一种真空适配器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及Parylene真空镀膜管道的链接设备，具体为一种真空适配器。
【背景技术】
[0002]在Parylene真空镀膜中，高温的列解室和低温的蒸发室之间要用真空阀隔离，列解室在700°C高温下会产生1mm左右的拉伸。列解室，真空阀和蒸发室自身都不能固定，而且密封方式法兰都不相同，因此就需要一个能够固定并且满足列解室和真空阀接口的适配器，把列解室和真空阀连接起来。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种真空适配器，以解决上述【背景技术】中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:一种真空适配器，包括第一连接阀、缸体、第二连接阀、第三连接阀，其特征在于，所述的缸体上端设有第一连接阀，缸体右端设有第二连接阀，缸体左端设有第三连接阀，缸体下端设有连接体，连接体下端设有底座，底座上设有底座螺丝孔，连接体上还设有加固体。
[0005]优选的，所述的第一连接阀为CF35法兰。
[0006]优选的，所述的第二连接阀为CF100法兰。
[0007]优选的，所述的第三连接阀为IS0100法兰。
[0008]优选的，所述的底座设有四个底座螺丝孔。
[0009]本实用新型的有益效果在于，可以有效的防止Parylene真空镀膜中因列解室高温产生的拉伸，影响到其他部件的位移或者变形，同时可以实现不同接口的配件之间的连接，成为一个完整的系统。
【附图说明】
[00?0]图1为本实用新型结构不意图。
[0011]图2为本实用新型右视结构不意图。
[0012]图3为本实用新型底部视图结构示意图。
[0013]图中:1-第一连接阀、2-缸体、3-第二连接阀、4-加固体、5-连接体、6-底座、7_第三连接阀、61-底座螺丝孔。
【具体实施方式】
[0014]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0015]请参阅图1，本实用新型提供一种真空适配器，包括第一连接阀1、缸体2、第二连接阀3、第三连接阀7，其特征在于，所述的缸体2上端设有第一连接阀I，缸体右端设有第二连接阀3，缸体2左端设有第三连接阀7，缸体2下端设有连接体5，连接体5下端设有底座6，底座6上设有底座螺丝孔61，连接体5上还设有加固体4。
[0016]优选的，所述的第一连接阀I为CF35法兰。
[0017]优选的，所述的第二连接阀3为CF100法兰。
[0018]优选的，所述的第三连接阀7为IS0100法兰。
[0019]优选的，所述的底座6设有四个底座螺丝孔61。
[0020]如图1所示，适配器的一端第二连接阀3为CF100法兰，与列解室连接，CF100法兰可以承受列解室中700度的高温，适配器的另外一端第三连接阀7为IS0100法兰，与真空阀连接，适配器的顶部第一连接阀I为CF35法兰，CF35法兰与真空计连接，真空计起到测量真空的作用，底座6设有四个底座螺丝孔61，便于整个适配器安装在基座上，达到固定支撑整个系统的作用。
[0021]本实用新型的有益效果在于，可以有效的防止Parylene真空镀膜中因列解室高温产生的拉伸，影响到其他部件的位移或者变形，同时可以实现不同接口的配件之间的连接，成为一个完整的系统。
[0022]尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
【主权项】
1.一种真空适配器，包括第一连接阀、缸体、第二连接阀、第三连接阀，其特征在于，所述的缸体上端设有第一连接阀，缸体右端设有第二连接阀，缸体左端设有第三连接阀，缸体下端设有连接体，连接体下端设有底座，底座上设有底座螺丝孔，连接体上还设有加固体。2.根据权利要求1所述的一种真空适配器，其特征在于:所述的第一连接阀为CF35法.~~.03.根据权利要求1所述的一种真空适配器，其特征在于:所述的第二连接阀为CFlOO法.~~.04.根据权利要求1所述的一种真空适配器，其特征在于:所述的第三连接阀为IS0100法.~~.05.根据权利要求1所述的一种真空适配器，其特征在于:所述的底座设有四个底座螺丝孔。
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空适配器，包括第一连接阀、缸体、第二连接阀、第三连接阀，其特征在于，所述的缸体上端设有第一连接阀，缸体右端设有第二连接阀，缸体左端设有第三连接阀，缸体下端设有连接体，连接体下端设有底座，底座上设有底座螺丝孔，连接体上还设有加固体。本实用新型的有益效果在于，可以有效的防止因列解室高温产生的拉伸，影响到其他部件的位移或者变形，同时可以实现不同接口的配件之间的连接，成为一个完整的系统。
【IPC分类】C23C14/56
【公开号】CN205188431
【申请号】CN201520894966
【发明人】王红涛
【申请人】深圳市纳尔逊科技有限公司
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2015年11月11日