一种可调节的纳米真空镀膜结构的制作方法

文档序号:30587609发布日期:2022-07-01 18:21阅读:148来源:国知局
一种可调节的纳米真空镀膜结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其涉及一种可调节的纳米真空镀膜结构。


背景技术:

2.真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法,在纳米真空镀膜时,需要用到限位结构预先对需要镀膜的镀件进行限位,防止镀件在镀膜时掉落。
3.然而传统纳米真空镀膜设备的调节效果差,无法根据不同镀件的不同厚度来调节限位结构的限位高度,导致无法对不同厚度的镀件进行快速限位,易使镀件在局部镀膜时发生位移,从而影响局部镀膜效果,使用者需要更换另一规格的设备才能完成正常的镀膜工作,极大的提高了成本,所以我们提出了一种可调节的纳米真空镀膜结构,用于解决上述所提出的问题。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决传统纳米真空镀膜结构调节效果差的缺点,而提出的一种可调节的纳米真空镀膜结构。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
6.一种可调节的纳米真空镀膜结构,包括放置框,所述放置框底部的两侧均固定连接有支腿,所述支腿相互靠近的一侧沿前后方向固定连接有多组连接柱,所述放置框的顶部固定连接有真空箱,所述真空箱的右侧连通有连接管道,所述连接管道上设置有阀门,所述真空箱内腔底部的两侧均通过连接板固定连接有支撑板,所述支撑板顶部的正面通过固定块固定连接有加热丝,所述支撑板的底部设置有与加热丝配合使用的靶材,所述真空箱内腔的两侧均固定连接有放置座,所述真空箱内设置有与放置座配合使用的调节机构。
7.优选地,所述调节机构包括两组安装座,两组所述安装座分别固定连接在真空箱内腔的两侧,所述安装座内转动连接有固定框,所述固定框底部内侧的正面和背面均固定连接有弧形齿板,所述弧形齿板远离固定框的一侧固定连接有按压座,所述真空箱内腔背面的两侧均通过密封轴承转动连接有连接轴,所述弧形齿板的外侧啮合有齿轮且齿轮的内圈固定连接在连接轴上,所述真空箱的背面固定连接有支撑座,所述支撑座顶部的两侧均固定连接有电机,所述连接轴的背面贯穿真空箱并与电机的输出端固定连接。
8.优选地,所述连接轴上沿前后方向转动连接有多组转动轴承,且转动轴承位于齿轮相互靠近的一侧,所述真空箱顶部的两侧沿前后方向固定连接有多组支撑柱,所述支撑柱的一端贯穿固定框并固定连接在转动轴承上。
9.优选地,所述固定框的正面和背面均固定连接有连接架,所述连接架远离固定框的一侧固定连接在弧形齿板上。
10.优选地,所述放置座顶部的内侧开设有防滑纹。
11.优选地,所述按压座呈圆柱形结构。
12.优选地,所述支撑座的两侧均开设有第一通风槽,所述支撑座的正面开设有固定槽,且固定槽的两侧均开设有第二通风槽。
13.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
14.1、本实用新型中,通过设置调节机构,利用两组电机同时提供驱动源,并使两组电机同时反向转动,从而可带动两根连接轴反转,进而可使两组连接轴上对应的齿轮进行反转,同时齿轮可带动弧形齿板进行啮合移动,由于固定框是在安装座内转动的,可对弧形齿板进行拉扯限位,辅助弧形齿板平稳向下摆动,同时可带动按压座同步向下摆动,并根据不同厚度的镀件来自由调节按压座与放置座之间的距离,以便可对不同厚度的镀件进行快速限位,提高了镀件在镀膜时的稳定性,提高了纳米真空镀膜结构的调节效果;
15.2、本实用新型中,通过设置支撑柱和转动轴承,可对连接轴进行限位,提高了连接轴的稳定性,避免连接轴在旋转时过度晃动,易与弧形齿板脱离,影响调节机构的正常运行,同时转动轴承可辅助连接轴无阻碍转动。
16.本实用新型在调节机构的辅助下,可根据不同厚度的镀件来自由调节按压座与放置座之间的距离,以便可对不同厚度的镀件进行快速限位,提高了镀件在镀膜时的稳定性,同时提高了纳米真空镀膜结构的调节效果。
附图说明
17.图1为本实用新型提出的一种可调节的纳米真空镀膜结构的结构示意图;
18.图2为本实用新型提出的真空箱的结构剖视图;
19.图3为本实用新型提出的真空箱的结构后视图;
20.图4为本实用新型提出的调节机构的结构局部立体图。
21.图中:1、放置框;2、支腿;3、真空箱;4、连接管道;5、支撑板;6、加热丝;7、靶材;8、放置座;9、支撑座;10、调节机构;101、安装座;102、固定框;103、弧形齿板;104、按压座;105、连接轴;106、齿轮;107、电机;11、连接架;12、支撑柱。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
