形细导线3的方式，实现了当固定环破裂时可自动报警并触发抛光头和抛光盘自动停止转动，可有效的降低因固定环的破裂带来的潜在风险和经济损失。
[0039]实施例二:
[0040]参阅图3a，为本发明破损时可自动报警的固定环实施例二固定环本体的侧面视图；结合图3b，为本发明破损时可自动报警的固定环实施例二的结构连接示意图。
[0041]如图中所示，本实施例与现有技术下的固定环相比，包括与现有技术相同结构功能的固定环本体1，即固定环本体1整体呈薄片型圆环状，且下表面开设有多个沟槽2 ;同时，固定环本体1内部镶嵌安装有多道环形导线5，且每一个环形导线5所在的平面平行于固定环本体上表面所在的平面，每一个环形导线5自下而上进行编号为1号、2号、3号、4号……，每一个环形导线5的两端均接入有固定点电压(图中未示出)，每一个环形导线5还分别连接有一电流信号监测装置，电流信号监测装置实时检测环形导线5的电流信息，且电流检测装置6与外部抛光机10的电脑控制端9相电连，其检测到的环形细导线3的电流信息实时传输至电脑控制端9内。
[0042]从而在固定环本体发生破损状况时，因环形导线5的电流发生变化，电流信号监测装置检测到电流发生变化的信息并传输至电脑控制端9内，电脑控制端9控制调整抛光机10的运行状态至停止状态，同时电脑控制端9向工程师在电脑上或是网络相连的监控设备中发出报警信息。
[0043]在一种优选的实施方式中，所述固定环本体1内具有四条环形导线5，且自下而上进行编号为1号、2号、3号、4号(如图3a中所示51、52、53、54)，所述电流信号出现异常的对应的环形导线5编号越大，固定环的损坏程度越高。且本实施例中，四条环形导线5等间距设置。
[0044]在一种优选的实施方式中，电流信号监测装置还连接有一报警器8，当固定环本体发生破损状况时，电流信号监测装置同时将变化的所述电流信息(即所述固定环本体1的破损信息)传输至报警器8中，报警器8发出报警信息，通知工作人员固定环破状况，从而实现当固定环破裂时可自动报警并触发抛光头和抛光盘自动停止转动。
[0045]且值得指出的是，在本实施例中，所述报警器8为一声音警报器，当触发时发出声音警报。但所述报警信息也可以是闪光灯方式实现，且不局限于此。
[0046]在上述技术方案中，通过在固定环本体1内镶嵌设置四条环形导线5，可实现当固定环破裂时可自动报警并触发抛光头和抛光盘自动停止转动，并且可以自动识别出固定环的破损程度，方便工程师更快速的对故障等级定位，该方法可有效的降低因固定环的破裂带来的潜在风险和经济损失。
[0047]且值得指出的是，本实施例中，电流信号监测装置连接于环形导线5的两端内，但也可以是环形导线5穿过电流信号监测装置的电流检测端，均可实现对环形导线5的电流检测。同时，若电流检测装置6连接于环形导线5的两端内，则所述固定点电压可以是位于电流检测装置6内，从而更加简洁化本实施例的结构特征。且图3b中因为俯视视角下，仅示出了一个电流信号监测装置，但显然应是，每一个环形导线5对应于一个电流监测装置。同时，本发明可以应用于半导体所有化学机械平坦化的工艺技术中，比如90/65/45nm逻辑，记忆体等芯片生产。
[0048]以上所述仅为本发明的较佳实施例，对本发明而言仅仅是说明性的，而非限制性的。本专业技术人员理解，在本发明权利要求所限定的精神和范围内可对其进行许多改变，修改，甚至等效，但都将落入本发明的保护范围内。
【主权项】
1.一种破损时可自动报警的固定环，包括整体呈薄片型圆环状且下表面开设有多个沟槽的固定环本体，其特征在于， 所述固定环本体内嵌入安装有一环形细导线，所述环形细导线的两端连接有一电阻监测装置，所述电阻监测装置实时检测所述环形细导线的电阻信息，且所述电阻检测装置与外部抛光机的电脑控制端相电连，所述电阻检测装置检测到的所述电阻信息实时传输至所述电脑控制端内；或者， 所述固定环本体内部镶嵌安装有多道环形导线，每一个所述环形导线的两端均接入有固定点电压，且每一个所述环形导线还分别连接有一电流信号监测装置，所述电流信号监测装置实时检测环形导线的电流信息，并与所述外部抛光机的所述电脑控制端相电连，所述电流信号监测装置检测到的所述电流信息实时传输至所述电脑控制端内。2.如权利要求1所述的破损时可自动报警的固定环，其特征在于，每一个所述环形导线所在的平面平行于所述固定环本体上表面所在的平面。3.如权利要求1所述的破损时可自动报警的固定环，其特征在于，所述电阻监测装置还连接有一报警装置，且所述固定环本体发生破损时，所述电阻监测装置同时将发生变化的所述电阻信息传输至所述报警装置中，所述报警装置发出报警信息。4.如权利要求3所述的破损时可自动报警的固定环，其特征在于，所述环形细导线环形分布于圆环状的所述固定环本体内，且所述环形细导线所在的平面与所述固定环本体上表面所在的平面相平行。5.如权利要求2所述的破损时可自动报警的固定环，其特征在于，所述固定环本体内具有四条所述环形导线，且所述环形导线自下而上进行编号为1号、2号、3号、4号，所述电流信号出现异常的对应的所述环形导线编号越大，所述固定环本体的损坏程度越高。6.如权利要求5所述的破损时可自动报警的固定环，其特征在于，四条所述环形导线等间距设置。7.如权利要求6所述的破损时可自动报警的固定环，其特征在于，所述电流信号监测装置还连接有一报警器，且所述固定环本体发生破损时，所述电流信号监测装置同时将变化的所述电流信息传输至所述报警器中，所述报警器发出报警信息。8.如权利要求6所述的破损时可自动报警的固定环，其特征在于，所述电流信号监测装置连接入所述环形导线的两端内。9.如权利要求4所述的破损时可自动报警的固定环，其特征在于，所述报警装置为一声音警报器。10.如权利要求7所述的破损时可自动报警的固定环，其特征在于，所述报警器为一声音警报器。
【专利摘要】本发明公开了一种破损时可自动报警的固定环，包括整体呈薄片型圆环状且下表面开设有多个沟槽的固定环本体，固定环本体内嵌入安装有一环形细导线，环形细导线的两端连接有一电阻监测装置，电阻监测装置实时检测环形细导线的电阻信息，且与外部抛光机的电脑控制端相电连；或者，固定环本体内部镶嵌安装有多道环形导线，每一个环形导线的两端均接入有固定点电压，还分别连接有一电流信号监测装置，电流信号监测装置实时检测环形导线的电流信息，并与外部抛光机的电脑控制端相电连。其技术方案可实现发生破损时自动报警并触发抛光机自动停止转动，自动识别破损程度，方便快速对故障等级定位，有效降低因固定环的破裂带来的潜在风险和经济损失。
【IPC分类】B24B37/005, B24B49/10, B24B55/00
【公开号】CN105364696
【申请号】CN201510662472
【发明人】李虎, 傅昶, 张守龙, 赵正元
【申请人】上海华力微电子有限公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年10月14日