一种提高均一性的镀膜设备的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种提高均一性的镀膜设备。


背景技术：

2.镀膜是在表面镀上非常薄的透明薄膜，目的是希望减少光的反射，增加透光率，抗紫外线并抑低耀光、鬼影，镀膜也可以延迟镜片老化、变色的时间，经常运用于相机镜头、近视、远视、老花镜等矫正眼镜上使用，镀膜领域中经常使用真空蒸发镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。
3.对于真空蒸发设备，通常在真空腔室内顶部设置一个镀膜伞架，通过对伞架的旋转对基片进行镀膜，但由于镀膜伞架的角度原因，部分基片的镀膜仍会厚度不一，这不利于镀膜的均一性，因此提出一种提高均一性的镀膜设备。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在由于镀膜伞架的角度原因，部分基片的镀膜仍会厚度不一，这不利于镀膜的均一性的缺点，而提出的一种提高均一性的镀膜设备。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种提高均一性的镀膜设备，包括真空室，所述真空室的顶部内壁固定连接有安装座，安装座的底部固定连接有两个电动推杆和一个电机，两个所述电动推杆输出轴的一端固定连接有同一个推板，推板的底部开设有圆形槽，所述电机输出轴的一端固定连接有转动轴，且转动轴穿过推板，所述转动轴的的圆周外壁固定有安装筒，且安装筒活动连接在圆形槽内，所述安装筒的圆周外壁固定连接有多个第一连接座，第一连接座内均活动连接有连接杆，连接杆的另一端均活动连接有第二连接座，第二连接座的底部均固定连接有弧面板，弧面板的圆周内壁均设有多个基片卡座，所述转动轴的底部固定连接有安装轴，安装轴的圆周外壁开设有多个安装槽，多个所述弧面板的一侧分别活动连接在多个安装槽内，所述安装筒和安装轴之间设有弹簧。
7.优选的，所述安装轴的圆周外壁固定连接有多个限位架，限位架的上表面均固定连接有限位板。
8.优选的，多个所述限位架的底部均固定连接有限位块。
9.优选的，所述安装轴的上表面固定连接有限位管，且弹簧位于限位管内，所述限位管的上表面固定连接有橡胶圈。
10.优选的，所述安装筒的圆周外壁固定连接有固定座，固定座的顶部开设有多个卡槽，且第一连接座均位于卡槽内。
11.优选的，所述弧面板的转动角度为0
°
～45
°
。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1.通过连接杆、弧面板、电机和电动推杆的配合，电机不仅可以带动弧面板旋转，
而且可以通过连接杆拉动弧面板改变其倾斜角度，可以根据基片的材料和镀膜要求对弧面板的角度进行调节，以实现对基片镀膜均匀，提高了镀膜的均一性。
14.2.通过限位架、限位板的设置，可以对弧面板左右两侧进行一定的限位，避免弧面板在长时间转动后结构发生弯曲，在复位时与其余结构发生摩擦，提高了设备整体的稳定性。
15.3.通过限位管和橡胶圈的设置，当弧面板转动角度达到最大时可以对安装筒进行一定的限位，避免弧面板转动角度过大不利于对基片进行镀膜，同时避免出现转动角度过大造成结构磨损的情况。
16.本实用新型中，可以对基片镀膜进行角度调节，提高了镀膜的均一性，可以避免设备长时间转动结构发生弯曲，提高了设备的稳定性，还可以对弧面板的转动角度进行限位，避免出现磨损情况。
附图说明
17.图1为本实用新型提出的一种提高均一性的镀膜设备的安装结构示意图；
18.图2为本实用新型提出的一种提高均一性的镀膜设备的三维结构示意图；
19.图3为本实用新型提出的一种提高均一性的镀膜设备的剖视结构示意图。
20.图4为本实用新型提出的一种提高均一性的镀膜设备的a区域放大结构示意图。
21.图中：1、真空室；2、安装座；3、电机；4、电动推杆；5、转动轴；6、推板；7、安装筒；8、第一连接座；9、连接杆；10、第二连接座；11、弧面板；12、固定座；13、限位管；14、安装轴；15、限位架；16、限位板；17、限位块；18、弹簧；19、基片卡座；20、卡槽。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
23.实施例一
