不受损害，并又使得各可移除插入物尽可能地靠近靶。
[0060]在又一些实施例中，轭被附连至模板的第二侧。例如，图3示出附连至模板的第二侧的轭。在一些实施例中,轭可作用以为由多个磁性插入物和多个非磁性插入物产生的磁场提供返回路径。例如，轭为磁场提供返回路径，该磁场是通过模板上的单元内的各可移除插入物定制或构形的。
[0061]图7示出根据本发明一些实施例制备可编程磁体组的另一示例性过程的流程图700。在方框702，将多个磁性插入物设置在模板内。在一些实施例中，模板可包括多个单元、可移除地与模板的第一侧连接的盖以及可移除地与模板的第二侧连接的轭。在又一些实施例中，多个磁性插入物被设置在模板上的多个单元内。例如，图4B示出被设置在模板上的单元内的完全长度磁性插入物和部分长度磁性插入物，该模板具有与其第一侧连接的盖和与其第二侧连接的轭。
[0062]在又一些实施例中，磁性插入物包括完全长度的磁性插入物，其包括钕、钐钴、陶瓷、阿尔尼科合金、不锈钢或钢。此外，磁性插入物可包括部分长度的磁性插入物，其包括钕、钐钴、陶瓷、阿尔尼科合金、不锈钢或钢。例如，完全长度的磁性插入物和部分长度的磁性插入物可包括钕、钐钴、陶瓷、阿尔尼科合金、不锈钢或钢。
[0063]在方框704中，将多个非磁性插入物设置在模板内。例如，图4B示出设置在模板上的单元内的完全长度的非磁性插入物和部分长度的非磁性插入物。
[0064]在一些实施例中，非磁性插入物包括完全长度的非磁性插入物，其包括铝、尼龙或不锈钢。此外，非磁性插入物可包括部分长度的非磁性插入物，其包括铝、尼龙或不锈钢。例如，完全长度的非磁性插入物和部分长度的非磁性插入物可包括铝、尼龙或不锈钢。
[0065]在又一些实施例中，多个磁性插入物和多个非磁性插入物以可变方式层叠在单元中，其中多个磁性插入物和多个非磁性插入物作用以在靶之上并围住多个单元地定制或构形磁场。例如，在图4B中，完全长度的磁性插入物、部分长度的磁性插入物、完全长度的非磁性插入物以及部分长度的非磁性插入物以可变方式层叠在模板上的单元内。
[0066]在又一例子中，在图4B中，单元可被层叠以X数量的完全长度的磁性插入物或部分长度的磁性插入物。每个完全长度的磁性插入物或部分长度的磁性插入物可具有面向盖的其北极或南极424。在另一实施例中，单元可层叠以X数量的完全长度的非磁性插入物或部分长度的非磁性插入物。在另一实施例中，单元最靠近轭的部分可层叠以Y数量的完全长度的非磁性插入物或部分长度的非磁性插入物，而在单元的其余部分中可层叠以完全长度的磁性插入物或部分长度的磁性插入物。
[0067]在另一实施例中，单元最靠近盖的部分可层叠以Y数量的完全长度的非磁性插入物或部分长度的非磁性插入物，而在单元的其余部分中可层叠以完全长度的磁性插入物或部分长度的磁性插入物。
[0068]在又一些实施例中，模板上的单元包括多个圆形单元、多个三角形单元、多个正方形单元、多个菱形单元或多个六角形单元。例如，图5A-5E示出具有多个圆形单元、三角形单元、正方形单元、菱形单元和六角形单元的模板。插入物具有对应的形状并可选择地配置在相应构形的单元中。此外，插入物的多种形状可互换以对应于多种形状的单元，由此实现插入物和单元的多种组合。
[0069]在方框706，将盖固定至模板的第一侧。在一些实施例中，固定包括使用可移除紧固件将盖固定至模板的第一侧。例如，图4B示出用菲利普斯头螺钉附连在模板的第一侧上的盖。在又一些实施例中，固定保护多个磁性插入物和多个非磁性插入物。例如，在图4B中，盖保护模板上的单元内的各可移除插入物不受损害，并又使得各可移除插入物尽可能地靠近靶。
[0070]在方框708，将轭附连至模板的第二侧。例如，图3示出附连至模板的第二侧的轭。在一些实施例中，轭可用于为由多个磁性插入物和多个非磁性插入物产生的磁场提供返回路径。例如，轭为磁场提供返回路径，该磁场是通过模板上的单元内的各可移除插入物定制或调整形状的。要理解，本文描述的实施例可被原位调整以实现缺陷质量控制，但不仅限于此。
[0071]为说明目的的之前描述已参照特定实施例进行了描述。然而，前面的说明性讨论不旨在穷举或将本发明限制为所公开的精确形式。根据上述示教，许多修改和变化是可能的。
【主权项】
1.一种装置，包括: 包含多个单元的模板； 设置在所述多个单元内的多个可移除插入物； 可移除地与所述模板的第一侧连接的盖；以及 可移除地与所述模板的第二侧连接的轭。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个可移除插入物包括完全长度的磁性插入物、部分长度的磁性插入物、完全长度的非磁性插入物或部分长度的非磁性插入物。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个插入物具有与之关联的多个长度，并且所述多个单元内的单元的磁矩的强度和方向能基于所述多个插入物的插入物的长度和极性取向被控制。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个插入物的插入物是磁性插入物，并且所述磁性插入物的材料是从由钕、钐钴、陶瓷、阿尔尼科合金、不锈钢和钢构成的组中选择的。
