来调节的，现有升降方式主要的技术难点是升降位置的真空密封。其次是大面积重载荷的平板式加热器在升降过程中的平行平稳性。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种承托面板为多点支撑、受力均匀，确保平板式加热器在升降过程中的平行度和平稳性，解决了大面积重载荷平板式加热器在真空环境下的平行、平稳升降问题以及解决了平板式加热器的升降位置的真空密封问题，避免了特气泄漏，提高了设备的安全性的用于cvd设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统。
4.为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：
5.一种用于cvd设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，包括平板式加热器、机架、腔体、承托面板、多个密封支撑机构和用于驱动多个密封支撑机构升降的升降机构，所述腔体设于机架的顶部，所述升降机构设于机架上并位于腔体的下方，所述密封支撑机构包括升降立柱和压缩波纹管，各升降立柱下端均与升降机构的驱动端连接，所述升降立柱上端伸入腔体内，所述承托面板设于升降立柱的上端，所述平板式加热器设于腔体内并位于承托面板上，所述压缩波纹管套在升降立柱外，所述压缩波纹管的上端与腔体连接、下端与升降立柱或升降机构的驱动端连接。
6.作为上述技术方案的进一步改进，所述压缩波纹管的上端设有上连接法兰、下端设有下连接法兰，所述上连接法兰与腔体连接，所述升降立柱的下端与下连接法兰连接。
7.作为上述技术方案的进一步改进，所述升降机构的驱动端设有升降连接法兰，所述下连接法兰与升降连接法兰连接。
8.作为上述技术方案的进一步改进，所述升降机构包括驱动电机和四个丝杠升降机，所述驱动电机通过换向器和传动轴分别与四个丝杠升降机连接，所述密封支撑机构的数量与丝杠升降机的数量对应。
9.作为上述技术方案的进一步改进，所述升降机构包括驱动电机和两个丝杠升降机，所述驱动电机通过换向器和传动轴分别与两个丝杠升降机连接，所述密封支撑机构的数量与丝杠升降机的数量对应。
10.作为上述技术方案的进一步改进，所述升降机构包括两个驱动电机和四个丝杠升降机，每个驱动电机通过换向器和传动轴分别与两个丝杠升降机连接，所述密封支撑机构的数量与丝杠升降机的数量对应。
11.作为上述技术方案的进一步改进，所述平板式加热器升降系统还包括导向机构，所述导向机构包括上导向座、下导向座和导向轴，所述上导向座设于机架的顶部，下导向座设于机架的底部，所述导向轴的上端、下端分别与上导向座、下导向座连接，所述导向轴上套有直线轴承，所述直线轴承通过连接板与升降立柱连接。
12.作为上述技术方案的进一步改进，所述平板式加热器升降系统还包括定位机构，所述定位机构包括感应片和与感应片配对的位置感应开关，所述感应片安装在升降立柱上，所述位置感应开关设于机架上。
13.作为上述技术方案的进一步改进，所述机架包括顶板、底板和连接顶板与底板的侧板，所述底板的下端设有加强纵筋和加强横筋，所述腔体设于顶板上，所述升降机构设于底板上。
14.作为上述技术方案的进一步改进，所述承托面板与升降立柱之间设有陶瓷垫块。
15.与现有技术相比，本实用新型的优点在于：
16.(1)本实用新型的用于cvd设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，采用了多个密封支撑机构，承托面板为多点支撑，使承托面板受力均匀，从而平板式加热器的升降为多点支撑，确保其在升降过程中的平行度和平稳性，解决cvd设备大面积，重载荷平板式加热器在真空环境下的平行、平稳升降问题；同时，通过密封支撑机构实现升降机构与平板式加热器的密封连接，采用压缩波纹管实现升降立柱与腔体的密封，压缩波纹管内部处于真空环境，外部处于大气环境，波纹管寿命达到百万次，拥有优秀的真空密封隔离效果，解决了平板式加热器的升降位置的真空密封问题，避免了特气泄漏，提高了设备的安全性。
17.(2)本实用新型的用于cvd设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，采用单电机控制四联动升降机同升同降驱动的方式，使承托面板受力均匀，确保其在升降过程中的平行度和平稳性，同时只需要一个驱动电机，大大降低了成本。此外，采用伺服电机与滚珠丝杆升降机的驱动方式，提高了设备的运动精度。
18.(3)本实用新型的用于cvd设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，设置感应片和与感应片配对的位置感应开关，进而判断升降是否到达设定位置，从而将平板式加热器控制在设定的位置上，提高了设备的定位精准度，确保升降系统每次升降前后都能自动初始化复位，调整间距，消除误差。
附图说明
19.图1是本实用新型实施例1的平板式加热器升降系统的结构示意图。
20.图2是本实用新型实施例1的升降机构的结构示意图。
21.图3是本实用新型实施例2的升降机构的结构示意图。
22.图4是本实用新型实施例3的升降机构的结构示意图。
23.图中各标号表示：
24.1、平板式加热器；2、机架；21、顶板；22、底板；23、侧板；24、加强纵筋；25、加强横筋；3、腔体；4、承托面板；41、陶瓷垫块；5、密封支撑机构；51、升降立柱；52、压缩波纹管；53、
上连接法兰；54、下连接法兰；6、升降机构；601、升降连接法兰；61、驱动电机；62、丝杠升降机；63、换向器；64、传动轴；65、垫板；66、减速机；7、导向机构；71、上导向座；72、下导向座；73、导向轴；74、直线轴承；75、连接板；8、定位机构；81、感应片；82、位置感应开关；83、支杆；84、安装面板。
具体实施方式
25.以下结合说明书附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。