24.参照图1-图4，一种提高均一性的镀膜设备，包括真空室1，真空室1的顶部内壁通过螺栓固定有安装座2，安装座2的底部通过螺栓固定有两个电动推杆4和一个电机3，两个电动推杆4输出轴的一端通过螺栓固定有同一个推板6，推板6的底部开设有圆形槽，电机3输出轴的一端通过螺栓固定有转动轴5，且转动轴5穿过推板6，转动轴5的的圆周外壁固定有安装筒7，且安装筒7转动连接在圆形槽内，安装筒7的圆周外壁通过螺栓固定有多个第一连接座8，第一连接座8内均转动连接有连接杆9，连接杆9的另一端均转动连接有第二连接座10，第二连接座10的底部均通过螺栓固定有弧面板11，弧面板11的圆周内壁均设有多个基片卡座19，转动轴5的底部通过螺栓固定有安装轴14，安装轴14的圆周外壁开设有多个安装槽，多个弧面板11的一侧分别转动连接在多个安装槽内，安装筒7和安装轴14之间设有弹簧18。
25.实施例二
26.参照图1-图4，本实用新型提供一种新的技术方案：一种提高均一性的镀膜设备，包括真空室1，真空室1的顶部内壁通过螺栓固定有安装座2，安装座2的底部通过螺栓固定
有两个电动推杆4和一个电机3，电机3可以带动镀膜设备旋转，为基片镀膜均匀提供保证，两个电动推杆4输出轴的一端通过螺栓固定有同一个推板6，推板6的底部开设有圆形槽，电机3输出轴的一端通过螺栓固定有转动轴5，且转动轴5穿过推板6，转动轴5的的圆周外壁固定有安装筒7，且安装筒7转动连接在圆形槽内，安装筒7的圆周外壁通过螺栓固定有多个第一连接座8，安装筒7的圆周外壁通过螺栓固定有固定座12，固定座12的顶部开设有多个卡槽20，且第一连接座8均位于卡槽20内，固定座12可以对多个第一连接座8同时进行限位和保护，避免其长时间转动结构产生弯曲，第一连接座8内均转动连接有连接杆9，连接杆9的另一端均转动连接有第二连接座10，第二连接座10的底部均通过螺栓固定有弧面板11，弧面板11的转动角度为0
°
～45
°
，弧面板11的圆周内壁均设有多个基片卡座19，转动轴5的底部通过螺栓固定有安装轴14，安装轴14的圆周外壁通过螺栓固定有多个限位架15，限位架15的上表面均通过螺栓固定有限位板16，限位架15和限位板16可以对弧面板11左右两侧进行一定的限位，避免弧面板11在长时间转动后结构发生弯曲，在复位时与其余结构发生摩擦，多个限位架15的底部均通过螺栓固定有限位块17，限位块17可以对弧面板11的底部进行限位，避免弧面板11在转动时，其两侧和限位架15产生摩擦，安装轴14的上表面通过螺栓固定有限位管13，且弹簧18位于限位管13内，限位管13的上表面粘接有橡胶圈，当弧面板11转动角度达到最大时，限位管13和橡胶圈可以对安装筒7进行一定的限位，避免弧面板11转动角度过大不利于对基片进行镀膜，安装轴14的圆周外壁开设有多个安装槽，多个弧面板11的一侧分别转动连接在多个安装槽内，安装筒7和安装轴14之间设有弹簧18，当需要调节弧面板11的转动角度时，可以打开电动推杆4，电动推杆4输出轴收缩带动推板6移动，同时弹簧18推动安装筒7移动，安装筒7带动第一连接座8移动，第一连接座8带动连接杆9转动，连接杆9带动第二连接座10移动，第二连接座10带动弧面板11在安装轴14上进行转动，从而调节弧面板11的角度。
27.工作原理：当需要对基片进行镀膜时，首先将基片放置在基片卡座19内，然后关闭真空室1，然后将需要使用的靶材放于镀膜设备下方并用蒸发设备进行蒸发，同时打开电机3，电机3输出轴带动转动轴5转动，转动轴5带动安装筒7转动，安装筒7带动第一连接座8转动，第一连接座8带动连接杆9转动，连接杆9带动第二连接座10转动，同时转动轴5带动安装轴14转动，安装轴14和第二连接座10同时带动弧面板11转动，弧面板11带动基片卡座19转动进而带动基片转动，靶材经过蒸发后对上方的基片进行镀膜，当需要改变弧面板11的角度时，打开电动推杆4，电动推杆4输出轴收缩带动推板6移动，同时弹簧18推动安装筒7移动，安装筒7带动第一连接座8移动，第一连接座8带动连接杆9转动，连接杆9带动第二连接座10移动，第二连接座10带动弧面板11在安装轴14上进行转动，当转动角度合适时关闭电动推杆4即可。
28.然而，如本领域技术人员所熟知的，电机3和电动推杆4的工作原理和接线方法是司空见惯的，其均属于常规手段或者公知常识，在此就不再赘述，本领域技术人员可以根据其需要或者便利进行任意的选配。
29.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。