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个可移除插入物包括: 完全长度的非磁性插入物，包括铝、尼龙或不锈钢；或者 部分长度的非磁性插入物，包括铝、尼龙或不锈钢。
6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个可去除插入物包括多个磁性插入物和多个非磁性插入物，其中所述多个磁性插入物和所述多个非磁性插入物进一步以变化方式层叠在所述单元内，并且所述多个磁性插入物和所述多个非磁性插入物进一步用于调整靶上的磁场的形状。
7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个插入物中的第一和第二插入物可介入地层叠在所述多个单元中的单元内，其中所述第一插入物是磁性插入物而所述第二插入物是非磁性插入物。
8.一种装置，包括: 多个单元； 安排在所述多个单元内的多个可互换磁性插入物；以及 安排在所述多个单元内的多个可互换非磁性插入物，其中: 所述可互换磁性插入物和所述可互换非磁性插入物可用于配置所述多个单元周围的磁场。
9.如权利要求8所述的装置，其特征在于: 所述多个可互换磁性插入物包括完全长度的磁体或部分长度的磁体；并且 所述多个可互换非磁性插入物包括完全长度的插入物或部分长度的插入物。
10.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述装置的磁场能通过将所述多个插入物的磁矩从非磁性改变至特定磁强度而被控制，并且所述装置的所述磁场可通过以与所述多个插入物的第二插入物的极性不同的方式对准所述多个插入物的第一插入物的极性而被控制。
11.如权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括覆盖在所述多个单元上的盖，其中所述盖用于保护所述可互换磁性插入物和所述多个可互换非磁性插入物。
12.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述多个可互换磁性插入物和所述多个可互换非磁性插入物以变化方式层叠在所述多个单元内。
13.如权利要求12所述的装置，其特征在于，轭用于为所述磁场提供返回路径，所述磁场通过所述多个可互换磁性插入物和所述多个可互换非磁性插入物被配置。
14.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述多个单元包括多个封闭式形状。
15.一种方法，包括: 将多个磁性插入物设置在模板内； 将多个非磁性插入物设置在所述模板内， 其中所述设置所述多个磁性插入物和所述设置所述多个非磁性插入物形成包括预定形状的磁场； 将盖固定至所述模板的第一侧；以及 将轭附连至所述模板的第二侧。
16.如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述固定包括用可移除紧固件将所述盖固定至所述模板的所述第一侧。
17.如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述固定保护所述多个磁性插入物和所述多个非磁性插入物。
18.如权利要求15所述的方法，其特征在于，还包括为所述磁场提供返回路径。
19.如权利要求15所述的方法，其特征在于，还包括在所述模板内以变化方式层叠所述多个磁性插入物和所述多个非磁性插入物。
20.如权利要求15所述的方法，其特征在于，还包括从所述模板移除所述盖、所述多个磁性插入物和所述多个非磁性插入物。
【专利摘要】一种溅射装置包括模板，该模板具有单元。可移除的插入物被设置在单元内。单元可以是圆形、三角形、正方形、菱形或六角形的。可移除的插入物可以是磁性或非磁性插入物。盖与模板的第一侧连接。轭与模板的第二侧连接。可移除的插入物用于定制靶上的磁场或调整靶上的磁场的形状。轭可用于为磁场提供返回路径。
【IPC分类】C23C14-35
【公开号】CN104603325
【申请号】CN201280069500
【发明人】T·H·胡, W·S·卡瑟拉
【申请人】希捷科技有限公司
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2012年12月7日
【公告号】EP2788524A1, EP2788524A4, US20130146453, WO2013086466A1