23.实施例一
24.参照图1-4,一种可调节的纳米真空镀膜结构,包括放置框1,放置框1底部的两侧均固定连接有支腿2,支腿2相互靠近的一侧沿前后方向固定连接有多组连接柱,放置框1的顶部固定连接有真空箱3,真空箱3的右侧连通有连接管道4,连接管道4上设置有阀门,真空箱3内腔底部的两侧均通过连接板固定连接有支撑板5,支撑板5顶部的正面通过固定块固定连接有加热丝6,支撑板5的底部设置有与加热丝6配合使用的靶材7,真空箱3内腔的两侧均固定连接有放置座8,真空箱3内设置有与放置座8配合使用的调节机构10,调节机构10的设计,可根据不同厚度的镀件来自由调节按压座104与放置座8之间的距离,以便可对不同厚度的镀件进行快速限位,提高了镀件在镀膜时的稳定性,提高了纳米真空镀膜结构的调节效果。
25.实施例二
26.参照图1-4,本实用新型提供一种新的技术方案:一种可调节的纳米真空镀膜结构,包括放置框1,放置框1底部的两侧均固定连接有支腿2,支腿2相互靠近的一侧沿前后方向固定连接有多组连接柱,放置框1的顶部固定连接有真空箱3,真空箱3的右侧连通有连接管道4,连接管道4上设置有阀门,真空箱3内腔底部的两侧均通过连接板固定连接有支撑板5,支撑板5顶部的正面通过固定块固定连接有加热丝6,支撑板5的底部设置有与加热丝6配合使用的靶材7,真空箱3内腔的两侧均固定连接有放置座8,放置座8顶部的内侧开设有防滑纹,提高了镀件的稳定性,真空箱3内设置有与放置座8配合使用的调节机构10,调节机构10包括两组安装座101,两组安装座101分别固定连接在真空箱3内腔的两侧,安装座101内转动连接有固定框102,固定框102底部内侧的正面和背面均固定连接有弧形齿板103,弧形齿板103远离固定框102的一侧固定连接有按压座104,按压座104呈圆柱形结构,可使按压座104与镀件的接触面积一致,提高了按压效果,真空箱3内腔背面的两侧均通过密封轴承转动连接有连接轴105,弧形齿板103的外侧啮合有齿轮106且齿轮106的内圈固定连接在连接轴105上,连接轴105上沿前后方向转动连接有多组转动轴承,且转动轴承位于齿轮106相互靠近的一侧,真空箱3顶部的两侧沿前后方向固定连接有多组支撑柱12,支撑柱12的一端贯穿固定框102并固定连接在转动轴承上,支撑柱12和转动轴承的设计,提高了连接轴105的稳定性,避免连接轴105在旋转时过度晃动,易与弧形齿板103脱离,影响调节机构10的正常运行,同时转动轴承可辅助连接轴105无阻碍转动,真空箱3的背面固定连接有支撑座9,支撑座9顶部的两侧均固定连接有电机107,支撑座9的两侧均开设有第一通风槽,支撑座9的正面开设有固定槽,且固定槽的两侧均开设有第二通风槽,第一通风槽和第二通风槽的设计,便于对电机107进行散热,连接轴105的背面贯穿真空箱3并与电机107的输出端固定连接,调节机构10的设计,可根据不同厚度的镀件来自由调节按压座104与放置座8之间的距离,以便可对不同厚度的镀件进行快速限位,提高了镀件在镀膜时的稳定性,提高了纳米真空镀膜结构的调节效果,固定框102的正面和背面均固定连接有连接架11,连接架11远离固定框102的一侧固定连接在弧形齿板103上,连接架11的设计,提高了固定框102和弧形齿板103之间的稳定性,避免弧形齿板103在摆动时会出现位置偏移,影响与齿轮106的正常啮合。
27.工作原理:使用时,使用者预先利用外接管道与连接管道4对接,并利用外接真空泵将真空箱3内抽成真空状态,同时使用者将需要镀膜的镀件预先放置在放置座8上,随后使用者开启两组电机107,并使两组电机107同时反向转动,从而可带动两根连接轴105反转,进而可使两组连接轴105上对应的齿轮106进行反转,同时齿轮106可带动弧形齿板103进行啮合移动,由于固定框102是在安装座101内转动的,可对弧形齿板103进行拉扯限位,辅助弧形齿板103平稳向下摆动,同时可带动按压座104同步向下摆动,并根据不同厚度的镀件来自由调节按压座104与放置座8之间的距离,方便对不同厚度的镀件进行快速限位,提高了镀件在镀膜时的稳定性,提高了纳米真空镀膜结构的调节效果,随后使用者开启加热丝6,开始纳米真空镀膜工作。
28.然而,如本领域技术人员所熟知的,电机107和加热丝6的工作原理和接线方法是司空见惯的,其均属于常规手段或者公知常识,在此就不再赘述,本领域技术人员可以根据其需要或者便利进行任意的选配。
29.以上,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
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