26.实施例1
27.如图1和图2所示，本实施例的用于cvd设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，包括平板式加热器1、机架2、腔体3、承托面板4、多个密封支撑机构5和用于驱动多个密封支撑机构5升降的升降机构6。腔体3设于机架2的顶部，升降机构6设于机架2上并位于腔体3的下方，密封支撑机构5包括升降立柱51和压缩波纹管52，各升降立柱51下端均与升降机构6的驱动端连接，升降立柱51上端伸入腔体3内，承托面板4设于升降立柱51的上端，平板式加热器1设于腔体3内并位于承托面板4上，压缩波纹管52套在升降立柱51外，压缩波纹管52的上端与腔体3连接、下端与升降机6的驱动端连接。
28.腔体3内进行薄膜沉积反应，为真空状态，在平板式加热器1的上方设有电极板(图中未示出)，通过控制平板式加热器1的高度来控制极板间距，从而调节到合适的放电位置，获得最优的薄膜沉积效果。升降机构6用来驱动各升降立柱51升降，进而带着平板式加热器1升降，升降过程中压缩波纹管52随着升降立柱51的升降进行上下压缩与拉伸。密封支撑机构5实现升降机构6与平板式加热器1的密封连接，采用压缩波纹管52实现升降立柱51与腔体3的密封，压缩波纹管52内部处于真空环境，外部处于大气环境，波纹管寿命达到百万次，拥有优秀的真空密封隔离效果，解决了平板式加热器1的升降位置的真空密封问题，避免了特气泄漏，提高了设备的安全性。同时，由于采用了多个密封支撑机构5，承托面板4为多点支撑，使承托面板4受力均匀，从而平板式加热器1的升降为多点支撑，确保其在升降过程中的平行度和平稳性，解决cvd设备大面积，重载荷平板式加热器在真空环境下的平行、平稳升降问题。
29.本实施例中，压缩波纹管52的上端设有上连接法兰53、下端设有下连接法兰54，通过上连接法兰53与腔体3固定连接。升降立柱51下端通过螺纹与下连接法兰54连接。升降机构6的驱动端设有升降连接法兰601，下连接法兰54与升降连接法兰601连接，通过上连接法兰53与下连接法兰54实现压缩波纹管52的安装，从而实现升降立柱51、压缩波纹管52以及升降机构6的驱动端三者的连接。需要说明的是，除了本实施例外，将升降立柱51与下连接法兰54做成一体结构，这样压缩波纹管52的下端直接与升降立柱51连接。
30.本实施例中，升降机构6包括驱动电机61和四个丝杠升降机62，驱动电机61通过换向器63和传动轴64分别与四个丝杠升降机62连接，具体连接结构参见图2所示，换向器63通过垫板65安装在机架2上。驱动电机61优选为伺服电机，驱动电机61带有减速机66，丝杠升降机62优选为滚珠丝杠升降机。密封支撑机构5的数量与丝杠升降机62的数量对应，也设置四个，即平板式加热器1通过四点进行支撑与升降。由于平板式加热器1的特点为大面积重载荷，采用单电机控制四联动升降机同升同降驱动的方式，使承托面板4受力均匀，确保其在升降过程中的平行度和平稳性，同时只需要一个驱动电机，大大降低了成本。此外，采用
伺服电机与滚珠丝杆升降机的驱动方式，提高了设备的运动精度。
31.本实施例中，机架2包括顶板21、底板22和连接顶板21与底板22的侧板23，底板22的下端设有加强纵筋24和加强横筋25，腔体3设于顶板21上，升降机构6设于底板22上。承托面板4与升降立柱51之间设有陶瓷垫块41，通过陶瓷垫块41降低承托面板4与升降立柱51之间的热传导。
32.本实施例中，还包括导向机构7，导向机构7包括上导向座71、下导向座72和导向轴73，上导向座71设于机架2的顶板21，下导向座72设于机架2的底板22，导向轴73的上端、下端分别与上导向座71、下导向座72连接，导向轴73上套有直线轴承74，直线轴承74通过连接板75与压缩波纹管52的下连接法兰54连接，升降立柱51在升降过程中通过导向轴73和直线轴承74进行导向，进一步提高升降过程中的平稳性。
33.本实施例中，还包括定位机构8，定位机构8包括感应片81和与感应片81配对的位置感应开关82，感应片81通过支杆83安装在连接板75上，位置感应开关82通过安装面板84设于机架2的侧板23上。本实施例中，位置感应开关82设置3个，代表三个设定位置，升降立柱51和连接板75在升降过程中，带着感应片81升降，从而感应片81感应到达不同的位置感应开关82，进而判断升降是否到达设定位置，从而将平板式加热器1控制在设定的位置上，提高了设备的定位精准度。该机构在每次升降之后都能快速自动复位找零调平，使大面积的平板式加热器1每次都能达到最佳的初始状态，提高了设备的控制精度和工作效率。
34.实施例2
35.如图3所示，本实施例的用于cvd设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，与实施例1的区别仅在于：
36.本实施例中，采用单电机控制一对升降机同升同降，具体为升降机构6包括驱动电机61和两个丝杠升降机62，驱动电机61通过换向器63和传动轴64分别与两个丝杠升降机62连接，密封支撑机构5的数量与丝杠升降机62的数量对应。
37.其余未述之处与实施例1基本一致，此处不再赘述。
38.实施例3
39.如图4所示，本实施例的用于cvd设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，与实施例1的区别仅在于：
40.本实施例中，采用双电机控制两对升降机同升同降，具体为升降机构6包括两个驱动电机61和四个丝杠升降机62，每个驱动电机61通过换向器63和传动轴64分别与两个丝杠升降机62连接，密封支撑机构5的数量与丝杠升降机62的数量对应。
41.其余未述之处与实施例1基本一致，此处不再赘述。
42.虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本实用新型技术方案保护的范围内。