一种工作台微调机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及研磨加工技术领域，尤其涉及一种工作台微调机构。
【背景技术】
[0002]集成电路使用的半导体晶片需要初始切割成型，由于现有技术的限制，切割而成的半导体晶片的边缘会出现不平整的缺陷。为提高晶片的质量，需要对晶片的表面进行研磨抛光处理。
[0003]在研磨抛光时，需要研磨抛光机;研磨抛光机上的研磨盘与晶片采用柔性机构连接，其接触压力可调。常见的柔性机构由气缸控制，该柔性机构存在以下问题:
(一)其结构复杂，控制操作繁琐；
(二)其通过气压控制部件运动，调节精度低；
(三)其结构柔性差，致使晶片破损的几率较高。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是针对上述技术问题，提供一种工作台微调机构，其结构柔性好、调节精度尚，以实现研磨盘的精确控制，有效防止晶片损失，提尚晶片研磨加工质量。
[0005]本发明的技术方案:
为解决上述技术问题，本发明提供一种工作台微调机构，该工作台微调机构包括后板，连接板，传导块以及前板。
[0006]其中，连接板、传导块位于后板与前板之间；后板的下部设置有磁铁座，电磁铁安装在磁铁座上;后板中部设置有气囊，后板上部设置有上板;连接板上部朝向前板的一侧设置有连接板长槽，连接板下部朝向后板的一侧设置有缺口，缺口与电磁铁的安装位置对应；连接板朝向后板的一侧通过上板连接簧片与上板连接，连接板朝向前板的一侧通过传导块连接簧片与传导块连接，前板固定在传导块上;后板与前板的端部设置有前后板连接簧片。
[0007]进一步地，所述的前后板连接簧片、上板连接簧片、传导块连接簧片为弹簧钢片，其厚度为I?2mm。
[0008]进一步地，所述的磁铁座上设置有两个平行的长方形卡槽，其两侧由压块固定在后板上;所述的电磁铁为环形，其固定在平行的长方形卡槽中。
[0009]进一步地，所述的连接板为不锈钢，其下部朝向后板的一侧设置有缺口；缺口与电磁铁之间的距离为15_，连接板的固定位置在电磁铁的磁场范围内。
[0010]进一步地，所述的气囊位于后板与连接板之间。
[0011]进一步地，所述的上板连接簧片的一端由螺钉固定在连接板的上部，其另一端由螺钉固定在上板上。
[0012]进一步地，所述的传导块连接簧片的一端由螺钉固定在连接板的上部，其另一端由螺钉固定在传导块上。
[0013]—种上述的工作台微调机构使用方法，包括以下步骤: SI，电磁铁通电，电磁铁吸引连接板向后摆动，连接板通过传导块连接簧片与传导块连接，与传导块连接的前板向下运动；
S2，调节电磁铁通电电流，控制前板向下运动的幅度，从而带动前板上研磨头的运动；S3，气囊通气，气囊伸长，推动连接板反向向前摆动，连接板通过传导块连接簧片与传导块连接，与传导块连接的前板向上微调，从而带动前板上研磨头的运动；
S4，调节气囊的通气量，控制前板向前运动的幅度，从而带动前板上研磨头的运动。
[0014]进一步地，电磁铁、气囊可分别作用控制前板上研磨头的运动，也可以相互作用控制前板上研磨头的运动。
[0015]本发明有益效果:
本发明提供的一种工作台微调机构应用于晶片的研磨领域，其部件之间柔性连接，采用磁场作为部件微动主控措施，气囊作为辅助控制措施，该结构简单紧凑、布局合理，部件微量调整精度尚，有效防止晶片损失，提尚晶片研磨加工质量。
【附图说明】
[0016]图1是本发明结构剖视图；
图2是本发明结构示意图；
图3是本发明结构爆炸图；
图4是本发明之电磁铁固定示意图；
图5是本发明之连接板结构示意图；
图6是本发明之传导板结构示意图；
图7是本发明之上板结构示意图；
图8是本发明在研磨设备安装示意图。
[0017]其中:
1.后板，2.磁铁座，3.电磁铁，4.气囊，5.连接板，6.传导块，7.前板，8.上板，9.前后板连接簧片，10.上板连接簧片，11.传导块连接簧片，12.压块，13.连接板长槽，14.传导块凸台，15.上板固定孔，16.上板凸台，17.传导块连接簧片固定孔。18.缺口。
【具体实施方式】
[0018]下面结合具体实施例和附图对本发明的一种工作台微调机构进行详细说明:
图1-2所示一种工作台微调机构包括后板I，连接板5，传导块6以及前板7;连接板5、传导块6位于后板I与前板7之间。
[0019]后板I中部设置有气囊4，气囊4位于后板I与连接板5之间；后板I上部设置有上板8 ；所述的连接板5为不锈钢，连接板5上部朝向前板7的一侧设置有连接板长槽13，连接板5下部朝向后板I的一侧设置有缺口 18，缺口 18与电磁铁3的安装位置对应，两者之间的距离为15mm;连接板5朝向后板I的一侧通过上板连接簧片10与上板(8)连接，连接板5朝向前板7的一侧通过传导块连接簧片11与传导块6连接，前板7固定在传导块6上。
[0020]后板I与前板7的端部设置有前后板连接簧片9。所述的上板连接簧片10的一端由螺钉固定在连接板5的上部，其另一端由螺钉固定在上板8上;所述的传导块连接簧片11的一端由螺钉固定在连接板5的上部，其另一端由螺钉固定在传导块6上。图3是本发明结构爆炸图。
[0021]图4是电磁铁固定示意图，后板I的下部设置有磁铁座2，磁铁座2上设置有两个平行的长方形卡槽，其两侧由压块12固定在后板I上；电磁铁3为环形，其固定在平行的长方形卡槽中。
[0022]图5是连接板结构示意图，连接板5为不锈钢，连接板5上部朝向前板7的一侧设置有连接板长槽13，连接板5下部朝向后板I的一侧设置有缺口 18，缺口 18与电磁铁3的安装位置对应;连接板长槽13内设置有传导块连接簧片固定孔;连接板长槽13的对应一侧设置有上板连接簧片固定孔。
[0023]图6是传导块结构示意图，其上设置有传导块凸台14，传导块凸台14上设置有传导块连接簧片固定孔;传导块凸台14的对应一侧设置有传导块固定孔。
[0024]图7是上板结构示意图，其上设置有上板固定孔15及上板凸台16，上板凸台16上设置有上板连接簧片固定孔。
[0025]所述的前后板连接簧片9、上板连接簧片10、传导块连接簧片11为弹簧钢片，其厚度为I?2mm;上述的上板连接簧片固定孔及传导块连接簧片固定孔包括四个固定孔、位于四个固定孔中心的定位孔，其中定位孔用于连接销的固定，用于预定位上板连接簧片10、传导块连接簧片11。
[0026]—种上述的工作台微调机构使用方法，包括以下步骤: